Vật lý màng mỏng -Phương pháp phún xạ

... giải hấp vật lý phản xạ ÷ 10 eV: làm hư hại bề mặt di chuyển bề mặt 10 ÷ 30 eV: phún xạ > 30 eV: cấy ion Các loại phương pháp phún xạ  Phún xạ DC  Phún xạ RF  Phún xạ phản ứng  Phún xạ magnetron ... điện trở thấp nên điện trường cao vùng Các loại phún xạ Phún xạ diod Phún xạ phản ứng Ion plating ion plating phản ứng Phún xạ magnetron phún...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... hình thành nên màng Lắng đọng vật lý (PVD) Chuyển Pha khí Pha khí Ngưng tụ Bốc bay Pha ngưng tụ Pha ngưng tụ (lỏng rắn) (rắn) PVD  PVD types are:  Bốc bay  Nhiệt bốc bay  Bốc bay chùm điện ... Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử Tính chất bốc bay chùm điện tử Phức tạp bốc bay nhiệt đa Có thể đạt nhiệt độ 3000oC Sử dụng nồi bốc bay với đáy Cu Tốc độ lắng...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... cách sử dụng kĩ thuật 1987 – PLD thành công việc chế tạo màng mỏng siêu dẫn nhiệt độ Cuối thập niên 80 – PLD kĩ thuật tiếng việc chế tạo màng mỏng ý đến nhiều 1990’s – phát triển nhanh chóng ... trúc màng Giai đoạn có tác dụng làm bay hết dung môi lại màng, vật chất kết nối với chặc chẽ hình thành nên biên hạt làm ảnh hưởng đến vi cấu trúc màng Đối với màng nhạy khí c...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... máy quang phổ hai chùm tia Minh họa Ellipsomet Đo phân cực ellipsometry phương pháp đo quang nhạy để xác định đại lượng quang học: n, độ hấp thụ, số điện môi và độ dày màng Nguyên lý đo: ... hấp thụ Khi hạ nhiệt độ thì tính chất quang quang ban đầu chúng thiết lập lại Sự biến đổi nhiệt – quang xảy cách thuận nghịch Vật liệu nhiệt sắc: VO2 VO2/W Màng nhiệ...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... -Khó phân tích vật liệu cách điện -Mẫu phải -Bề mặt mẫu bị hỏng chùm điện tử chiếu tới -Độ nhạy vừa phải Ưu điểm: _ Độ phân giải không gian cao _ Phân tích tương đối nhanh _Có thể phân tích bề ... mẫu) Nhược điểm: - Quét ảnh diện tích hẹp (tối đa 150μ ốc độ ả ậ ỏ ề ặ ẫ ố PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH THÀNH PHẦN HÓA HỌC, CẤU TRÚC,TRẠNG THÁI LIÊN KẾT HÓA HỌC CỦA MÀNG PHỔ KẾ ĐIỆN TỬ AU...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ...  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:29

... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I .1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề ... Hình 1. 1: Sơ đồ mô tả trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2 .1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1....

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:42

... phương pháp chế tạo vật liệu PZT Vật liệu PZT chế tạo nhiều phương pháp khác bao gồm phương pháp hoá học phương pháp vật lý Phần tiếp theo, luận văn trình bày số phương pháp chế tạo vật liệu PZT ... cứu vật liệu sắt điện -áp điện cấu trúc perovskite, có PZT vật liệu tổ hợp đa pha Trong luận văn này, vật liệu tổ hợ...

Ngày tải lên: 12/08/2015, 19:54

... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu...

Ngày tải lên: 18/03/2013, 11:49

... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 10:20

... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệ...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 10:21

... [4] Chế tạo màng mỏng tungsten oxyt phương pháp phún xạ magnetron RF.Hội nghị Khoa học Trường ĐHKHTN tháng 10-2004 [5] Pin mặt trời màng mỏng (ZnO:Al)/ p-Si (111) tạo phương pháp phún xạ magnetron ... độ cao rào Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần [4] Tạo màng dẫn điện suốt ZnO: Al đế PET phương pháp phún xạ magnetron DC Báo cáo hộ...

Ngày tải lên: 10/08/2014, 04:20

Ngày tải lên: 06/10/2014, 15:26

... HV: Đinh Cơng Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHƠNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... 1.1.2 Cơ chế quang xúc tác Chất xúc tác quang chất làm tăng tốc độ phản ứng quang hố Khi chiếu ánh sáng với cường độ thích hợp chất xúc tác quang đẩy nhanh tốc độ...

Ngày tải lên: 09/10/2014, 21:19

... BÁO C Ả O TÓM TẮT Để tài; CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHẤT CỦA MÀNG m ■ MỎNG ZnO: AI VÀ MÀNG MỎNG ZnO: Mn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETON M ã số: Q T - 03 - 05 Chủ trì đề tài: ... LÊ ĐẠI THANH CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHÂT CỦA MÀNG ZnO VÀ MÀNG ZnO PHA TẠP Mn, Co BANG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETRON C h u v ẽ n n g h n h : VẬT LÝ CHẤT RẮN M ã số: 01.02.07 LUẬN...

Ngày tải lên: 19/03/2015, 09:22