hợp.
Đồ thị phân bố ứng suất hình 4.4 phù hợp với kết quả lý thuyết cho ứng suất dọc trên thanh dầm trong cấu hình ngang.
Độ biến thiên điện trở trên RL1 và RL2 là R0−∆R và R0+ ∆R. Hình 4.4 trình bày đồ thị phân bố ứng suất khi lực Fz tác động.
4.2.4 Cấu hình dọc
Cho lực Fy = 2mN tác động vào thanh dầm, hình 4.5 trình bày kết quả mô phỏng ứng suất phân bố trên thanh dầm.
Ứng suất biến thiên tuyến tính theo chiều dài của thanh dầm I2, các ứng suất có giá trị biến thiên theo chiều rộng thanh do đó cấy áp điện trở theo trục dọc củaI2 là phù hợp.
Đồ thị phân bố ứng suất hình 4.4 phù hợp với kết quả lý thuyết cho ứng suất dọc trên thanh dầm trong cấu hình ngang.
Độ biến thiên điện trở trên RL1 và RL2 là R0+ ∆R và R0+ ∆R. Hình 4.6 trình bày đồ thị phân bố ứng suất khi lực Fy tác động.
Hình 4.2: Thanh dầm cantilever chữ L
4.2.5 Cấu hình dài
Cho lực Fx = 2mN tác động vào thanh dầm, hình 4.7 trình bày kết quả mô phỏng ứng suất phân bố trên thanh dầm.
Ứng suất biến thiên tuyến tính theo chiều dài của thanh dầm I1, các ứng suất có giá trị biến thiên theo chiều rộng thanh do đó cấy áp điện trở theo trục dọc củaI1 là phù hợp.
Đồ thị phân bố ứng suất hình 4.8 phù hợp với kết quả lý thuyết cho ứng suất dọc trên thanh dầm trong cấu hình ngang.
Độ biến thiên điện trở trên RL1 và RL2 là R0+ ∆R và R0−∆R. Hình 4.8 trình bày đồ thị phân bố ứng suất khi lực Fy tác động.
4.3 Kết luận chương
Chương 4 đã thực hiện mô phỏng mô hình vi cảm biến lực 3 chiều áp trở và đánh giá các kết quả mô phỏng của các cấu hình so với lý thuyết. Các kết quả mô phỏng đã chứng minh được các tính toán lý thuyết là đúng đắn và phù hợp.