NGHIÊN cứu CHẾ tạo vật LIỆU META hấp THỤ HOÀN hảo dải tần số RỘNG VÙNG GHz DÙNG KHOANG CỘNG HƯỞNG điện từ

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI -   - NGUYỄN THÚY HIỀN NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU META HẤP THỤ HOÀN HẢO DẢI TẦN SỐ RỘNG VÙNG GHz DÙNG KHOANG CỘNG HƯỞNG ĐIỆN TỪ LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC VẬT LÍ HÀ NỘI, 2018 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI -   - NGUYỄN THÚY HIỀN NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU META HẤP THỤ HOÀN HẢO DẢI TẦN SỐ RỘNG VÙNG GHz DÙNG KHOANG CỘNG HƯỞNG ĐIỆN TỪ Chuyên ngành: Vật lí chất rắn Mã số: 8.44.01.04 LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC VẬT LÍ Người hướng dẫn khoa học: PGS.TS Trần Mạnh Cường HÀ NỘI, 2018 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu cá nhân tơi hướng dẫn PGS.TS Trần Mạnh Cường Các số liệu tài liệu trích dẫn luận văn trung thực Kết nghiên cứu không trùng với cơng trình cơng bố trước Hà Nội, tháng 11 năm 2018 Nguyễn Thúy Hiền LỜI CẢM ƠN Tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành sâu sắc đến PGS.TS Trần Mạnh Cường người thầy ln tận tình hướng dẫn, giúp đỡ, động viên tạo điều kiện thuận lợi để tơi hồn thành luận văn Tơi xin chân thành cảm ơn Ban chủ nhiệm khoa Vật Lý thầy, tổ mơn Vật lí chất rắn trường ĐHSP Hà Nội giúp đỡ suốt trình học tập, nghiên cứu thực luận văn Tôi xin chân thành cảm ơn thầy, cô bên viện Radar – Viện Khoa học Công nghệ quân tạo điều kiện giúp đo đạc, khảo sát kết thực nghiệm luận văn Tôn xin cảm ơn đề tài Nafosted (Mã số: 103.99 – 2017.26) hỗ trợ trình thực luận văn Cuối cùng, tơi xin chân thành cảm ơn tới gia đình bạn bè giúp đỡ, động viên, tạo điều kiện cho q trình học tập, nghiên cứu để tơi hồn thành tốt đề tài luận văn Tơi xin chân thành cảm ơn! HỌC VIÊN Nguyễn Thúy Hiền MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN LỜI CẢM ƠN DANH MỤC KÍ HIỆU VIẾT TẮT DANH MỤC BẢNG BIỂU DANH MỤC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ MỞ ĐẦU CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU META 1.1 Khái niệm vật liệu Meta 1.2 Phân loại Vật liệu Meta 1.3 Ứng dụng vật liệu Meta 1.4 Tổng quan vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng điện từ 11 1.4.1 Cơ chế hấp thụ sóng điện từ vật liệu Meta .11 1.4.2 Vật liệu Meta hấp thụ hồn hảo sóng điện từ .12 1.5 Mục tiêu nghiên cứu đề tài 15 CHƯƠNG 2: CẤU TRÚC NGHIÊN CỨU VÀ KẾT QUẢ TỐI ƯU .17 2.1 Quy trình nghiên cứu vật liệu Meta .17 2.2 Phương pháp nghiên cứu vật liệu Meta .17 2.2.1 Phương pháp mô vật lí 18 2.2.2 Phương pháp thực nghiệm 21 2.3 Cấu trúc nghiên cứu kết mô 22 2.4 Tối ưu hóa cấu trúc khoang cộng hưởng .32 CHƯƠNG 3: THỰC NGHIỆM 46 3.1 Công nghệ chế tạo mẫu .46 3.2 Kết thực nghiệm 49 KẾT LUẬN CHUNG 52 TÀI LIỆU THAM KHẢO 53 DANH MỤC KÍ HIỆU VIẾT TẮT MPA : Metamaterial Perfect Absorber CST : Phần mềm mô CST Microwave studio DANH MỤC BẢNG BIỂU Bảng 2.1: Bảng tổng hợp đỉnh hấp thụ độ hấp thụ cấu trúc tối ưu 38 Bảng 2.2: Bảng tổng hợp đỉnh hấp thụ, độ hấp thụ, lớp tập trung điện trường khoang cấu trúc tối ưu 44 DANH MỤC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ Hình 1.1: Cấu trúc vật liệu truyền thống vật liệu Meta Hình 1.2: Sơ đồ mối liên hệ � � Hình 1.3: Đường ánh sáng qua (a) Thấu kính thường có chiết suất dương (b) Thấu kính có chiết suất âm Hình 1.4: Nguyên tắc hoạt động siêu thấu kính [8] Hình 1.5: Sự tương tác sóng điện từ (hay ánh sáng) với vật chất (1) Sóng tới, (2) Sóng phản xạ, (3) Sóng truyền qua (4) Sóng hấp thụ Hình 1.6: Đường sóng điện từ siêu vật liệu: (A) Biểu hai chiều, vật bị phủ cầu tròn có bán kính R lớp phủ có bề dày (R 2-R1) ánh sáng bị bẻ cong làm vật thể “tàng hình” (B) Biểu ba chiều [23] .10 Hình 1.7: Thứ tự từ trái sang phải Hình trái: vật tròn nhìn thấy Hình giữa: vật tròn phủ kín siêu vật liệu [32] 10 Hình 1.8: (a) Sơ đồ cấu trúc chiều kích thước sở Màu nâu đỏ tượng trưng cho đồng kim loại màu xanh dương nhạt biểu thị điện môi FR-4 px = 24 mm, py= 24 mm, t1 = 6,3 mm, t2 = 3,6 mm, b1 = 11 mm, b2 = 6,6 mm, tm = 0,018 mm, td = 0,2 mm h = 4,36 mm (b) Phổ hấp thụ mô phỏng, thực nghiệm mẫu chế tạo vật liệu [18] .14 Hình 1.9: Cấu trúc đề suất: (a) khung nhìn cùng, (b) đơn vị ba chiều (3D), (c) xem mặt cắt ngang trung tâm ô sở [20] .15 Hình 2.1: Sơ đồ quy trình nghiên cứu MPA hoạt động vùng tần số GHz dựa kết hợp mô thực nghiệm .17 Hình 2.2: Màn hình giao diện phần mềm CST .19 Hình 2.3: (a) Vật liệu MPA cấu trúc Landy, (b) Kết mô phổ phản xạ, truyền qua hấp thụ vật liệu MPA cấu trúc Landy năm 2008 [12] 21 Hình 2.4: (a) Ơ sở cấu trúc khoang lớp (b) Tham số cấu trúc ô sở .23 Hình 2.5: (a) Ô sở khoang lớp (b) Kết mô phổ hấp thụ khoang lớp 24 Hình 2.6: Mật độ điện trường cấu trúc khoang lớp tần số f = 6.15 GHz f = 8.36 GHz .25 Hình 2.7: Mật độ từ trường cấu trúc khoang lớp tần số f = 6.15 GHz f = 8.36 GHz .25 Hình 2.8: (a) Ơ sở khoang lớp (b) Kết mô phổ hấp thụ khoang lớp 27 Hình 2.9: (a) Ơ sở khoang lớp (b) Kết mô phổ hấp thụ khoang lớp 29 Hình 2.10: (a) Ô sở khoang lớp (b) Kết mô phổ hấp thụ khoang lớp 31 Hình 2.11: Kích thước đồng rỗng lớp với b4 =16 mm, c4 = 16 mm; b4 = 18 mm, c4 =16 mm; b4 = 11.5mm, c4 = 16 mm .33 Hình 2.12: Kết mô phổ hấp thụ thay đổi cấu trúc lớp với b = 18 mm, b4 = 23 mm 33 Hình 2.13: Kết mô phổ hấp thụ thay đổi cấu trúc lớp với b2 = c2 =14 mm 34 Hình 2.14: Kết mơ phổ hấp thụ thay đổi cấu trúc lớp với b1 = c1 = 12 mm 35 Hình 2.15: Kết mô phổ hấp thụ thay đổi cấu trúc lớp với b2 = 20 mm, c2 = 14 mm 36 Hình 2.16: Kết mơ phổ hấp thụ thay đổi cấu trúc lớp với b1 = c1 = 11mm 37 Hình 2.16: Kích thước đồng rỗng lớp 1, lớp 2, lớp 3, lớp cấu trúc tối ưu 38 Hình 2.17: Kết mơ phổ hấp thụ cấu trúc tối ưu .39 Hình 2.18: Mật độ điện trường tần số f=5.34 GHz 40 Hình 2.19: Mật độ điện trường tần số f = 5.51 GHz 40 Hình 2.20: Mật độ iện trường tần số f = 5.93 GHz 41 Hình 2.21: Mật độ điện trường tần số f = 6.48 GHz 41 Hình 2.22: Mật độ điện trường tần số f = 7.22 GHz 42 Hình 2.23: Mật độ điện trường tần số f = 7.64 GHz 42 Hình 2.24: Mật độ điện trường tần số f = 7.81 GHz 43 Hình 2.25: Mật độ điện trường tần số f = 8.35 GHz 43 Hình 2.26: Mật độ điện trường tần số f=8.79 GHz 44 Hình 3.1: Quy trình chế tạo vật liệu Meta [2] .47 Hình 3.2: Hình ảnh phim làm mạch in lớp cấu trúc .48 Hình 3.3: Mẫu chế tạo lớp khoang nghiên cứu với t m = 1.6 mm, td = 0.03 mm kích thước đồng rỗng lớp b1 = c1 = 11 mm, b2 = 20 mm, c2 = mm, b3 = c3 = 16 mm, b4 = 23 mm, c4 = 16 mm 48 Hình 3.4: Mẫu chế tạo khoang lớp sau lớp ghép lại .49 Hình 3.5: Thiết bị phân tích mạng vectơ 49 Hình 3.6: Phổ phản xạ khoang cấu trúc tối ưu thu từ thực nghiệm 50 Hình 3.7: Phổ hấp thụ cấu trúc tối ưu thu từ mô thực nghiệm .50 Hình 2.24: Mật độ điện trường tần số f = 7.81 GHz + Tại đỉnh (f = 8.36 GHz), mật độ điện trường tập trung lớp 1, 3, Hình 2.25: Mật độ điện trường tần số f = 8.35 GHz + Tại đỉnh (f = 8.79 GHz), mật độ điện trường tập trung lớp 1, 2, 44 Hình 2.26: Mật độ điện trường tần số f=8.79 GHz Bảng 2.2 : Bảng tổng hợp đỉnh hấp thụ, độ hấp thụ, lớp tập trung điện trường khoang cấu trúc tối ưu Đỉnh hấp thụ Tần số (GHz) Độ hấp thụ (%) Lớp tập trung điện 5.34 98.54% trường 2 5.51 98.54% 1,2 5.93 90.78% 2,3,4 6.48 96.43% 2,3,4 7.22 90.78% 1,2,4 7.64 87.95% 2,3,4 7.81 93.97% 1,3,4 8.36 91.85% 1,3,4 8.79 89.73% 1,2,3 Phân tích kết quả: Bằng việc quan sát mật độ điện trường đỉnh, ta thấy việc thay đổi kích thước đồng rỗng lớp tương ứng với 45 mức cường độ điện trường tập trung đỉnh hấp thụ Cụ thể, thay đổi kích thước lớp từ b = c4 = 16 mm lên b4 = c4 = 23 mm ta thấy đỉnh hấp thụ f = 6.48 GHz tăng từ 52.2% lên 95.6% phù hợp với kết quan sát đỉnh (f = 6.48 GHz) sau tối ưu Khi giảm kích thước lớp từ b = c2 = 16 mm xuống b2 = c2 = 14 mm độ hấp thụ tần số f = 5.9 GHz tăng mạnh từ 68% lên 95% phù hợp với điện trường quan sát đỉnh (f = 5.93 GHz) sau tối ưu Tương tự thay đổi kích thước lớp từ b = c1 = 16 mm xuống b1 = c1 = 12 mm xuất thêm đỉnh hấp thụ phù hợp với đỉnh (f = 5.51 GHz) sau tối ưu Tuy nhiên, tham số cấu trúc đồng rỗng lớp ảnh hưởng đến nhiều đỉnh hấp thụ nên vị trí đỉnh bị dịch chuyển tần số phạm vi nhỏ không ảnh hưởng nhiều đến độ hấp thụ đỉnh Như vậy, hấp thụ hồn hảo sóng điện từ hấp thụ cộng hưởng đa đỉnh 46 CHƯƠNG 3: THỰC NGHIỆM 3.1 Công nghệ chế tạo mẫu Để chế tạo vật liệu Meta dải tần số GHz thường chế tạo cách sử dụng phương pháp quang khắc với vật liệu ban đầu phôi (PCB) Cấu tạo phôi PCB gồm lớp: Lớp điện môi FR-4, hai bên hai lớp kim loại đồng, bên lớp kim loại đồng tráng lớp nhạy sáng.Với vật liệu Meta hoạt động vùng tần số THz, kích thước tham số cấu trúc khoảng vài  m đến vài chục  m Chính để chế tạo vật liệu có kích thước nhỏ người ta sử dụng cơng nghệ quang khắc với yêu cầu độ xác cao Với vật liệu Meta hoạt động vùng ánh sáng nhìn thấy cơng nghệ quang khắc khơng phù hợp tham số cấu trúc nhỏ Ngồi ra, để tạo cấu trúc có kích thước cỡ hàng chục nanomet thường dùng kỹ thuật khắc chùm điện tử [19], phương pháp chùm ion hội tụ, khắc laser… Trong phạm vi luận văn, đối tượng nghiên cứu vật liệu Meta hoạt động miền tần số từ 4-10 GHz Chính để chế tạo mẫu luận văn sử dụng phương pháp quang khắc * Quy trình quang khắc chế tạo mẫu Vật liệu ban đầu để chế tạo phôi thương mại (SME-Hàn Quốc) gồm lớp điện môi FR-4 có số điện mơi   4.3 độ dày lớp điện môi tm = 1.6 mm, hai bên phủ lớp đồng (Cu) có độ dày khoảng td = 0.03mm Quy trình chế tạo mẫu trình bày hình 3.1 47 Hình 3.1: Quy trình chế tạo vật liệu Meta [2] Ban đầu vật liệu bay bốc lên đế, sau phủ chất cảm quang âm Mẫu cho vào chiếu sáng thông qua mặt nạ (1), vùng cảm quang không chiếu sáng tan dung dịch tráng rửa, lại vùng cảm quang bị chiếu sáng (2) Sau phần vật liệu bám dính đế bị ăn mòn chùm tia điện tử (3), lớp chất cảm quang lại bị rửa trơi cồn để lại phần chi tiết vật liệu cần tạo bên (4) Mặt nạ chế tạo cách in lên giấy phim suốt máy in phân giải cao Sau phơi sáng, hình ăn mòn, MPA với thiết kế ban đầu chế tạo hai mặt Hình ảnh phim làm mạch in lớp khoang cấu trúc sau tẩy rửa để thu mẫu vật liệu (Hình 3.2): 48 Hình 3.2: Hình ảnh phim làm mạch in lớp cấu trúc Bằng phương pháp quang khắc chế tạo thành cơng mẫu có cấu trúc mong muốn (Hình 3.3): Hình 3.3: Mẫu chế tạo lớp khoang nghiên cứu với tm = 1.6 mm, td = 0.03 mm kích thước đồng rỗng lớp b1 = c1 = 11 mm, b2 = 20 mm, c2 = mm, b3 = c3 = 16 mm, b4 = 23 mm, c4 = 16 mm 49 Hình 3.4: Mẫu chế tạo khoang lớp sau lớp ghép lại 3.2 Kết thực nghiệm Để nghiên cứu tính chất vật liệu, chúng tơi tiến hành đo phổ truyền qua phổ phản xạ vật liệu thiết bị phân tích mạng vec tơ Thiết bị trang bị Viện Radar – Viện KHCN qn (Hình 3.5) Hình 3.5: Thiết bị phân tích mạng vectơ Hệ đo gồm có ăng-ten đóng vai trò nguồn phát, ăng ten lại với vai trò nguồn thu, tín hiệu xử lí thị hình Khoảng cách cách bố trí hai ăng-ten tùy thuộc vào phép đo Sau chuẩn 50 hóa tín hiệu truyền qua tín hiệu phản xạ đặt mẫu cần đo lên giá hai vị trí ăng ten Kết phổ phản xạ thu sau: Hình 3.6: Phổ phản xạ khoang cấu trúc tối ưu thu từ thực nghiệm Đồ thị so sánh kết phổ hấp thụ mô thực nghiệm cấu trúc tối ưu: Hình 3.7: Phổ hấp thụ cấu trúc tối ưu thu từ mơ thực nghiệm 51 Phân tích kết quả: Kết thực nghiệm thu đỉnh hấp thụ tần số f = 4.58 GHz với độ hấp thụ A �78.8%, f = 5.5 GHz với độ hấp thụ A �100%, f = 5.94 GHz với độ hấp thụ A �42.3%, f = 6.78 GHz với độ hấp thụ A �73.3%, f = 7.34 với độ hấp thụ A �60.3%, f = 7.72 với độ hấp thụ A �70.3%, f = 7.86 GHz với độ hấp thụ A �82%, f = 8.35 GHz với độ hấp thụ A �86.4%, f = 8.63 GHz với độ hấp thụ A �87.3% Trong có đỉnh độ hấp thụ đạt tuyệt đối 100% tần số f = 5.5 GHz, đỉnh hấp thụ đạt độ hấp thụ 80%, đỉnh đạt 65%, đỉnh đạt 40% Qua nhận thấy dáng điệu đồ thị số đỉnh hấp thụ thu tương đồng với kết mô Do yếu tố khách quan ảnh hưởng trình chế tạo, đo đạc mẫu bị ảnh hưởng nhiễu xạ thực đo môi trường tự nhiên dẫn đến số đỉnh không đạt độ hấp thụ cao Đặc biệt, lớp khơng khí lớp vật liệu mặt định tính có ảnh hưởng đến kết thực nghiệm z0  0  trở kháng mơi trường khơng khí mà số điện mơi khơng khí vật liệu nghiên cứu khác nên ảnh hưởng đến kết đo thực tế Tuy nhiên, nhìn chung kết thực nghiệm phù hợp với kết mô 52 KẾT LUẬN CHUNG Luận văn thực dựa việc kết hợp mơ hình vật lí, mơ thiết kế cấu trúc, chế tạo kiểm chứng phép đo thực nghiệm Luận văn thu số kết với số kết luận sau: Thứ nhất, luận văn xây dựng mơ hình thiết kế vật liệu Meta dạng khoang cộng hưởng điện từ với cấu trúc lớp vật liệu kim loại - điện môi xen kẽ Khi tiến hành mô cấu trúc nhận thấy: Việc tăng thêm lớp kim loại - điện môi làm tăng thêm đỉnh hấp thụ tần số cộng hưởng đồng thời mở rộng dải tần số phổ hấp thụ Thứ hai, việc thay đổi kích thước đồng rỗng bề mặt lớp vật liệu góp phần làm tăng thêm số lượng đỉnh hấp thụ độ hấp thụ đỉnh tần số cộng hưởng Kết tối ưu cho thấy thu đỉnh hấp thụ với độ hấp thụ đạt hầu hết 90% khoảng tần số từ GHz đến GHz giúp tạo vật liệu hấp thụ hồn hảo sóng điện từ dải rộng vùng GHz dùng khoang cộng hưởng điện từ dạng đa lớp kim loại - điện môi Kết giúp tạo vật liệu Meta hấp thụ hoàn hảo theo cách tiếp cận cách thay đổi cấu trúc bề mặt lớp giúp mở rộng thêm hướng nghiên cứu vật liệu Meta Thứ ba, chế tạo thành công cấu trúc khoang lớp sau tối ưu thu đỉnh khoảng tần số từ GHz đến GHz Kết thực nghiệm phù hợp với kết mô * Hạn chế khắc phục: Hấp thụ hoàn hảo sóng điện từ phân chia thành hai loại: hấp thụ cộng hưởng hấp thụ băng thông rộng Nghiên cứu đưa cấu trúc hấp thụ cộn hưởng đa đỉnh chưa đưa cấu trúc hấp thụ băng thông rộng Chúng tiếp tục nghiên cứu cấu trúc vật liệu Meta đa lớp hấp thụ số mạng dải tần số rộng vùng 53 GHz HƯỚNG NGHIÊN CỨU TIẾP THEO - Tiếp tục nghiên cứu để thu hấp thụ băng thông rộng cấu trúc khoang đa lớp - Giảm kích thước sở mở rộng sang vùng nghiên cứu khác: THz, vùng ánh sáng nhìn thấy 54 TÀI LIỆU THAM KHẢO Tiếng Việt [1] Nguyễn Thị Hiền cộng (2016), "Nghiên cứu, thiết kế chế tạo siêu vật liệu không phụ thuộc vào phân cực sóng điện từ", Tạp chí Khoa học Công nghệ 50(2), tr 258-265 [2] Phạm Thị Trang (2017), Nghiên cứu khả điều khiển tần số biên độ cộng hưởng vật liệu biến hóa (Metamaterial), Luận án Tiến sĩ, Viện hàn lâm khoa học công nghệ Việt Nam [3] Đỗ Thành Việt (2015), Nghiên cứu chế tạo tính chất hấp thụ tut đối sóng vi ba vật liệu meta (Metamaterial), Luận án tiến sĩ, ĐHBK Hà Nội Tiếng Anh [4] Ashcroft N W and Mermin N D (1976), solid state physic, Saunders College, Philadelphia [5] Chen, H.-T (2012), "Interference theory of metamaterial perfect absorbers", Optics Express 20(7), pp 7165-7172 [6] Chin, J Y., Lu, M., and Cui, T J (2008), "Metamaterial polarizers by electric-field-coupled resonators", Applied Physics Letters 93(25), p 251903 [7] Engheta, N (2002), "An idea for thin subwavelength cavity resonators using metamaterials with negative permittivity and permeability", IEEE Antennas and Wireless Propagation Letters 1, pp 10-13 [8] Fang, N (2005), "Sub-Diffraction-Limited Optical Imaging with a Silver Superlens", Science 308(5721), pp 534-537 [9] Grbic, A and Eleftheriades, G V (2004), "Overcoming the Diffraction Limit with a Planar Left-Handed Transmission-Line Lens", Physical Review Letters 92(11) 55 [10] Gu, S., et al (2010), "A broadband low-reflection metamaterial absorber", Journal of Applied Physics 106(8) [11] Lan, F., et al (2014), "Terahertz dual-resonance bandpass filter using bilayer reformative complementary metamaterial structures", Optics Letters 39(7), p 1709 [12] Landy, N I., et al (2008), "Perfect Metamaterial Absorber", Physical Review Letters 100(20) [13] Lee, H.-J and Yook, J.-G (2008), "Biosensing using split-ring resonators at microwave regime", Applied Physics Letters 92(25), p 254103 [14] Li, H., et al (2011), " Ultrathin multiband gigahertz metamaterial absorbers Journal of Applied Physics", Journal of Applied Physics 110(1), pp 014909 - 014909 [15] Li, L., Yang, Y., and Liang, C (2011), "A wide-angle polarization-insensitive ultra-thin metamaterial absorber with three resonant modes", Journal of Applied Physics 110 (6), pp 063702 – 063702 [16] Liu, N., et al (2010), "Infrared Perfect Absorber and Its Application As Plasmonic Sensor", Nano Letters 10(7), pp 2342–2348 [17] Liu, Y., et al (2012), "Study of energy absorption on solar cell using metamaterials", Solar Energy 86 (5), pp 1586 - 1599 [18] Long, C., et al (2016), "Broadening the absorption bandwidth of metamaterial absorbers by transverse magnetic harmonics of 210 mode", Scientific Reports 6(1) [19] Luo, H., Cheng, Y Z., and Gong, R Z (2011), "Numerical study of metamaterial absorber and extending absorbance bandwidth based on multi-square patches", The European Physical Journal B 81(4), pp 387–392 [20] Nguyen Thi Quynh Hoa, et al (2018), "Numerical Study of an Ultrabroadband, Wide-Angle, Polarization-Insensitivity 56 Metamaterial Absorber in the Visible Region", Journal of Electronic Materials 47(5), pp 2634–2639 [21] Park, J.-G., Yoon, K.-C., and Lee, J.-C (2014), "A new compact narrow bandwidth slow-wave band-pass filter with high-Qresonators using μnear zero metamaterial", Microwave and Optical Technology Letters 56(8), pp 1956–1960 [22] Pendry, J B (2000), "Negative Refraction Makes a Perfect Lens", Physical Review Letters 85(18), pp 3966–3969 [23] Pendry, J B., Schurig, D., and Smith, D R (2006), "Controlling Electromagnetic Fields", Science 312(5781), pp 1780–1782 [24] Qin Chen, et al (2016), "Terahertz metamaterial and its sensing application", 2016 Progress in Electromagnetic Research Symposium (PIERS) [25] Schurig, D., et al (2006), "Metamaterial Electromagnetic Cloak at Microwave Frequencies", Science 314(5801), pp 977–980 [26] Smith, D R., et al (2000), "Composite Medium with Simultaneously Negative Permeability and Permittivity", Physical Review Letters 84(18), pp 4184–4187 [27] Veselago, V G (1968), "The Electrodynamics of Substances With Simultaneously Negative Values of ε and μ", Sov Phys Usp 10(4), pp 509–514 [28] Wang, B., Koschny, T., and Soukoulis, C M (2009), "Wideangle and polarization-independent chiral metamaterial absorber", Physical Review B 80(3) [29] Wang, Y., et al (2011), "Metamaterial-Plasmonic Absorber Structure for High Efficiency Amorphous Silicon Solar Cells", Nano Letters 12(1), pp 440 - 445 [30] Watts, C M., Liu, X., and Padilla, W J (2012), "Metamaterial Electromagnetic Wave Absorbers", Advanced Materials, 24(23), pp OP98–OP120 [31] Wood, R A (2001), Infrared Detectors and Emitters: Materials and Devices, Kluwer Academic Publishers, Norwell, USA 57 [32] Zhang, X., et al (2009), "An optical cloak made of dielectrics", Nature Materials 8(7), pp 568–571 XÁC NHẬN LUẬN VĂN ĐÃ CHỈNH SỬA THEO GÓP Ý CỦA HỘI ĐỒNG - Nội dung 1: Sửa hình 2.6, 2.7 trang 24 - Nội dung 2: Bổ sung chế hấp thụ trang 25 - Nội dung 3: Bổ sung thêm ảnh hưởng lớp khơng khí trang 51 - Nội dung 4: Bổ sung thêm nội dung phần kết luận trang 52 - Nội dung 5: Bổ sung thêm hướng nghiên cứu trang 53 HỌC VIÊN CAO HỌC (kí ghi rõ họ tên) CHỦ TỊCH HỘI ĐỒNG CÁN BỘ HƯỚNG DẪN (kí ghi rõ họ tên) (kí ghi rõ họ tên) 58 ... hao điện từ vật liệu hoạt động vấn đề cần quan tâm Với lý nêu trên, lựa chọn nội dung: Nghiên cứu chế tạo vật liệu meta hấp thụ hoàn hảo dải tần số rộng vùng GHz dùng khoang cộng hưởng điện từ ... vật liệu Meta hấp thụ hoàn hảo sóng điện từ dùng khoang cộng hưởng đa lớp với cấu trúc đơn giản, hợp lý, tối ưu hóa cấu trúc vật liệu Meta hấp thụ hồn hảo sóng điện từ dải tần số rộng vùng GHz. .. ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI -   - NGUYỄN THÚY HIỀN NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU META HẤP THỤ HOÀN HẢO DẢI TẦN SỐ RỘNG VÙNG GHz DÙNG KHOANG CỘNG HƯỞNG ĐIỆN TỪ Chuyên ngành: Vật