Hình 1.1
Mô hình vi cảm biến trong thiết bị đo lường chính là phần chuyển đổi sơ cấp (Trang 14)
Hình 1.2
Mô hình vi cảm biến lực (Trang 15)
Hình 1.3
Mô hình vi cảm biến lực 3 chiều (Trang 16)
Hình 1.5
Phân bố ứng suất trên thanh dầm (Trang 18)
Hình 1.7
Đường cong chuẩn của cảm biến tuyến tính (Trang 20)
Hình 2.1
Vi cảm biến lực kiểu tụ (Trang 25)
Hình 2.2
Vi cảm biến lực kiểu áp điện (Trang 26)
Hình 2.3
trình bày một vi cảm biến lực kiểu áp trở [9]. Vi kẹp có gắn vi cảm biến này có thể sử dụng trong các hệ thống vi lắp ráp và vi robot tự động (Trang 26)
Hình 2.4
Vi cảm biến lực kiểu laser quang (Trang 27)
Bảng 2.1
Thông số cơ học của một số vật liệu (Trang 28)
Hình 2.5
Các thành phần ứng suất (Trang 29)
Bảng 2.2
Giá trị thực nghiệm các hệ số áp điện trở (Trang 33)
Hình 2.7
biểu diễn đáp ứng tần số của nhiễu flicker. Nó chỉ ra rằng nhiễu flicker ảnh hưởng mạnh ở tần số thấp (Trang 36)
Hình 3.1
Vi cảm biến lực 3 chiều áp trở (Trang 38)
Hình 3.3
Sơ đồ cấu hình : a) Cấu hình ngang b) Cấu hình dọc c) Cấu hình dài d) Bố trí cầu Wheatstone với công tắc chuyển từ a) sang b) (Trang 40)