Vật lý màng mỏng -Phún xạ magnetron RF
Vật lý màng mỏng -Phún xạ magnetron RF
... Nội III PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF TRONG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG Giới thiệu RF -Magnetron Sputter kỹ thuật tạo màng mỏng (Thin films) hiệu kỹ thuật phún xạ Từ trường tạo Magnetron định hướng dòng ... Thạc sĩ Khoa Học Tự Nhi ên, Tổng hợp màng mỏng TiO2 Bằng pp phún xạ Magnetron -mạ ion,Trường ĐH KHTN TPHCM,1999 [3] ThS Vũ Thị Hạnh Thu,các giảng Vật Lý Màng Mỏng, T...
Vật lý màng mỏng -Sự tạo mầm và đặc tính tăng trưởng của màng CrN được lắng tụ trên các đế khác nhau bằng phún xạ magnetron
... Kết thảo luận: 3.1) Sự tạo mầm đặc tính màng CrN ảnh hưởng tính chất đế: Hình cho thấy vân nhiễu xạ tia X hàm theo thời gian xử lý màng CrN lắng tụ đế dùng Màng CrN lắng tụ đế Si(1 0) có mặt phẳng ... ion) tính chất đế đến đặc tính cấu trúc (vi cấu trúc, kích thước tinh thể ,và định hướng) màng lắng tụ Quy trình thực nghiệm : Màng mỏng...
Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx
... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng...
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc
... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệ...
Vật lý màng mỏng -Phương pháp phún xạ
... giải hấp vật lý phản xạ ÷ 10 eV: làm hư hại bề mặt di chuyển bề mặt 10 ÷ 30 eV: phún xạ > 30 eV: cấy ion Các loại phương pháp phún xạ Phún xạ DC Phún xạ RF Phún xạ phản ứng Phún xạ magnetron ... điện trở thấp nên điện trường cao vùng Các loại phún xạ Phún xạ diod Phún xạ phản ứng Ion plating ion plating phản ứng Phún xạ magnetron phún...
Phương pháp phún xạ magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn
... vài phương pháp chế tạo màng mỏng - Các bước chế tạo màng mỏng phún xạ rf - Chế tạo màng mỏng TiO2 phún xạ rf Phạm vi nghiên cứu Phương pháp phún xạ magnetron rf: ưu điểm, nhược điểm phương pháp ... xạ rf phương pháp sử dụng phổ biến công nghệ chế tạo màng mỏng bán dẫn có nhiều ưu điểm Mục đích chọn đề tài - Tìm hi...
Vật lý màng mỏng
... i t ộ vậ lý thố g kêlà khả nă g, ng thư ï nghiệ chư a quan sá đ ợ t n có n c m t c 1.2.3.3 Sự chuyển pha loại – Phương trình Clausius – Clapeyron: 14 Nhận thêm nhiều sách vật lí màng mỏng nữa, ... ế p hoá họ c 32 Nhận thêm nhiều sách vật lí màng mỏng nữa, xin liên hệ: thanhlam1910_2006@yahoo.com U(r) c D 2Ed Ea c Era r Epa = Eda a Ec b Erb Hấ phụvậ lý p t Edb Hình 2.1.1 Thế tư...
Vật lý màng mỏng -Chế tạo màng từ
... CẤU TẠO MÀNG TỪ Vật liệu sắt từ: Elements: Fe, Ni, Co, and their alloys Oxides: Ferrite, Ni-Zn Ferrite some ionic crystals: CrBr3 Lớp kim loại sắt từ Lớp kim loại phi từ Lớp kim loại sắt từ Substrate ... Substrate Substrate VÁCH TỪ (Domain wall) (Chữ thập) Năng lượng từ (Magnetostatic Energy) fw: mật độ vách từ fMs: mật độ lượng từ Năng lượng từ FMs CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO...
Vật lý màng mỏng -Chế tạo màng ZnO-Ag-ZnO ở nhiệt độ phòng
... suất ohm/sq với độ truyền qua 90% bước sóng 580 nm Có thể tổng hợp điện cực có điện trở suất nhỏ nhiệt độ phòng không cần sử dụng đế nhiệt độ cao ủ nhiệt Có thể chế tạo màng loại vật liệu polymer ... LUẬN Ở độ dày mức tới hạn điện trở suất độ hấp thụ màng tăng nhanh •Do có chuyển từ dạng màng liên tục sang dạng ốc đảo tách biệt nguyên tử Ag Hình 4: Sự phụ thuộc đ...
Vật lý màng mỏng -Diễn giải màng hóa
... Boltzmann 26 CHK18 MÀNG HĨA 27 III CÁC PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH MÀNG Để phân tích màng mỏng hay hệ màng mỏng có nhiều phương pháp khác áp dụng cho mục đích khác Vật liệu màng mỏng với đặc trưng ... bán dẫn ứng dụng thiết bị cảm biến với nhiều dạng, màng mỏng dạng phổ biến màng mỏng chia thành hai nhóm màng mỏng đơn tinh thể đa tinh thể Màng mỏng đơn tinh thể khơng s...
Vật lý màng mỏng -Diễn giải màng từ
... bày v ng d ng màng m ng t HDD Ngày ñĩa c ng s d ng màng m ng t r t nhi u b ph n: màng m ng ph ñĩa t (platter), ñ u ñ c/ghi Các màng m ng t dùng ñây ch y u màng m ng t màng FePt màng CoPt v i ... c a MFM Trang 36 MÀNG T ng d ng c a màng t NG D NG C A MÀNG T Màng m ng c u trúc ña t ng ñã thu hút ñư c r t nhi u s quan tâm kh v tính ch t t ñ c ñáo ñáng mong c Hi n nay, màng t...
Vật lý màng mỏng -Đo màng điện
... rộng vùng cấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải độ linh động Nguyên tắc : Khai báo liệu: vật liệu tạo màng, thông số quang ban đầu vật liệu Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết dựa ... Ey Bz jx µ Ex Bz µ µ = = = σ Ex Bz σ q.n.µ q.n LOGO XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo điện trở vuông ρ = RW d LOGO XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo bốn mũi dò Cách đo: Công thức...
Vật lý màng mỏng -Đo màng từ
... chất từ bề mặt vật rắn dựa việc ghi nhận lực tương tác (lực từ) mũi dò từ tính với bề mặt mẫu ĐÔMEN TỪ • Khái niệm đômen từ lần đưa vào năm 190 Weiss • Đômen từ vùng chất sắt từ mà mômen từ hoàn ... từ hóa, từ trễ: đo biến đổi mômen từ theo từ trường • Phép đo mômen từ theo thay đổi nhiệt độ tác dụng từ trường ngoài: phép đo từ nhiệt Dựa vào phép đo từ nhiệt, t...
Vật lý màng mỏng -Hợp chất TiO2 và ứng dụng
... tích m ẫu khóa luận 32 1.3.1 Nguyên lý ứng dụng phổ UV-VIS 32 1.3.2 Nguyên lý ứng dụng phổ nhiễu xạ tia X (XRD) 33 1.3.3 Nguyên lý ứng dụng kính hiển vi TEM, SEM, AFM 35 1.3.3.1 ... 1.1.5 Các phương pháp tạo màng 16 1.2 Hợp chất TiO2 ứng dụng 20 1.2.1 Các tính chất lý- hóa 20 1.2.2 Tính quang xúc tác 22 1.2.3 Sơ lược vật liệu tự làm 26 ... bao gồm: Màng mỏn...