Bài giảng ỨNG DỤNG PHÁT XẠ NHIỆT điện tử TRONG SEM

  NG DNG PHT X NG DNG PHT X NHIT ĐIN T TRONG NHIT ĐIN T TRONG SEM SEM  Dịch tiếng anh chuyên nghành trực tuyến: http://www.mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_ nghanh.html  Học liệu mở: http://www.mientayvn.com/OCW/MIT/Vat_li.html    !"#$$% &'&&( ) *+,-&.&/&( ) 01*234 ,5678 ) 9:348;9 8<=>?99@6ABCDE@F7GE HI  /HIJKL%9MN>?9 9@6F5678 ) 9:OP99@ HQRG7STH8 ) 9:U> V8Q ) >WX8YZZ[ Z  ,5678 ) 9:OP99<\ >]H8;98<=$X^_97GE H`YABJ%HA@aNN9b &$9@HN94%@F&    J%@MN$L%9MNZI`!   J_9cE%34                 !"  ) 9d?Q ) OP9"8<=8 ) 9 e%9_F59f%7G9fA%!  #    $%    &  '" gWO%8 ) "aT86 W ) TH8 ) 9:9f_>!   h8 ) 9:  h>V8 ) 9:9cE@%TH8 )  9:7SF59<S86Hi"M<= V968jk8<=7G8Q ) 9?$l i h 8 )  9: 9<m nH A% >; $= 8d9 9$9N! R e " R 9@o KNNM9 ( )*+,-. / 07G%EaN  J<m8pTH8q9:>?9@% $r9W9NE8Ms9#%@a$E tu[ N^>vwF!             N IY I IY       , xZZ xZZ yZZ  xYZ ! " [wH YzZ I Z ` Z Z   !#$ {H YZ Z |ZZZY |ZZZY ZZYZZyZ  [wH $@ Z Y Y}Z ` Z  Z  Z    N y Y Zy  ZyZ % ~w@ | | Y Y • & [ Z  Z I Z  Z  Z  ' @ ZZ YZZ €ZZZ €ZZZ €ZZZ JEH>%@$EEb3MN9@EE@N$%9 ZF     ) 9_F59•  ) 9_F59•V 9?ao12 347•% 8<=>?9@%Fi $h>V8 ) 9: 7G(   56758 89:3   ; 9<=*..2>.0 s>9@TH8q9:7•%>?9 @%Fi$h>V7G8jF6 F59<S‚<8pp9o% TH9% ?   <@A..>.0 JTH8 ) 9:9>9o>WFƒ$%F8 O%9_F59o$?W ) 9F59<m 8<=aT86Q ) 9oTH8 ) 9:7GE 86Ha„9@AjH ) 9H…h>Q ) 9o9d9 \   _ F5 9• 9† _9 MG Hp9 %H WH 8q" V _9@hMGHp9paWd9@MMGHA‡7s9 Mq 9• HjH R p aW H% a„ 8q  V 9i%@_9jq97G8„iHp9qMGHMcA‡ <SEˆ9\Mi!  !"#$%&' Ec98pa†%9@M‰Mq8<m8%8q 9:9@E9•9@<ma<S9?ao%M†E@N9Š• 9@<m9@E9_F58<=9%8‹A‡?9% 8‹<m8pa„8q9@EpaWu€< %9_F58<=9%8‹A‡a„aT868j F6%HWH # BC-=:  5D, E.=F 1 2 0 2 1 2 e E m E E r eB     × +    ÷     = [...]... trường B trong khe từ Hình 2.5: Sự truyền qua của điê Ên tử qua thấu kính tư 2.3 HÊ Ê THỐNG THU NHÂÊN VÀ TẠO ẢNH 3 NGUYÊN TẮC HOẠT ĐÔNG CỦA Ê KÍNH HIỂN VI ĐIÊ ÊN TỬ SEM Độ phân giải của kính hiển vi SEM ĐôÊ phân giải của SEM phụ thuộc vào kích thước của chấm điêÊn tử đập vào mẫu Thông thường, kích thước chấm điêÊn tử lớn hơn kích thước nguyên tử , do đó SEM không... được ở cấp độ nguyên tử Các kính SEM hiêÊn đại có đôÊ phân giải trong khoảng 1nm-10nm Các yếu tố ảnh hưởng đến đôÊ phân giải của kính SEM: đường kính chùm điêÊn tử, thế gia tốc, dòng dò v.v giảm đường kính chùm điêÊn tử đến mẫu , dùng khẩu đôÊ Hiê n tượng quang sai (Aberration) Ê HiêÊn tượng quang sai là hiêÊn tượng sai lêÊch ảnh thu được qua dụng cụ quang học... thêm khẩu đôô Mẫu được đăÊt vào trong Tk -> giảm f-> giảm cầu sai 4 ƯU ĐIÊM CUA SEM  Kính hiển vi điêôn tử chúng ta có thể biết được cấu trúc tinh thể cũng như bề măôt của mẫu vâôt  Phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật  Hoạt động ở chân không thấp  Tốc đôô thu dữ liêôu nhanh  Đôô phân giải cao  Viêôc chuẩn bị mẫu đơn giản  Giá thành của SEM thấp hơn rất nhiều so với TEM... Sắc sai các chùm tia ở xa trục chính sẽ hội tụ kém hơn so với các chùm tia đi gần trục chính và do đó cũng tạo ra một đĩa tán rộng thay vì hội tụ tại một điểm Do sự kém đơn sắc trong bước sóng của chùm hạt mang điện Cầu sai ( Spherical aberration)  The focal length of near axis electrons is longer than that of off axis electrons  All lenses have spherical aberration .   NG DNG PHT X NG DNG PHT X NHIT ĐIN T TRONG NHIT ĐIN T TRONG SEM SEM  Dịch tiếng anh chuyên nghành trực tuyến: http://www.mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_ nghanh.html  Học. #W R  Q R ]< D / R #X D S[( HO@W=#/ R 1%;<35^_Z( `O>Y R Wa3Q R ( E∆   4…8<= 8 ) 97GE 9@EF€ XHb€ XH; $%   4. U ĐI M C A SEM Ê U  )14#3W R :.4%Z3,2b 4c,%5Y R 8d#/ R (  e/1XQf