1. Trang chủ
  2. » Luận Văn - Báo Cáo

Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN

62 662 0
Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

Ngày đăng: 25/03/2015, 11:08

Xem thêm: Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN

Mục lục

    2.2.1 Shear Horizontal Surface Acoustic Waves (SH-SAWs)

    2.2.2 Rayleigh Surface Acoustic Waves (R-SAWs)

    2.3.2 Standing and Linear Motion Medium

    2.4 Equivalent Circuit Model of SAW Devices

    3.3 FEM Simulation for AlN-based Microfluidic Sensor

    Chapter 4 Results and Discussion

    Chapter 5 Conclusions and Future Work

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan