đánh giá sự thay đổi cấu trúc kim loại (thép c45) khi mỏi bằng phân tích đỉnh nhiễu xạ tia x trên máy xpert pro

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH LUẬN VĂN THẠC SĨ TRẦN HOÀNG SƠN ĐÁNH GIÁ SỰ THAY ĐỔI CẤU TRÚC KIM LOẠI (THÉP C45) KHI MỎI BẰNG PHÂN TÍCH ĐỈNH NHIỄU XẠ TIA X TRÊN MÁY X'PERT PRO NGÀNH: CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO MÁY - 605204 S KC 0 5 Tp Hồ Chí Minh, năm 2013 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH LUẬN VĂN THẠC SĨ TRẦN HOÀNG SƠN ĐÁNH GIÁ SỰ THAY ĐỔI CẤU TRÚC KIM LOẠI ( THÉP C45) KHI MỎI BẰNG PHÂN TÍCH ĐỈNH NHIỄU XẠ TIA X TRÊN MÁY X’PERT PRO NGÀNH: CÔNG NGHỆ CHẾT TẠO MÁY – 605204 Tp Hồ Chí Minh, năm 2013 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH LUẬN VĂN THẠC SĨ TRẦN HOÀNG SƠN ĐÁNH GIÁ SỰ THAY ĐỔI CẤU TRÚC KIM LOẠI ( THÉP C45) KHI MỎI BẰNG PHÂN TÍCH ĐỈNH NHIỄU XẠ TIA X TRÊN MÁY X’PERT PRO NGÀNH: CÔNG NGHỆ CHẾT TẠO MÁY – 605204 Hướng dẫn khoa học: TS VĂN HỮU THỊNH Tp Hồ Chí Minh, năm 2013 LÝ LỊCH KHOA HỌC I LÝ LỊCH SƠ LƢỢC: Họ & tên: Trần Hoàng Sơn Giới tính: Nam Ngày, tháng, năm sinh: 05/12/1960 Nơi sinh: Sài gon Quê quán: Long An Dân tộc: Kinh Chỗ riêng địa liên lạc: H16 Lê thị Hồng F17 Q Gò Vấp Điện thoại quan: 0839846909 Điện thoại di động: 0918706216 E_mail: sonmdc@gmail.com II QUÁ TRÌNH ĐÀO TẠO: Trung học chuyên nghiệp: Hệ đào tạo: Nơi học (trƣờng, thành phố): Ngành học: Đại học: Hệ đào tạo: Chính qui Thời gian đào tạo từ 09/1978 đến 09/1983 Nơi học (trƣờng, thành phố): Trƣờng Đại Học Sƣ Phạm Kỹ Thuật Tp.HCM Ngành học: Công Nghệ Chế Tạo Máy Tên đồ án, luận án môn thi tốt nghiệp: Thiết Kế Hệ Thống Đo Lƣờng Không Tiếp Xúc ( khí nén) Ngày & nơi bảo vệ đồ án, luận án thi tốt nghiệp: tháng 9/1983 III QUÁ TRÌNH CÔNG TÁC CHUYÊN MÔN KỂ TỪ KHI TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC: Thời gian 10/1983 đến Nơi công tác Trƣờng Cao Đẳng Nghề Nguyễn Trƣờng Tộ ( tên cũ Trƣờng Trung Học Công Nghiệp i Công việc đảm nhiệm Giáo viên khoa Cơ khí LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan số liệu kết nghiên cứu luận văn hoàn toàn trung thực chƣa hềđƣợc sử dụng để bảo vệ học vị Tôi xin cam đoan giúp đỡ cho vi ệc thực luận văn đãđƣợc cảm ơn thông tin trích dẫn luận văn đãđƣợc rõ nguồn gốc Tp Hồ chí minh, ngày 20tháng 9năm 2013 Học viên Trần Hoàng Sơn ii LỜI CẢM ƠN Để hoàn thành luận văn này, trƣớc hết cho phép tác giả đƣợc bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đến TS Văn Hữu Thịnh - thầy giáo hƣớng dẫn luận văn bảo tận tình, thúc, động viên giúp đỡ tác giả nhiều trình thực đề tài Xin cảm ơn Thầy Nguyễn Đức Thành Giám đốc Trung tâm Hạt Nhân T/P Hồ Chí Minh thành viên trung tâm giúp đỡ việc sử dụng thiết bị chuyên dùng để đo đạc mẫu thực nghiệm Xin đƣợc bày tỏ lòng cảm ơn tới tất thầy, cô giáo giảng dạy hƣớng dẫn tác giả toàn khoá học Trân trọng cảm ơn toàn thể cán khoa Cơ khí Chế tạo máy, Phòng Quản lý cao học , Phòng Đào tạo Trƣờng Đại học Sƣ phạm Kỹ thuật Tp Hồ Chí Minh giúp đỡ tác giả thời gian học tập nghiên cứu trƣờng Lòng biết ơn tác giả muốn đƣợc gửi tới Ban Giám Hiệu trƣờng Đại học Sƣ phạm Kỹ thuật Tp Hồ Chí Minh, tạo điều kiện cho tác giả đƣợc học tập nghiên cứu Cuối tác giả muốn cảm ơn tới gia đình, ngƣời thân bạn bè động viên giúp đỡ tác giả thời gian qua Một lần xin cảm ơn tất cả! Tp Hồ Chí Minh, ngày 20 tháng năm 2013 Học viên Trần Hoàng Sơn iii TÓM TẮT Vật liệu học nói chung, kim loại học nói riêng ngành khoa học vật liệu khảo sát chất vật liệu, mối quan hệ cấu trúc tính chất chúng Một nhánh khoa học nghiên cứu quan hệ cấu trúc bên ( cách xếp nguyên tử vật chất) tính chất vật liệu, phụ thuộc tính chất vật liệu vào cấu trúc bên chúng Trong phƣơng pháp nhiễu xạ tia X phƣơng pháp phân tích cấu trúc kim loại cách dựa vào thông tin nhận đƣợc giản đồ XRD Đề tài “ Đánh giá thay đổi cấu trúc kim loại (thép C45) mỏi phân tích đỉnh nhiễu xạ tia X máy X’Pert Pro.” đƣợc thực thời gian khoảng tháng Đề tài thực nghiệm chủ yếu mẫu kim loại thép C45 Phạm vi đánh giá thay đổi mặt cấu trúc có mẫu kim loại thép C45, sau thử mỏi cách phân tích phổ nhận đƣợc đo phƣơng pháp nhiễu xạ tia X hệ máy X’Pert Pro phòng thí nghiệm Trung Tâm Hạt Nhân TP.HCM Để thực đạt mục đích đề tài, ngƣời thực sử dụng số phƣơng pháp nghiên cứu sau:  Tổng quan tài liệu có liên quan đến đề tài  Chế tạo mẫu thực nghiệm, tạo mỏi cho chi tiết mẫu tiến hành đo nhiễu xạ mẫu chế tạo  Phân tích liệu đo đạc đƣợc xử lý liệu phần mềm chuyên dùng đƣợc phát triển lý thuyết, mô hình tính toán học nhiễu xạ tia X vật liệu đa tinh thể Khi mẫu bị sai hỏng mỏi, cấu trúc mạng tinh thể bị thay đổi làm cho phổ nhiễu xạ tia X mẫu không nhƣ phổ nhiễu xạ tinh thể hoàn hảo Khảo sát mẫu mỏi, ta thấy có yếu tố khoa học quan trọng  Sự dịch chuyển đỉnh phổ phổ nhiễu xạ  Độ mở rộng đỉnh phổ phổ nhiễu xạ Kết thực nghiệm cho thấy có thay đổi cấu trúc kim loại biểu thị qua khoảng cách dhkl bề mặt mạng tinh thể mẫu thực nghiệm Sự thay đổinày đƣợc xác định thông qua giá trị đo đƣợc tính toán theo định luật Bragg so với mẫu chuẩn iv ABSTRACT Materials in general , in particular metals learning is the science of survey material nature of the material , the relationship between the structure and their properties One branch of this science is the study of relationships within the structure ( the arrangement of atoms in the material ) and the nature of the material , the dependence of material properties on their internal structure In the X -ray diffraction method is a method of analyzing metal structures by relying on the information received on the XRD diagram Entitled " Assessing the structural change of metal ( steel C45 ) when fatigue analysis by X-ray diffraction peaks on X'Pert Pro " Be done in about months time Thread primarily on empirical model C45 steel The scope is to assess the structural changes if the metal sample C45 steel after fatigue test by analyzing the received spectrum as measured by X-ray diffraction method on a computer system at room X'Pert Pro laboratory of Nuclear Center Ho chi Minh City To achieve the purpose of the study , who had made use of some of the following research methods :  Overview documents related topics  Production of experimental samples , create more fatigue diffraction pattern measured on the fabricated sample  Analyze measured data and data processing by specialized software was developed in theory , the mathematical model of the X -ray diffraction on polycrystalline materials When fatigue pattern defects , lattice structure is changed and made popular by X ray diffraction pattern of diffraction is not as perfect crystal Sample survey fatigue , we see there are important elements of science  The shift of the diffraction peak spectrum  The expanded spectrum of diffraction peaks The experimental results show there has been a change in the metal structure dhkl represented by the distance of the surface lattice of the experimental samples This change is determined by the values measured and calculated according to Bragg 's law than the standard model v MỤC LỤC Trang tựa Trang LÝ LỊCH KHOA HỌC i LỜI CAM ĐOAN ii LỜI CẢM ƠN iii TÓM TẮT iv MỤC LỤC vi DANH MỤC HÌNH ẢNH x DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT VÀ KÝ HIỆU xii Chƣơng TỔNG QUAN 1.1 Tổng quan chung lĩnh vực nghiên cứu: 1.1.1 Tổng quan chung lĩnh vực nghiên cứu: 1.1.2 Kết nghiên cứu nƣớc công bố: 1.2 Mục đích đề tài: .4 1.3 Nhiệm vụ giới hạn đề tài .5 1.1.3 Nhiệm vụ đề tài: 1.1.4 Giới hạn đề tài: .6 1.4 Phƣơng pháp nghiên cứu: 1.4.1 Cấu trúc tinh thể vật rắn 1.4.2 Các phƣơng pháp nghiên cứu cấu trúc tinh thể 1.4.3 Phép phân tích phổ nhiễu xạ tia X .7 Chƣơng CẤU TRÚC TINH THỂ CỦA VẬT LIỆU 10 2.1 Vật liệu [1,2] 10 2.1.1 Mở đầu .10 2.1.2 Định nghĩa 10 2.1.3 Phân loại 10 2.1.4 Các đặc điểm vật liệu 11 2.2 Mạng tinh thể .12 vi 2.2.1 Định nghĩa 12 2.2.2 Ô sở, số phƣơng, số Miller mặt tinh thể 13 2.2.3 Hệ tinh thể 15 2.3 Cấu trúc tinh thể điển hình kim loại 16 2.3.1 Mạng lập phƣơng tâm khối 16 2.3.2 Mạng lập phƣơng tâm mặt .17 2.3.3 Mạng lục giác xếp chặt 17 2.4 Các phƣơng pháp nghiên cứu kim loại hợp kim 18 2.4.1 Phƣơng pháp nghiên cứu cấu trúc tia X hay tia Rơngen .18 2.4.2 Phƣơng pháp nghiên cứu tổ chức kim loại hợp kim 19 Chƣơng LÝ THUYẾT MỎI 20 3.1 Hiện tƣợng phá hủy mỏi kim loại.[3] 20 3.1.1 Hiện tƣợng mỏi 20 3.1.2 Đƣờng cong mỏi .22 3.1.3 Giới hạn mỏi 23 3.2 Nhữngyếutốảnhhƣởngtớiđộbềnmỏi 24 3.2.1 Ảnh hƣởng chất vật liệu xử lý nhiệt .24 3.2.2 Ảnh hƣởng chế độ tải trọng .27 3.3 Cơ chế lan truyền vết nứt mỏi .30 3.3.1 Các pha đƣờng cong mỏi 30 3.3.2 Nghiên cứu bề mặt phá hủy mỏi chi tiết máy thực tế 30 3.3.3 Giải thích chế phá hủy mỏi 31 3.3.4 Điều kiện ngừng lan truyền vết nứt mỏi 32 3.4 Thí nghiệm mỏi 33 3.4.1 Sơ đồ chất tải 33 3.4.2 Mẫu Máy thí nghiệm 33 Chƣơng NHIỄU XẠ TIA X 35 4.1 Khái niệm nhiễu xạ tia X.[9] .35 4.2 Tia X phát sinh tia X .35 4.3 Nhiễu xạ tia X tinh thể 36 4.3.1 Hiện tƣợng nhiễu xạ tia X tinh thể 36 4.3.2 Phƣơng trình Bragg 37 vii Chương KẾT LUẬN 6.1 Kết luận Đề tài “ Đánh giá thay đổi cấu trúc kim loại (thép C45) mỏi phân tích đỉnh nhiễu xạ tia X máy X’Pert Pro.” đƣợc thực thời gian khoảng tháng Trong khoảng thời gian đó, thân tham khảo tài liệu, công trình nghiên cứu nƣớc Đến hoàn thành đề tài với mục tiêu đề với kết thực nghiệm nhƣ mong đợi Phƣơng pháp phân tích cấu trúc kim loại cách phân tích phổ nhiễu xạ tia X nói tóm tắt nhƣ sau, ngƣời ta dựa vào thông tin nhận đƣợc giản đồ XRD nhƣ:  Vị trí đỉnh nhiễu xạ (peak)  Độ rộng đĩnh nhiễu xạ  Cƣờng độ nhiễu xạ Khi mẫu bị sai hỏng mỏi, cấu trúc mạng tinh thể bị thay đổi làm cho phổ nhiễu xạ tia X mẫu không nhƣ phổ nhiễu xạ tinh thể hoàn hảo Khảo sát mẫu mỏi, ta thấy có yếu tố khoa học quan trọng  Sự dịch chuyển đỉnh phổ phổ nhiễu xạ  Độ mở rộng đỉnh phổ phổ nhiễu xạ Kết thực nghiệm cho thấy có thay đổi cấu trúc kim loại biểu thị qua khoảng cách dhkl bề mặt mạng tinh thể mẫu thực nghiệm Sự thay đổi đƣợc xác định thông qua giá trị đo đƣợc tính toán theo định luật Bragg so với mẫu chuẩn Từ kết thực nghiệm cho thấy nghiên cứu xác định bề rộng trung bình (B) đƣờng nhiễu xạ tia X với phƣơng pháp nội suy đƣờng cong Gauss, phần mềm chuyên dùng Kết thực nghiệm cho mẫu thép C45 chịu tác động mỏi qua chu kỳ khác nhau, biến dạng trung bình mạng tinh thể (mean lattice distortion) bề rộng trung bình đỉnh phổ có mối quan hệ 69 6.2 Giới hạn hướng phát triển đề tài Trong trình thực đề tài hạn chế thân lãnh vực chuyên sâu ngành vật liệu chất rắn, kiến thức vật lý tia X ứng dụng Bên cạnh yếu tố khách quan nhƣ thiết bị đo đạc chuyên dùng có sở chuyên môn cao Đề tài có nhiều mặt cần khắc phục để có tính thuyết phục cao ứng dụng đƣợc 6.2.1 Giới hạn  Nguyên nhân gây thay đổi d ( khoảng cách mặt phẳng mạng tinh thể) không đƣợc đề cập luận văn Do vấn đề đƣợc nhiều tài liệu, công trình khoa học khác giải  Đây phƣơng pháp phân tích đơn đỉnh độ xác phụ thuộc nhiều vào thiết bị đo mẫu phải chế tạo độ xác cao Đây lý mà số mẫu thực nghiệm cho số liệu không nhƣ mong muốn Ví dụ hạn chế phƣơng pháp độ sâu lớp bề mặt (5 micromet) liệu nhiễu xạ không rõ ràng phụ thuộc vào bề mặt mẫu gia công thời điểm đo  Một số yếu tố có ảnh hƣởng chƣa đƣợc xem xét luận văn: nhiệt độ, chất lƣợng bề mặt mẫu, dao động, góc xoay mẫu trình đo.v.v  Các mẫu chƣa đƣợc đo nhiều lần để tìm lặp lại kết quả, bề mặt mẫu phải đƣợc xử lý làm để loại trừ lỗi có bề mặt mẫu gây 6.2.2 Hướng phát triển đề tài Cần mở rộng đánh giá kiểm nghiệm phƣơng pháp cho nhiều loại vật liệu, lập hệ thống liệu nhiễu xạ cho nhóm vật liệu nhiều dạng chịu tải khác nhƣ kéo, nén, cán, rèn… chi tiết chịu tác động bề mặt nhƣ phun bi, làm bền Hiện có nhiều phƣơng pháp đo mẫu nhiễu xạ, ngƣời ta áp dụng phƣơng pháp xoay mẫu để nhận đƣợc nhiều phổ nhiễu xạ góc độ khác 70 Các phƣơng pháp gọi xoay trục, hai trục ba trục Theo phƣơng pháp ta cần cac thiết bị đại để thực chuyển động mẫu Hình 6.1: Sơ đồ đo mẫu xoay trục Nghiên cứu so sánh ứng suất dƣ mẫu với bề rộng trung bình đƣờng nhiễu xạ từ lập mối quan hệ tuyến tính ứng suất dƣ độ rộng nửa đỉnh phổ, để nghiên cứu có tính thuyết phục cao Sử dụng thêm phƣơng pháp nhiễu xạ khác để sâu vào bên vật liệu, nhƣ phƣơng pháp nhiễu xạ neutron, Synchrotron EDXRD… 71 TÀI LIỆUTHAMKHẢO TIẾNGVIỆT NguyễnNgọcLong,Vậtlýchấtrắn-Cấutrúcvàcáctínhchấtcủavật rắn, NXBĐại họcquốcgiaHàNội, 2007 Lê Công Dƣỡng ,Vật liệu học, NXB Khoa học kỹ thuật,Hà Nội,1997 Ngô Văn Quyết,Cơ sởlý thuyếtmỏi, NXB Giáo dục, HàNội, 2000 LêCôngDƣỡng ,KỹthuậtphântíchcấutrúcbằngtiaRontgen,NXB Khoa học kỹ thuật,Hà Nội, 1974 PhanLƣơngCầm–W.A.Schultze,Ănmònvàbảovệkimloại,TrƣờngĐại họcquốcgiaHàNội,1985 PhanVănKhôi,Tuổithọmỏicủakếtcấuthépngoàibiển,NXBKhoa họckỹ thuậtHà Nội,1997 NghiêmHùng,Kimloạihọcvànhiệtluyện,NXBĐạihọcvàTrunghọc chuyênnghiệp, 1979 NghiêmHùng,Sáchtracứuthépgangthôngdụng,TrƣờngĐạihọc quốc gia Hà Nội,1997 TIẾNGNƢỚC NGOÀI Vitalij K Pecharsky and Peter Y Zavalij,Fundamentals of PowderDiffraction and Structural Characterization of Materials, Second Edition Springer, 2008 10 Antonella Guagliardi,Powder diffraction pattern: Ogirin of line Broadening and Peak shape functions, Paul Scherrer Institute, Italy2008 11 William D.Callister, Jr David G Rethwisch, Materials science and Engineering an Introduction, Eighth Edition Springer,2006 12 Richard J.D Tilley Crystals and Crystal Structures, Frist Edition John Wiley & Sons, Ltd,2006 13 Y Leng, , Materials Characterization, John Wiley & Sons, Hoboken, NJ, 2008 72 14 Y Waseda, E Matsubara, and K Shinoda, X-ray Diffraction Crystallography, Springer, New York, NY,2011 15 D.C Van Aken and W.F Hosford, ReportingResults,Cambridge University , Press, Cambridge, UK, 2008 16 Scott A Speakman,Ph.D Estimating Crystallite Size Using XRD MIT Center for Materials Science and Engineering, 2010 73 PHỤ LỤC Mẫu chi tiết phá hủy mỏi thực nghiệm máy tạo mỏi Trung tâm hạt nhân thành phố Hồ chí Minh 74 Bản vẽ chi tiết mẫu thực nghiệm 75 Chƣơng trình gia công mẫu máy CNC N10 M5 N20 G91G28Z0 N30 G28X0.Y0.A0 N40 M01 N50 (UNDEFINED TOOL - DIA OFF - LEN - DIA - 20.) N60 T1M6 N70 G0G90G53X-23.213Y24.259A0.S1909M3 N80 G43H1Z50 N90 Z10 N100 G1Z-20.F15 N110 G3X-9.987Y19.5R20.759F500 N120 G1X9.987 N130 G3X23.213Y24.259R20.759 N140 M5 N150 G91G0G28Z0 N160 G28X0.Y0.A0 N170 M01 N180 T1M6 N190 G1G90G53X-24.487Y22.717A0.S1909M3 N200 G43H1Z-20 N210 G3X-9.987Y17.5R22.759F500 N220 G1X9.987 N230 G3X24.487Y22.717R22.759 N240 M5 N250 G91G0G28Z0 N260 G28X0.Y0.A0 N270 M01 N280 T1M6 N290 G1G90G53X-25.762Y21.176A0.S1909M3 N300 G43H1Z-20 N310 G3X-9.987Y15.5R24.759F500 N320 G1X9.987 N330 G3X25.762Y21.176R24.759 N340 M5 N350 G91G0G28Z0 N360 G28X0.Y0.A0 N370 M01 N380 T1M6 N390 G1G90G53X-27.036Y19.634A0.S1909M3 N400 G43H1Z-20 N410 G3X-9.987Y13.5R26.759F500 N420 G1X9.987 N430 G3X27.036Y19.634R26.759 N440 M5 N450 G91G0G28Z0 N460 G28X0.Y0.A0 N470 M01 N480 T1M6 76 N490 G1G90G53X-28.31Y18.093A0.S1909M3 N500 G43H1Z-20 N510 G3X-9.987Y11.5R28.759F500 N520 G1X9.987 N530 G3X28.31Y18.093R28.759 N540 M5 N550 G91G0G28Z0 N560 G28X0.Y0.A0 N570 M01 N580 T1M6 N590 G1G90G53X-28.629Y17.708A0.S1909M3 N600 G43H1Z-20 N610 G3X-9.987Y11.R29.259F500 N620 G1X9.987 N630 G3X28.629Y17.708R29.259 N640 G1Z-10.F15 N650 G0Z50 N660 M5 N670 G91G28Z0 N680 G28X0.Y0.A0 N690 M01 N700 G0G90G53X23.213Y-24.259A0.S1909M3 N710 G43H1Z50 N720 Z10 N730 G1Z-20.F15 N740 G3X9.987Y-19.5R20.759F500 N750 G1X-9.987 N760 G3X-23.213Y-24.259R20.759 N770 M5 N780 G91G0G28Z0 N790 G28X0.Y0.A0 N800 M01 N810 T1M6 N820 G1G90G53X24.487Y-22.717A0.S1909M3 N830 G43H1Z-20 N840 G3X9.987Y-17.5R22.759F500 N850 G1X-9.987 N860 G3X-24.487Y-22.717R22.759 N870 M5 N880 G91G0G28Z0 N890 G28X0.Y0.A0 N900 M01 N910 G1G90G53X25.762Y-21.176A0.S1909M3 N920 G43H1Z-20 N930 G3X9.987Y-15.5R24.759F500 N940 G1X-9.987 N950 G3X-25.762Y-21.176R24.759 N960 M5 N970 G91G0G28Z0 N980 G28X0.Y0.A0 77 N990 M01 N1000 G1G90G53X27.036Y-19.634A0.S1909M3 N1010 G43H1Z-20 N1020 G3X9.987Y-13.5R26.759F500 N1030 G1X-9.987 N1040 G3X-27.036Y-19.634R26.759 N1050 M5 N1060 G91G0G28Z0 N1070 G28X0.Y0.A0 N1080 M01 N1090 T1M6 N1100 G1G90G53X28.31Y-18.093A0.S1909M3 N1110 G43H1Z-20 N1120 G3X9.987Y-11.5R28.759F500 N1130 G1X-9.987 N1140 G3X-28.31Y-18.093R28.759 N1150 M5 N1160 G91G0G28Z0 N1170 G28X0.Y0.A0 N1180 M01 N1190 T1M6 N1200 G1G90G53X28.629Y-17.708A0.S1909M3 N1210 G43H1Z-20 N1220 G3X9.987Y-11.R29.259F500 N1230 G1X-9.987 N1240 G3X-28.629Y-17.708R29.259 N1250 G1Z-10.F15 N1260 G0Z50 N1270 M5 N1280 G91G28Z0 N1290 G28X0.Y0.A0 N1300 M30 % 78 Toàn số liệu đo đƣợc mẫu mẫu đối chứng Mẫu No 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 Pos [°2Th.] 134.13 134.19 134.25 134.31 134.37 134.43 134.49 134.55 134.61 134.67 134.73 134.79 134.85 134.91 134.97 135.03 135.09 135.15 135.21 135.27 135.33 135.39 135.45 135.51 135.57 135.63 135.69 135.75 135.81 135.87 135.93 135.99 136.05 136.11 136.17 136.23 136.29 Mẫu Mẫu [cts] [cts] [cts] 55 74 67 52 78 61 49 76 77 68 66 71 62 73 67 64 66 57 67 63 56 67 62 61 60 72 76 72 82 79 64 80 72 83 71 62 73 79 72 77 82 79 75 89 65 77 89 74 82 81 78 70 90 91 99 116 92 83 104 90 79 109 91 76 105 88 81 98 84 75 111 103 82 102 101 103 122 121 94 132 120 106 129 129 104 117 121 136 158 129 135 163 128 120 181 131 134 186 139 146 189 155 172 188 175 175 225 193 205 253 215 Mẫu Mẫu [cts] [cts] [cts] 64 62 66 63 66 67 63 63 86 72 70 60 73 57 63 70 92 69 69 69 82 81 67 80 85 95 85 76 90 66 89 83 96 100 111 104 100 84 106 95 99 100 94 83 109 92 103 102 126 109 122 111 127 127 120 123 142 110 142 139 138 145 156 130 177 157 184 203 203 200 252 215 209 228 61 56 53 58 64 64 64 65 53 62 74 67 59 68 68 53 78 78 87 76 73 88 83 92 90 89 98 106 113 128 131 132 133 180 167 183 195 79 Mẫu Mẫu Mẫu đ/ch [cts] Iobs [cts] 32 67 34 77 39 50 42 54 33 57 44 61 28 58 39 61 44 73 39 55 34 71 46 70 35 77 38 70 30 89 37 84 42 59 34 65 47 92 36 76 58 87 40 85 54 100 38 97 61 102 42 102 45 97 48 101 62 120 47 133 54 121 47 126 55 133 54 146 56 176 63 186 60 191 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 136.35 136.41 136.47 136.53 136.59 136.65 136.71 136.77 136.83 136.89 136.95 137.01 137.07 137.13 137.19 137.25 137.31 137.37 137.43 137.49 137.55 137.61 137.67 137.73 137.79 137.85 137.91 137.97 138.03 138.09 138.15 138.21 138.27 138.33 138.39 138.45 138.51 138.57 138.63 138.69 138.75 138.81 235 248 289 310 338 372 437 521 545 611 588 598 501 534 484 470 402 376 395 411 376 368 354 359 344 284 259 262 204 185 183 157 140 127 134 119 105 86 103 100 96 81 289 339 350 408 435 511 585 667 663 685 722 675 621 594 540 500 463 477 446 511 460 442 449 424 398 346 342 264 225 208 179 164 160 153 118 119 136 120 98 116 122 97 235 232 275 306 380 371 471 528 539 604 645 616 572 556 497 470 444 423 396 382 408 439 408 383 357 342 285 263 241 210 188 160 159 140 115 117 123 112 110 95 101 83 223 291 310 308 361 412 489 568 656 684 619 612 624 522 499 441 424 460 425 442 433 396 408 382 364 315 285 280 237 194 174 142 133 160 107 126 105 117 93 84 106 70 80 254 286 306 337 405 434 469 511 525 507 546 517 483 465 472 406 383 368 399 352 364 338 348 316 309 271 246 235 159 182 159 147 144 129 125 110 90 132 89 100 86 103 232 241 273 338 390 396 481 577 579 580 670 625 606 577 502 424 462 401 396 407 418 417 401 387 361 353 283 238 229 202 184 172 145 132 129 155 106 101 106 97 95 94 217 211 242 303 340 388 418 488 552 583 645 633 598 561 565 439 447 410 428 391 407 414 397 386 360 364 325 251 249 237 193 164 128 127 122 112 99 94 110 129 106 104 62 73 83 79 96 119 146 164 210 250 357 483 604 593 502 426 337 263 212 191 203 235 234 300 333 378 331 272 206 126 127 129 109 82 84 68 60 59 65 62 41 49 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 138.87 138.93 138.99 139.05 139.11 139.17 139.23 139.29 139.35 139.41 139.47 139.53 139.59 139.65 139.71 139.77 139.83 139.89 74 95 66 95 84 79 75 65 78 70 67 90 63 64 66 64 71 76 101 84 92 95 74 81 77 70 80 75 59 77 76 75 67 69 72 91 90 89 84 90 69 81 82 72 79 73 81 71 74 66 59 56 63 61 79 88 73 80 80 73 77 74 70 65 70 70 70 72 58 67 63 68 81 97 80 77 87 81 89 95 85 64 68 72 85 67 73 65 79 67 79 80 79 88 101 91 74 86 72 69 80 84 68 75 79 73 87 86 77 80 87 77 74 69 78 76 77 54 87 64 60 66 77 67 57 62 60 69 40 54 48 54 49 33 51 43 39 40 49 45 44 47 31 48 50 Một số ký tự Hy lạp đơn vị đo chiều dài 82