Chúng tôi xác ựịnh chiều dày màng mỏng chế tạo ựược bằng phương pháp ựo dao ựộng thạch anh và phương pháp chụp ảnh SEM. Nguyên lý của phương pháp xác ựịnh chiều dày bằng dao ựộng thạch anh dựa trên sự phụ thuộc của tần số dao ựộng vào khối lượng phiến thạch anh. Khối lượng phiến thạch anh sẽ tăng lên theo lượng vật liệu bốc bay bám vào. Cấu tạo của ựầu thu là một phiến thạch anh mỏng, ựược mài song phẳng. Tần số dao ựộng cộng hưởng của ựầu ựo thạch anh phụ thuộc chiều dày của phiến theo biểu thức: f0=N/dqtrong ựó : f0 là tần số cộng hưởng, N = 1,67ừ106 Hz.mm, dq - chiều dày phiến thạch anh. Khi phiến thạch anh bị phủ một lớp màng mỏng, khối lượng của phiến tăng lên làm cho tần số cộng hưởng dịch chuyển về phắa tần số nhỏ hơn. Từ ựộ dịch chuyển tần số (∆f),
người ta tắnh ựược chiều dày của màng.Tần số dao ựộng cộng hưởng của thạch anh rất nhạy với sự thay ựổi khối lượng (bề dày vật liệu lắng ựọng trên phiến thạch anh). Do ựó bộ cộng hưởng thạch anh cho phép theo dõi quá trình bốc bay trong chân không với ựộ chắnh xác khá cao. Sự thay ựổi ựộ dày của màng có thể phát hiện tới vài Ă, hình 2.1a.
Hình 2.1: (a) Thiết bị ựo chiều dày bằng dao ựộng thạch anh; (b) Ảnh SEM mặt cắt của màng TiO2 cho biết ựộ dày màng.
Chiều dày của màng TiO2 và ZnO chủ yếu ựược xác ựịnh bằng phương pháp chụp ảnh SEM mặt cắt của màng, hình 2.1b. Ngoài thông tin về ựộ dày, phương pháp này còn cho biết thông tin về hình thái cấu trúc của màng chế tạo ựược.