1. Trang chủ
  2. » Luận Văn - Báo Cáo

Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí

75 18 0

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

THÔNG TIN TÀI LIỆU

Thông tin cơ bản

Tiêu đề Nghiên Cứu Sự Ảnh Hưởng Của Nhiệt Độ Đốt Nóng Bề Mặt Đến Tính Chất Cảm Biến Sóng Âm Bề Mặt Ứng Dụng Đo Khí
Tác giả Nguyễn Việt Phương
Người hướng dẫn PGS. TS. Hoàng Sĩ Hồng
Trường học Trường Đại Học Bách Khoa Hà Nội
Chuyên ngành Kỹ Thuật Điều Khiển Và Tự Động Hoá
Thể loại Luận Văn Thạc Sĩ
Năm xuất bản 2016
Thành phố Hà Nội
Định dạng
Số trang 75
Dung lượng 2,96 MB

Nội dung

Ngày đăng: 12/05/2022, 10:00

HÌNH ẢNH LIÊN QUAN

Hình 1.2. Thời gian hồi đáp và thời gian hồi phục của cảm biến hoá học SAW - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.2. Thời gian hồi đáp và thời gian hồi phục của cảm biến hoá học SAW (Trang 16)
Hình 1.3. Bề mặt cắt ngang và bề mặt cấu trúc cảm biến khí SAW [3]. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.3. Bề mặt cắt ngang và bề mặt cấu trúc cảm biến khí SAW [3] (Trang 17)
Hình 1.4. Cơ cấu SAW đơn giản với một IDT [3] - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.4. Cơ cấu SAW đơn giản với một IDT [3] (Trang 18)
Trong bảng 1.1 tổng kết một số kết quả nghiên cứu về TiO2 gần đây trên thế giới. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
rong bảng 1.1 tổng kết một số kết quả nghiên cứu về TiO2 gần đây trên thế giới. (Trang 22)
Hình 1.6. Đặc trưng độ nhạy với NO2 của vật liệu dây nano In2O3. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.6. Đặc trưng độ nhạy với NO2 của vật liệu dây nano In2O3 (Trang 23)
Hình1.7. Đặc trưng nhạy khí của dây nano SnO2 với CO [9]. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.7. Đặc trưng nhạy khí của dây nano SnO2 với CO [9] (Trang 24)
Bảng 1.2. Một số tính chất cơ bản của vật liệu ZnO - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Bảng 1.2. Một số tính chất cơ bản của vật liệu ZnO (Trang 25)
Hình 1.8. Các dạng cấu trúc của ZnO (a) rocksalt (b) zinc blend và (c) - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.8. Các dạng cấu trúc của ZnO (a) rocksalt (b) zinc blend và (c) (Trang 27)
Hình 1.9. (a) Đặc tuyến I-V của sợi ZnO nanowire dưới nồng độ O2 50 ppm. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.9. (a) Đặc tuyến I-V của sợi ZnO nanowire dưới nồng độ O2 50 ppm (Trang 31)
Bảng 1.4. Một vài vật liệu và ứng dụng của sợi nano trong kỹ thuật cảm biến - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Bảng 1.4. Một vài vật liệu và ứng dụng của sợi nano trong kỹ thuật cảm biến (Trang 32)
hình Schottky. Độ phủ bề mặt tối đa cho khí oxy được tính toán từ giới hạn Weisz là khoảng 1012 tới 1013 phân tử trên 1 cm2 - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
h ình Schottky. Độ phủ bề mặt tối đa cho khí oxy được tính toán từ giới hạn Weisz là khoảng 1012 tới 1013 phân tử trên 1 cm2 (Trang 40)
Hình 1.12. Hình mô tả sự thay đổi điện trở khi màng đặt trong môi trường khí cần - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.12. Hình mô tả sự thay đổi điện trở khi màng đặt trong môi trường khí cần (Trang 42)
Hình 1.13. Biểu diễn độ nhạy của các loại khí khác nhau ở các nhiệt độ khác - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.13. Biểu diễn độ nhạy của các loại khí khác nhau ở các nhiệt độ khác (Trang 43)
Hình 2.2. Cảm biến SAW dựa trên cơ sở vật liệu ZnO với AlN/Si sau khi được - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.2. Cảm biến SAW dựa trên cơ sở vật liệu ZnO với AlN/Si sau khi được (Trang 46)
Hình 2.3. Sơ đồ cấu tạo của lò vi nhiệt - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.3. Sơ đồ cấu tạo của lò vi nhiệt (Trang 46)
Hình 2.4. Đáp ứng thời gian của lò vi nhiệt - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.4. Đáp ứng thời gian của lò vi nhiệt (Trang 47)
Hình 2.5. Thiết kế chi tiết của lõi dẫn nhiệt - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.5. Thiết kế chi tiết của lõi dẫn nhiệt (Trang 48)
Hình 2.7. Lò vi nhiệt dùng để khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến cảm biến - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.7. Lò vi nhiệt dùng để khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến cảm biến (Trang 50)
Bảng 2.2. Thông số máy Network Analyzer Protek A333 - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Bảng 2.2. Thông số máy Network Analyzer Protek A333 (Trang 51)
Hình 2.9. Giao diện của phần mềm S21 Measurement System - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.9. Giao diện của phần mềm S21 Measurement System (Trang 53)
Hình 2.10. Lưu đồ thuật toán - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.10. Lưu đồ thuật toán (Trang 55)
Hình 2.13. Thiết lập hệ đo độ ẩm và khí Ethanol - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.13. Thiết lập hệ đo độ ẩm và khí Ethanol (Trang 59)
Hình 2.12. Sơ đồ hệ đo khảo sát sự ảnh hưởng của nhiệt độ đến tính chất cảm - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.12. Sơ đồ hệ đo khảo sát sự ảnh hưởng của nhiệt độ đến tính chất cảm (Trang 59)
Hình 3.1. Ảnh FE-SEM của AlN/Si không phủ ZnO, ZnO/AlN/Si trong đó ZnO - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 3.1. Ảnh FE-SEM của AlN/Si không phủ ZnO, ZnO/AlN/Si trong đó ZnO (Trang 61)
Hình 3.2. Độ dịch tần là sự thay đổi tần số trung tâm khi thay đổi nhiệt độ - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 3.2. Độ dịch tần là sự thay đổi tần số trung tâm khi thay đổi nhiệt độ (Trang 62)
Hình 3.3. Hệ đo đánh giá tốc độ đáp ứng và phục hổi của cảm biến SAW được - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 3.3. Hệ đo đánh giá tốc độ đáp ứng và phục hổi của cảm biến SAW được (Trang 65)
Hình 3.4. Tốc độ đáp ứng và phục hôi của cảm biến SAW đối với độ ẩm tại 25oC - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 3.4. Tốc độ đáp ứng và phục hôi của cảm biến SAW đối với độ ẩm tại 25oC (Trang 65)
Hình 3.5. Độ dịch tần là sự thay đổi tần số trung tâm khi thay đổi nhiệt độ - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 3.5. Độ dịch tần là sự thay đổi tần số trung tâm khi thay đổi nhiệt độ (Trang 67)
Hình 3.6. Tốc độ đáp ứng và phục hôi của cảm biến SAW đối với khí ehtanol - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 3.6. Tốc độ đáp ứng và phục hôi của cảm biến SAW đối với khí ehtanol (Trang 69)
Hình 3.7. Tính chất nhạy khí NH3 của cảm biến đo tại các nhiệt độ khác nhau - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 3.7. Tính chất nhạy khí NH3 của cảm biến đo tại các nhiệt độ khác nhau (Trang 70)

TÀI LIỆU CÙNG NGƯỜI DÙNG

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

w