Nghiên cứu công nghệ xử lý photoresist phế thải

ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HCM TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA VƯƠNG QUANG VIỆT NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ XỬ LÝ PHOTORESIST PHẾ THẢI LUẬN ÁN TIẾN SỸ KỸ THUẬT TP HỒ CHÍ MINH, NĂM 2012 ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HCM TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA VƯƠNG QUANG VIỆT NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ XỬ LÝ PHOTORESIST PHẾ THẢI Chuyên ngành: Công nghệ môi trường chất thải rắn Mã số: 62.85.06.10 Phản biện độc lập 1: PGS TS ĐẶNG XUÂN HIỂN Phản biện độc lập 2: PGS TS NGUYỄN THỊ DUNG Phản biện 1: GS TS ĐÀO HÙNG CƯỜNG Phản biện 2: PGS TS LÊ THANH HẢI Phản biện 3: PGS TS PHAN ĐÌNH TUẤN NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS.TS NGUYỄN VĂN PHƯỚC TS NGUYỄN TRUNG VIỆT LỜI CẢM ƠN Chân thành cảm ơn PGS TS Nguyễn Văn Phước TS Nguyễn Trung Việt tận tình hướng dẫn Cám ơn thầy cô Khoa Môi trường, Khoa Công nghệ Hóa học, Khoa Công nghệ Vật liệu hết lòng giúp đỡ NCS suốt thời gian thực luận án Cảm ơn trường ĐH Bách khoa, Sở Khoa học Công nghệ, Sở Tài nguyên Môi trường, Viện ITIMS (ĐHBK Hà Nội), PTN Trọng điểm Quốc gia Vật liệu polyme compozit (Tp HCM), Phòng Độ bền Vật liệu Phi kim loại (VITTEP) tạo điều kiện thuận lợi tài liệu, phòng thí nghiệm cung cấp nguồn lực cho nghiên cứu Rất cảm ơn đại tá KS Nguyễn Thành Nhân giúp đỡ chân tình, bàn luận sâu sắc không đóng góp tính khoa học cho luận án mà giúp hiểu biết sâu rộng lĩnh vực khác sống Nhân dịp cho phép bày tỏ trân trọng với động viên giúp đỡ hình thức bạn bè, đồng nghiệp sinh viên đồng hành qua thời điểm khó khăn Và cuối cùng, chuyên tâm nghiên cứu thiếu quan tâm, động viên âm thầm vợ (Minh Nguyệt) (Hà Thu, Việt Hồng), thực động lực định thúc đẩy hoàn thành luận án Vương Quang Việt i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan công trình nghiên cứu hướng dẫn PGS TS Nguyễn Văn Phước TS Nguyễn Trung Việt Các số liệu kết luận án hoàn toàn trung thực chưa công bố công trình Tác giả luận án Vương Quang Việt ii LỜI CẢM ƠN i T T LỜI CAM ĐOAN ii T T CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG VIỆT vii T T CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG ANH viii T T DANH SÁCH BẢNG x T T DANH SÁCH HÌNH xi T T Mở đầu xiv T T Chương TỔNG QUAN VỀ NGHIÊN CỨU T T 1.1 Các ứng dụng quang khắc T T 1.2 Tổng quan nghiên cứu giảm thiểu xử lý photoresist T T 1.2.1 Nghiên cứu thay đổi công nghệ T T 1.2.2 Nghiên cứu xử lý chất thải lỏng T T 1.2.3 Xử lý polyme photoresist T T 1.2.4 Nghiên cứu ứng dụng polyme acrylic T T 1.2.5 Các nghiên cứu nước photoresist T T 1.2.5.1 Nghiên cứu photoresist T T 1.2.5.2 Nghiên cứu xử lý photoresist phế thải T T 1.2.5.3 Xử lý chất thải photoresist nhà máy Fujitsu 10 T T 1.3 Tổng quan phương pháp xử lý CTR công nghiệp nguy hại 10 T T 1.3.1 Phương pháp nhiệt 10 T T 1.3.2 Phương pháp ổn định đóng rắn 10 T T 1.3.3 Chôn lấp cuối bãi chôn lấp chất thải nguy hại 11 T T 1.3.4 Yêu cầu cần thiết nghiên cứu 12 T T 1.4 Vấn đề cần làm sáng tỏ trình nghiên cứu 13 T T Chương CƠ SỞ LÝ THUYẾT VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 15 T T 2.1 Lý thuyết đóng rắn cách tạo blend polyme 15 T T 2.1.1 Lý thuyết trộn hợp dung dịch 15 T T 2.1.1.1 Mô hình nhiệt động 15 T T 2.1.1.2 Mô hình lưới Huggins-Flory 16 T T 2.1.2 Tính chất pha tương hợp thêm chất tương hợp 17 T T 2.1.2.1 Blend polyme hai cấu tử không trộn hợp 17 T T 2.1.2.2 Nồng độ chất tương hợp tới hạn 19 T T 2.1.3 Thông số tương tác phương pháp tương hợp 20 T T 2.1.3.1 Thông số hòa tan thông số tương tác 20 T T 2.1.3.2 Các phương pháp tương hợp 21 T T 2.2 Cách tiếp cận nghiên cứu 21 T T 2.2.1 Photoresist phế thải, ảnh hưởng môi trường kỹ thuật khảo sát 22 T T 2.2.2 Tái chế photoresist cách tạo blend polyme phù hợp 23 T T 2.2.3 Cân nhắc lợi so sánh phương án xử lý 25 T T 2.3 Sơ đồ nghiên cứu 25 T T 2.3.1 Vật liệu sử dụng nghiên cứu 26 T T 2.3.2 Đơn thành phần blend cao su 27 T T iii 2.4 Phương pháp nghiên cứu 28 T T 2.4.1 Phương pháp phân tích đo đạc 28 T T 2.4.2 Phân tích thông số môi trường 29 T T 2.4.3 Đo tính lý mẫu blend (lưu hoá, ứng suất kéo trương nở) 31 T T 2.4.4 Quy hoạch thực nghiệm 32 T T 2.5 Nội dung phân tích thực nghiệm 32 T T 2.5.1 Lấy mẫu PR 32 T T 2.5.2 Xác định thành phần đặc tính PR 33 T T 2.5.3 Tạo blend polyme 33 T T 2.5.4 Xác định đặc tính blend 34 T T 2.5.5 Thực nghiệm xác định chế phản ứng 34 T T 2.5.6 Các phương án so sánh 35 T T Chương TÍNH CHẤT VÀ ẢNH HƯỞNG CỦA PHOTORESIST PHẾ THẢI TỚI MÔI TRƯỜNG 37 T T 3.1 Tính chất photoresist phế thải 37 T T 3.1.1 Thành phần kim loại nặng 37 T T 3.1.2 Thành phần photoresist phế thải 37 T T 3.1.3 Hàm lượng chất tan PR 40 T T 3.1.4 Hàm lượng acrylat tan nước 43 T T 3.1.5 Đặc tính nhiệt PR 44 T T 3.2 Ảnh hưởng photoresist phế thải đến môi trường 46 T T 3.2.1 Phần không tan 46 T T 3.2.2 Phần tan nước 46 T T Chương TÍNH CHẤT CỦA MỘT SỐ HỆ BLEND POLYME VỚI PHOTORESIST 49 T T 4.1 Khảo sát số hệ blend với photoresist phế thải 49 T T 4.1.1 Khảo sát hệ cao su thiên nhiên NR 49 T T 4.1.1.1 Ảnh hưởng hàm lượng PR trợ tương hợp đến tính lý 50 T T 4.1.1.2 Ảnh hưởng PR trợ tương hợp đến tính trương nở 51 T T 4.1.1.3 Ảnh hưởng hàm lượng PR đến chế độ lưu hóa 51 T T 4.1.2 Khảo sát hệ cao su tổng hợp NBR 52 T T 4.1.2.1 Ảnh hưởng hàm lượng PR trợ tương hợp đến tính lý 52 T T 4.1.2.2 Ảnh hưởng PR trợ tương hợp đến tính trương nở 53 T T 4.1.2.3 Ảnh hưởng hàm lượng PR đến chế độ lưu hóa 54 T T 4.1.3 Nhận xét hệ khảo sát 55 T T 4.2 Hình thành blend polyme với photoresist 57 T T 4.2.1 Quan điểm nhiệt động 57 T T 4.2.2 Đánh giá khả phản ứng 63 T T 4.2.3 Cơ chế ổn định đóng rắn blend 67 T T 4.2.4 Các yếu tố ảnh hưởng đến tính chất blend cao su PR 69 T T 4.2.4.1 Hàm lượng PR 69 T T 4.2.4.2 Hàm lượng trợ tương hợp 70 T T 4.2.4.3 Hàm lượng than đen 70 T T 4.2.4.4 Độ ẩm PR 70 T T iv Chương SẢN XUẤT THỬ NGHIỆM BLEND POLYME VỚI PR 73 T T 5.1 Điều chỉnh thành phần chế độ gia công 73 T T 5.1.1 Điều chỉnh đơn pha chế chế độ gia công phù hợp 73 T T 5.1.1.1 Điều chỉnh đơn pha chế 73 T T 5.1.1.2 Điều chỉnh chế độ gia công 74 T T 5.1.1.3 Chế độ gia công 74 T T 5.1.2 Qui hoạch thực nghiệm 75 T T 5.1.2.1 Qui hoạch cho đơn thành phần blend cao su NR 76 T T 5.1.2.2 Qui hoạch cho đơn thành phần blend cao su NBR 78 T T 5.1.3 Ảnh hưởng hàm lượng than đen đến tính 79 T T 5.1.3.1 Kết thử nghiệm ảnh hưởng than đen đến tính lý 80 T T 5.1.3.2 Kết thử nghiệm ảnh hưởng than đen đến đặc tính lưu hóa 81 T T 5.1.3.3 Bàn luận ảnh hưởng than đen 83 T T 5.1.4 Ảnh hưởng hàm lượng chất trợ tương hợp 85 T T 5.1.4.1 Kết thử nghiệm ảnh hưởng hàm lượng TTH đến tính lý 86 T T 5.1.4.2 Kết thử nghiệm ảnh hưởng TTH đến đặc tính lưu hóa 87 T T 5.1.4.3 Bàn luận ảnh hưởng trợ tương hợp 89 T T 5.2 Tính ổn định vật liệu 91 T T 5.2.1 Ổn định vật liệu blend Cao su Thiên nhiên NR với CSTNgAM (G2, I2) 92 T T 5.2.2 Ổn định vật liệu blend cao su NBR với dầu hạt điều (H1, K1) 95 T T 5.2.3 Kháng mài mòn mẫu blend 96 T T 5.2.4 Hàm lượng acrylat linh động blend 97 T T 5.3 Đề xuất dây chuyền công nghệ tái chế photoresist tạo blend polyme 99 T T 5.3.1 Công nghệ phương án xử lý 99 T T 5.3.3 Tính kinh tế môi trường dây chuyền tái chế 101 T T 5.3.4 So sánh phương án xử lý 102 T T 5.3.4.1 Chi phí môi trường phương án 102 T T 5.3.4.2 Nhận xét phương án dây chuyền xử lý 105 T T 5.4 Các sản phẩm từ blend cao su với photoresist tái chế 105 T T KẾT LUẬN 107 T T CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN ÁN 109 T T TÀI LIỆU THAM KHẢO 111 T T PHỤ LỤC (danh mục) 117 T T v Diễn giải số thuật ngữ/ khái niệm dùng luận án: • “Blend hỗn hợp nhiều hợp phần” (Từ điển Oxford, 1984) “Polyme blend hay polyme mixture nhóm vật liệu tương tự hợp kim bao gồm polyme trộn với tạo nên vật liệu có tính chất khác biệt” (Wikipedia, 2010) Blend có ý nghĩa hỗn hợp (mixture) song có phân bố thành phần đồng dùng phổ biến công nghệ polyme • Photoresist hay resist loại chất dễ dàng tham gia phản ứng quang hóa làm thay đổi tính tan chúng bị phơi sáng hay tác dụng xạ nói chung Trong nghiên cứu photoresist hay resist Việt hóa chất cảm quang, hay nhựa cảm quang Thuật ngữ không thay cho định nghĩa - Tác giả vi CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG VIỆT BVMT Bảo vệ môi trường BCL Bãi chôn lấp CTNH Chất thải nguy hại CSTNgAM Cao su thiên nhiên maleic hóa Cty Công ty CTR Chất thải rắn ĐHBK Đại học Bách khoa HCM Thành phố Hồ Chí Minh HD Dầu hạt điều KCN Khu công nghiệp KCNC Khu công nghệ cao NM Nhà máy TCVN Tiêu chuẩn Việt Nam TNHH Trách nhiệm hữu hạn TNMT Tài nguyên Môi trường TT Trung tâm TTH Trợ tương hợp PTHQ Phương trình hồi qui PTN Phòng thí nghiệm Photoresist Nhựa cảm quang pkl Phần đơn vị khối lượng PR Nhựa cảm quang phế thải P/t Phương trình QCVN Qui chuẩn Việt Nam QHTN Qui hoạch thực nghiệm QUATEST Trung tâm kỹ thuật tiêu chuẩn đo lường Khu vực VINAUSEN Công ty Cổ phần Môi trường Việt Úc VITTEP Viện Kỹ thuật Nhiệt đới Bảo vệ Môi trường vii CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG ANH (Chữ viết tắt Tiếng Anh đầy đủ/ Tiếng Việt) 4020 N-(1,3-dimethylbutyl)-N’-phenyl-p-phenylene diamine/ phòng lão 4020 ACM acrylate rubber/ cao su acrylat ASA (meth) acrylate –styrene-acrylonitril copolyme/ copolyme metacrylat-styren-acrylonitril ASE Center of Analytical Services and Experimentation HCMC/ Trung tâm Dịch vụ Phân tích Thí nghiệm Tp HCM BR butadien rubber/ cao su butadien CMC Critical micelles concentration/ Nồng độ micell tới hạn CRP controlled radical polymerization methods/ phương pháp trùng hợp gốc có kiểm soát D phenyl – β – naphtylamin anti-aging agent/ phòng lão Neozon D DFR Dry Film Resist/ Phim khô cảm quang DM disulfure dibenzothiazol DOP dioctyl phthalate DTA Differential Thermal Analysis/ phân tích nhiệt vi sai CERCLA Comprehensive Environmental Response, Compensation, and Liability Act/ Luật Trách nhiệm pháp lý, Đền bù Phản hồi Môi trường Tích cực EMAS Eco- Management and Audit Scheme/ Sơ đồ Kiểm toán Quản lý Sinh thái ENR epoxidized natural rubber/ cao su epoxy hóa EPA Environmental Protection Agency/ Cơ quan Bảo vệ Môi trường Hoa Kỳ ETM Center for Environmental Technology & Management/ TT Công nghệ Quản lý Môi trường FE Field emission/ Phát xạ trường ICP Inductively coupled Plama/ Plasme cảm ứng kết hợp ICP-MS Inductively coupled Plama – mass spectrometry/ Plasme cảm ứng kết hợp khối phổ viii PHỤ LỤC 07 KINH TẾ MÔI TRƯỜNG CỦA DÂY CHUYỀN TÁI CHẾ Thông số Công suất thiết kế dây chuyền 10 tấn/tháng (tương đương 350 kg/ngày, thời gian làm việc 25 ngày/tháng) cho hai dòng sản phẩm với tỷ lệ 50/50 Mức đầu tư nguồn vốn • Đầu tư trang thiết bị Thiết bị dây chuyền Bảng 7.1 Danh sách thiết bị dây chuyền TT Thiết bị Đặc tính Máy trộn kín (Việt Nam) 70 l/70HP-100 kg/mẻ Máy cán trục (Việt Nam) Trục d40, dài 80-50HP Máy lưu hoá ép (Việt Nam) 40 tấn; 65 triệu/cái Máy cắt đùn 20HP o Tủ sấy Tmax 250 C 180 lít o Tủ sấy Tmax 500 C 60 lít Khuôn mẫu s/p gioăng dân dụng D40, D20 Khuôn mẫu s/p gioăng chịu dầu D20, D30 P P P P Để có nơi bố trí thiết bị làm việc, cần đến mặt nhà xưởng Dây chuyền công nghệ không sử dụng công đoạn sấy mà thay vào phơi tự nhiên, nên cần mặt lớn để phơi nguyên liệu Diện tích toàn khu vực cần 50 * 80 m = 400 m2, nhà xưởng có mái che chiếm diện tích nửa, phần lại sân tập kết phơi PR Định phí phương án tính bảng sau: Tổng vốn đầu tư = Đầu tư thiết bị: 726 triệu VND Chi phí khấu hao năm: 103,714 triệu VND Bảng 7.2 Tính định phí phương án TT Thiết bị Đặc tính Trị gía (VND) Máy trộn kín (Việt Nam) 70 l/70HP-100 kg/mẻ 180,000,000 Máy cán trục (Việt Nam) Trục d40, dài 80-50HP 150,000,000 Máy ép lưu hoá (Việt Nam) 40 tấn; 65 triệu/cái 130,000,000 Máy cắt đùn 20HP 60,000,000 Tủ sấy Tmax 250 oC 180 lít; 30,000,000 o Tỷ sấy Tmax 500 C 60 lít, 25,000,000 Khuôn mẫu s/p gioăng dân dụng D40, D20 7,000,000 Khuôn mẫu s/p gioăng chịu dầu D20, D30 9,000,000 Lắp đặt điện nước, chiếu sáng 60,000,000 10 Chi phí huấn luyện, chuyển giao 75,000,000 Tổng cộng 726,000,000 P P P P P P PL-48 Ghi chú: Đơn giá chưa tính chi phí vận chuyển thiết bị, lắp đặt phí VAT Tính toán chi phí dòng tiền tệ tính cho phương án ứng với mức trợ giá PR khác Phương án C1: PR với chi phí xử lý (400 USD/tấn) chuyển cho sở tái chế; Phương án C2: tái chế PR sở tái chế nhận 100 USD phương án C3: không nhận chi phí tái chế • Chi phí sản xuất Nguyên vật liệu loại phổ biến thị trường mua với giá thị trường Giá (chi phí) tính sở chi phí cho xử lý tấn/400 USD, xấp xỉ triệu VND/1 thô Hàm lượng ẩm trung bình 70 % qui cho lượng khô (sau phơi, sấy) Tổng hợp chi phí sản xuất cho sản phẩm cho hai loại blend cao su NR NBR qua phương án trình bày bảng 8.3 Bảng 7.3 Tổng hợp chi phí sản xuất cho sản phẩm qua phương án Phương án Các loại blend Blend NR Blend NBR C1 35,652,661 36,544,581 C2 39,014,006 40,147,103 C3 40,134,454 41,347,944 Chi phí để sản xuất tháng ứng (biến phí) với đơn giá nhân lực: - Lương kỹ sư: triệu/tháng - Lương công nhân: triệu/tháng Thuê nhà xưởng: Chi phí thuê nhà xưởng: 35,000,000 /tháng Chi phí cố định để sản xuất năm (2 kế toán): 150,.000,000 VND/năm Khấu hao thiết bị tính năm Tương tự, tính toán tổng hợp biến phí sản xuất tháng cho phương án trình bày bảng tổng hợp sau: Bảng 7.4 Tổng hợp chi phí sản xuất cho tháng qua phương án Phương án Chi phí ứng với suất 10 12 sp/tháng sp/tháng sp/tháng C1 404,265,323 483,406,653 569,547,984 C2 423,897,232 507,946,540 598,995,848 C3 430,441,202 516,126,502 608,811,802 Giá bán sản phẩm blend NR là: 50,000,000 VND/tấn Giá bán sản phẩm blend NBR là: 75,000,000 VND/tấn Giá bán sản phẩm trung bình (tỷ lệ blend NR/NBR 50/50) là: 62,500,000 VND/tấn PL-49 PHỤ LỤC 08 MỘT SỐ PHIẾU PHÂN TÍCH BLEND VÀ CÔNG VĂN CHẾ THỬ PL 8.1 Đế giầy - Phiếu kết thử nghiệm mẫu đế giầy không chứa PR PL 8.2 Đế giầy + PR - Phiếu kết thử nghiệm mẫu đế giầy chứa 20 plk PR PL 8.3 blend NR- Phiếu kết thử nghiệm mẫu blend AA họ NR PL 8.4 blend NBR+ PA khô - Phiếu kết thử nghiệm mẫu blend BB họ NBR PL 8.5 blend NBR - Phiếu kết thử nghiệm mẫu blend CC họ NBR PL 8.6 - Công văn Công ty Thành Danh sử dụng nhựa tái chế blend cao su PL-50 PL-51 PL-52 PL-53 PL-54 PL-55 PL-56 PHỤ LỤC 09 MỘT SỐ HÌNH VÀ SƠ ĐỒ TỶ LỆ LỚN Hình 3.1 Phổ IR nhựa cảm quang phế thải Hình 3.2 Phổ IR phần tan CHCl , qua cột silicagel phân đoạn CH Cl R R R R R Hình 3.3 Phổ IR phần tan CHCl , qua cột silicagel phân đoạn etanol R R Hình 3.4 Phổ IR phần tan nước Hình 3.7 Giản đồ nhiệt mẫu PR (a) không khí; (b) khí trơ Hình 4.15 Giản đồ nhiệt blend hệ cao su NR-PR (môi trường nitơ) Hình 4.16 Giản đồ nhiệt blend hệ cao su NBR-PR (môi trường nitơ) PL-57 Hình 3.1 Phổ IR nhựa cảm quang phế thải Hình 3.2 Phổ IR phần tan CHCl , qua cột silicagel phân đoạn CH Cl R R R R R PL-58 Hình 3.3 Phổ IR phần tan CHCl , qua cột silicagel phân đoạn etanol R R Hình 3.4 Phổ IR phần tan nước PL-59 TG /% Peak: 528.477 Peak: 546.516 Mass Change: -4.62 % 100.0 DSC /(mW/mg) DTG /(%/min) exo Mass Change: -26.36 % [1] 90.0 Peak: 400.13 5.0 Peak: 643.239 -2 80.0 4.0 [1] -4 70.0 Peak: 414.884 3.0 60.0 Peak: 326.107 -6 50.0 2.0 -8 (a) không khí 40.0 Mass Change: -46.44 % 1.0 -10 30.0 Mass Change: -10.75 % 20.0 -12 Mass Change: -1.72 % [1] 10.0 100 200 300 400 500 600 Administrator 24-06-2009 15:37 Instrument: File: Project: Identity: Date/Time: Laboratory: Operator: NETZSCH STA 409 PC/PG V007.dsv HUT V007 6/17/2009 6:52:23 PM PCM N.H.Hanh Sample: Reference: Material: Correction File: Temp.Cal./Sens Files: Range: Sample Car./TC: Itims(Tuan Viet), 13.000 mg Al2O3,0.000 mg Al2O3 Corection at 650 degC in O2.bsv Calib new 27 01 07.tsv / Calib nhay 27107.esv 35/10.00(K/min)/650 DSC(/TG) HIGH RG / S Mode/Type of Meas.: Segments: Crucible: Atmosphere: TG Corr./M.Range: DSC Corr./M.Range: Remark: TG /% -47.33 J/g DSC-TG / Sample + Correction 1/1 DSC/TG pan Al2O3 O2/30 / N2/0 020/30000 mg 020/5000 µV DSC /(mW/mg) exo  -2.91 % 100.0 90.0 -1.0 80.0 -2.0 70.0 -3.0 -80.22 % 60.0 306.5 J/g 50.0 -4.0 40.0 -5.0 30.0 (b) khí trơ 20.0 -6.0 -5.09 % [1] 100 200 300 400 500 600 Temperature /°C Admin 17-01-2011 17:56 Instrument: File: Project: Identity: Date/Time: Laboratory: Operator: NETZSCH STA 409 PC/PG V007 MrTuan.ssv 012011 1/17/2011 4:28:40 PM PCM N.H.Hanh-T.D.Duc Sample: Reference: Material: Correction File: Temp.Cal./Sens Files: Range: Sample Car./TC: Itims V007, 7.000 mg Al2O3,0.000 mg Cali Al cup 10 2008.tsv / Al cup 10 2008.esv 30/10.00(K/min)/600 DSC(/TG) HIGH RG / S Mode/Type of Meas.: Segments: Crucible: Atmosphere: TG Corr./M.Range: DSC Corr./M.Range: Remark: DSC-TG / Sample 1/1 DSC/TG pan Al O2/0 / N2/30 000/30000 mg 000/5000 µV Hình 3.7 Giản đồ nhiệt mẫu PR (a) không khí; (b) khí trơ PL-60 DSC /(mW/mg) DTG /(%/min) [1] exo TG /% 100 -6.89 % -0.2 90 -2 -0.4 80 -4 70 -0.6 60 -6 -72.21 % -0.8 50 -8 -1.0 40 30 -182.4 J/g D11* -10 -1.2 -0.61 % [1] 408.1 °C 20 100 200 300 400 500 600 Temperature /°C Admin 14-01-2011 12:28 Instrument: File: Project: Identity: Date/Time: Laboratory: Operator: NETZSCH STA 409 PC/PG D11 MrTuan (do lai) 012011 1/13/2011 12:35:39 PM PCM N.H.Hanh-T.D.Duc Sample: Reference: Material: Correction File: Temp.Cal./Sens Files: Range: Sample Car./TC: Itims D11, 25.600 mg Al2O3,0.000 mg Cali Al cup 10 2008.tsv / Al cup 10 2008.esv 30/10.00(K/min)/600 DSC(/TG) HIGH RG / S Mode/Type of Meas.: Segments: Crucible: Atmosphere: TG Corr./M.Range: DSC Corr./M.Range: Remark: DSC-TG / Sample 1/1 DSC/TG pan Al O2/0 / N2/30 000/30000 mg 000/5000 µV (a) hợp phần NR không chứa PR DSC /(mW/mg) DTG /(%/min) [1] exo  TG /% 100 -6.68 % -0.2 90 -2 80 -0.4 70 -4 -0.6 60 -74.12 % -6 50 -0.8 -233.2 J/g 40 [1] 30 D22* -1.0 -0.44 % 20 [1] -1.2 -8 -10 409.9 °C 100 200 300 400 500 600 Temperature /°C Admin 14-01-2011 12:32 Instrument: File: Project: Identity: Date/Time: Laboratory: Operator: NETZSCH STA 409 PC/PG D22 MrTuan.ssv 012010 1/13/2011 4:31:18 PM PCM N.H.Hanh-T.D.Duc Sample: Reference: Material: Correction File: Temp.Cal./Sens Files: Range: Sample Car./TC: Itims D22, 29.000 mg Al2O3,0.000 mg Cali Al cup 10 2008.tsv / Al cup 10 2008.esv 30/10.00(K/min)/600 DSC(/TG) HIGH RG / S Mode/Type of Meas.: Segments: Crucible: Atmosphere: TG Corr./M.Range: DSC Corr./M.Range: Remark: DSC-TG / Sample 1/1 DSC/TG pan Al O2/0 / N2/30 000/30000 mg 000/5000 µV (b) hợp phần NR với 10 pkl PR Hình 4.15 Giản đồ nhiệt blend hệ cao su NR-PR (môi trường nitơ) PL-61 DSC /(mW/mg) DTG /(%/min) [1] exo TG /% 100 -6.18 % 368.9 °C -0.50 -9.41 % 90 120.9 J/g -2 -1.00 80 -1.50 70 -4 -2.00 60 -60.87 % -240.8 J/g -2.50 -6 50 -3.00 481.9 °C 40 -8 E11* -3.50 30 -0.34 % [1] -4.00 -10 100 200 300 400 500 600 Temperature /°C Admin 14-01-2011 14:34 Instrument: File: Project: Identity: Date/Time: Laboratory: Operator: NETZSCH STA 409 PC/PG E11 MrTuan.ssv 012011 1/14/2011 12:38:33 PM PCM N.H.Hanh-T.D.Duc Sample: Reference: Material: Correction File: Temp.Cal./Sens Files: Range: Sample Car./TC: Itims E11, 39.100 mg Al2O3,0.000 mg Cali Al cup 10 2008.tsv / Al cup 10 2008.esv 30/10.00(K/min)/600 DSC(/TG) HIGH RG / S Mode/Type of Meas.: Segments: Crucible: Atmosphere: TG Corr./M.Range: DSC Corr./M.Range: Remark: DSC-TG / Sample 1/1 DSC/TG pan Al O2/0 / N2/30 000/30000 mg 800/5000 µV (a) hợp phần NBR không chứa PR DSC /(mW/mg) DTG /(%/min) exo [2] TG /% -49.46 J/g! 100 -9.57 % 90 -0.5 -1.00 -2.00 80 -1.0 -3.00 70 100.1 J/g -4.00 60 -243.1 J/g -66.51 % -1.5 -5.00 50 -2.0 -6.00 40 -7.00 30 -2.5 E22* -8.00 [2] 100 200 300 400 500 600 Temperature /°C Admin 14-01-2011 15:55 Instrument: File: Project: Identity: Date/Time: Laboratory: Operator: NETZSCH STA 409 PC/PG E32 MrTuan.ssv 012011 1/14/2011 2:36:10 PM PCM N.H.Hanh-T.D.Duc Sample: Reference: Material: Correction File: Temp.Cal./Sens Files: Range: Sample Car./TC: Itims E32, 20.600 mg Al2O3,0.000 mg Cali Al cup 10 2008.tsv / Al cup 10 2008.esv 30/10.00(K/min)/600 DSC(/TG) HIGH RG / S Mode/Type of Meas.: Segments: Crucible: Atmosphere: TG Corr./M.Range: DSC Corr./M.Range: Remark: DSC-TG / Sample 1/1 DSC/TG pan Al O2/0 / N2/30 000/30000 mg 000/5000 µV (b) hợp phần NBR với 10 pkl PR Hình 4.16 Giản đồ nhiệt blend hệ cao su NBR-PR (môi trường nitơ) PL-62 [...]... acrylat” [31] Các nghiên cứu này mới dừng ở mức thử nghiệm ban đầu, tổng hợp resist, xem xét cơ chế, nguyên lý của phản ứng Đây là kết quả của các đề tài, luận văn cao học 1.2.5.2 Nghiên cứu về xử lý photoresist phế thải Trong số nghiên cứu gần với chủ đề có nghiên cứu của Võ Thanh Hiếu (2005) về công nghệ xử lý nước thải sản xuất bo mạch điện tử và đề xuất phương án thu hồi đồng oxit ở công ty Fujitsu... [56] Các nghiên cứu này tập trung vào sử dụng công nghệ hợp lý để giảm thiểu lượng photoresist sử dụng và qua đó giảm lượng PR tạo thành Các công nghệ này được cho là mang tính đột phá và giúp cho quản lý chất thải từ trên dây chuyền công nghệ Tuy nhiên đến nay các công nghệ làm giảm lượng PR phát sinh này vẫn đang trong quá trình hoàn thiện, chưa có ứng dụng rộng rãi 1.2.2 Nghiên cứu xử lý chất thải lỏng... dụng hỗn hợp để sản xuất PWB hoặc sản phẩm tương tự [104] 1.2 Tổng quan nghiên cứu về giảm thiểu và xử lý photoresist 1.2.1 Nghiên cứu thay đổi công nghệ Tách PR bằng phương pháp ướt là công nghệ truyền thống nhưng đi kèm với việc phát sinh chất thải dạng lỏng Một hướng khác được quan tâm nghiên cứu là tách photoresit với công nghệ khô đã được Flamm (1992) mô tả từ rất sớm [63] Một trong số đó là phương... quang khắc Ngoài ra giảm hoạt tính, đóng rắn chất thải cũng đã được nghiên cứu không chỉ cho resist phế thải chung mà còn ứng dụng để xứ lý các chất thải khác 1.2.4 Nghiên cứu ứng dụng polyme acrylic Có rất ít tài liệu nói về ứng dụng acrylat polyme trong xử lý PR từ dây chuyền quang khắc nhưng nghiên cứu ứng dụng của polyme này lại rất phổ biến Nghiên cứu vật liệu mới lai tạo: sử dụng cấu trúc của polyme... mạch điện tử và đề xuất phương án thu hồi đồng oxit ở công ty Fujitsu với mục tiêu tận thu đồng trong nước thải Nghiên cứu đã thành công trên cơ sở công nghệ và dùng phụ gia của công ty mẹ [13] Các nghiên cứu của Nguyễn Quốc Bình (2003, 2006) về ứng dụng công nghệ đốt nhiệt phân để xử lý chất thải rắn nguy hại tại Tp HCM đã mô tả PR là một trong số đối tượng được đề tài thử nghiệm [3], [5] Kết quả... như Na, Fe, Al từ chất thải lỏng thuốc hiện chứa photoresist và TAAH thay cho các phương pháp xử lý qui ước Xử lý chất thải lỏng chứa photoresist của Miki Kohei và cộng sự [93] với mục đích để dùng lại dung dịch thuốc hiện bằng cách áp dụng siêu lọc Phát minh quản lý dung dịch thải chứa photoresist resin theo đăng ký phát minh US 4,786,417 [80] cung cấp hệ thống quản lý dung dịch thải chứa PR từ trong... cố định chất thải đồng thời sử dụng lại khối vật chất đó như một sản phẩm có ích xiv Mục tiêu của luận án là: (i) Trong điều kiện thiết bị hiện có, nghiên cứu đặc tính của photoresist phế thải và tính chất cơ lý của khối monolith (blend polyme với photoresist) ; (ii) ứng dụng công nghệ ổn định và đóng rắn vào lĩnh vực biến tính cao su nhựa kỹ thuật theo hướng tái chế Đối tượng của nghiên cứu là PR từ... chưa có ứng dụng rộng rãi 1.2.2 Nghiên cứu xử lý chất thải lỏng Liên quan tới xử lý dòng thải lỏng chứa PR có nhiều patent đề cập đến, trong đó có 9 patent tiếp cận điển hình sau: Xử lý photoresist phế thải của Erb Allen Jefferson [61] với qui trình xử lý dòng thải lỏng có chứa thành phần PR Trong quá trình này pH của dòng thải được điều chỉnh đến khoảng 4,0 – 6,0 và chất thêm được chọn lựa trong 3... nghệ khô bóc tách photoresist trong quá trình sản xuất PWB Mục tiêu của nghiên cứu là khắc phục nhược điểm của phương pháp khi không tách hoàn toàn photoresist hoặc gây hư hỏng sản phẩm do các cơ chế gắn liền với công nghệ plasma [42], [46] Cũng từ năm 2002, EPA khởi động dự án nghiên cứu khảo sát phát triển công nghệ thân thiện với môi trường có mã số R829554 Dự án có mục tiêu nghiên cứu, khảo sát sử... Theo báo cáo về quản lý CTNH của Sở TN&MT Tp Hồ Chí Minh và Báo cáo hoàn tất xử lý tiêu hủy chất thải nhựa cảm quang photoresist của VINAUSEN, việc xử lý PR được thực hiện trong lò đốt 2 cấp [8] Một phần photoresist (chưa rõ khối lượng) được lưu trữ trong các kho tạm chứa của SONADEZI chờ phương án xử lý phù hợp Như vậy, hiện nay ở Việt Nam phương pháp được áp dụng (hoặc nghiên cứu hạn chế) là phương