Vật lý màng mỏng -Phương pháp phún xạ

CÁC PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ Lê Trấn NGƯỜI TRÌNH BÀY: Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com [...]... target được kiểm soát như sau: < 5eV : giải hấp vật lý và phản xạ 5 ÷ 10 eV: có thể làm hư hại bề mặt và di chuyển trên bề mặt 10 ÷ 30 eV: phún xạ > 30 eV: cấy ion Các loại phương pháp phún xạ  Phún xạ DC  Phún xạ RF  Phún xạ phản ứng  Phún xạ magnetron  Phún xạ magnetron biểu diễn theo ba phương pháp và tăng cường hiệu quả Các loại phương pháp phún xạ Sử dụng hạt năng lượng cao (plasma) để di đẩy... nên điện trường cao trong vùng này Các loại phún xạ Phún xạ diod Phún xạ phản ứng Ion plating và ion plating phản ứng Phún xạ magnetron phún xạ chùm ion Nguyên tử vào trạng thái khí Ở target: Nguyên tử target bứt ra Ion target bứt ra (1 - 2 %) Điện tử bức xạ  Giúp duy trì plasma  Ion Ar+ phản xạ như nguyên tử trung hòa  Ar bò trôn trong target  Photon bức xạ     Quá trình truyền động lượng của... bò phản xạ từ nguyên tử trung hòa target, Năng lượng này thường cỡ 5-100 eV Nguyên tử target bò bứt ra với năng lượng phân bố không đồng đều Nhiều nguyên tử vuông góc với bề mặt đế Phân bố cosine Quá trình được đặc trưng bởi hiệu suất phún xạ (S) •S = số nguyên tử bứt ra khỏi target / số ion dương đập tới target S phụ thuộc: Vật liệu target Năng lượng liên kết Khối lượng nguyên tử Khí phún xạ Khối... ion rất lớn Vùng này sử dụng cho phún xạ Đặc trưng I-V được hiệu chỉnh lại  H: phóng điện hồ quang Cathode bò đốt nóng đến mức có thể phát xạ nhiệt điện tử Cấu trúc của phóng điện  Cấu hình này trình bày những vùng chính đặc trưng cho phóng điện phát sáng  Những vùng được mô tả như “phát sáng" bức xạ ánh sáng còn những vùng có tên “không gian tối" không co bức xạ ánh sáng Cấu trúc của phóng điện... tăng đối với năng lượng tới cao) Năng lượng cực đại ion truyền cho target Phún xạ dc Va chạm giữa các hạt  Phún xạ có nghóa là hạt năng lượng cao đập lên target, loại hạt này sinh ra trong quá trình phóng điện  Va chạm đàn hồi, không truyền năng lượng  Va chạm không đàn hồi  Năng lượng không đủ cao kích thích điện tử, bức xạ photon  Năng lượng đủ cao, ion hóa điện tử, tạo ra điện tử thứ cấp  Các... điện tử, các hạt mang điện được tạo ra từ sự ion hóa do bức xạ môi trường  Bức xạ môi trường xuất phát từ tia vũ trụ, vật liệu phóng xạ hay các nguồn khác Đặc trưng I-V được hiệu chỉnh lại  B – C: Thế được tăng đủ lớn, tất cả những ion và điện tử được quét đi, và dòng điện được duy trì  Dòng này phụ thuộc tuyến tính vào độ mạnh của nguồn phún xa, dòng bão hòa khi các hạt mang điện đều đạt đến các... ra khỏi bề mặt •Được thực hiện trong môi trường chân không thấp hoặc trung bình (~10-3÷ 10-2 torr) • Thuận lợi Có thể sử dụng target lớn cho sự đồng đều của màng Dể kiểm soát bề dày theo thời gian Dể lắng đọng hợp kim và hợp chất Không có bức xạ tia X . frbwrthes@gmail.com