Vật lý màng mỏng -Chế tạo màng ZnO-Ag-ZnO ở nhiệt độ phòng

CHẾ TẠO MÀNG ĐA LỚP ZnO/Ag/ZnO Ở NHIỆT ĐỘ PHÒNG Thực hiện: Nguyễn Văn Thọ CBHD: TS Lê Trấn Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com [...]... trúc màng đa lớp ZnO/Ag/ZnO đã được tạo ra và khảo sát tính chất điện, quang Màng đa lớp tốt nhất đạt được có điện trở suất 3 ohm/sq với độ truyền qua trên 90% ở bước sóng 580 nm Có thể tổng hợp điện cực có điện trở suất nhỏ ở nhiệt độ phòng không cần sử dụng đế ở nhiệt độ cao hoặc ủ nhiệt Có thể chế tạo màng loại này trên vật liệu polymer ... thuộc độ truyền qua của màng đa lớp ZnO/Ag/ZnO lên độ dày của lớp Ag KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Ở bề dày 6 nm của lớp Ag độ truyền qua của màng ZnO/Ag/ZnO đạt trên 90% ở bước sóng 580 nm Hình 3: Sự phụ thuộc độ truyền qua của màng đa lớp ZnO/Ag/ZnO lên độ dày của lớp Ag KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Khi đo độ truyền qua của màng đa lớp với độ dày các lớp khác nhau ở bước sóng 580 nm Ta luôn đạt được cực đại khi độ dày... thấp và độ dẫn điện tốt Lớp Ag mỏng được xem là trong suốt trong dải bước sóng nhìn thấy Hình 4: Sự phụ thuộc của độ truyền qua cực đại của màng đa lớp ở bước sóng 580 nm lên bề dày của lớp Ag đối với lớp ZnO ở: (a) 20 nm, (b) 30 nm, (c) 50 nm,(d) 100 nm KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Ở độ dày dưới mức tới hạn điện trở suất và độ hấp thụ của màng tăng nhanh •Do có sự chuyển từ dạng màng liên tục sang dạng ốc đảo... tạp vào màng ZnO, độ ghồ ghề sẽ tăng khi tăng bề dày Màng (ZnO/Ag/ZnO với độ dày lớp ZnO 20nm sẽ có độ ghồ ghề nhỏ nhất Hình 5: Sự phụ thuộc của độ truyền qua màng ZnO/Ag/ZnO lên độ dày của lớp ZnO KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN •G Laukaitis, S Lindroos, S Tamulevieius, M Leskela trong công trình [26] đã báo cáo rằng độ ghồ ghề rất gần với sự phát triển cấu trúc hình học của màng Hình 5: Sự phụ thuộc của độ •Yếu... nm điện trở suất hầu như không thay đổi Tính chất điện của màng đa lớp phụ thuộc vào tác động của lớp Ag vào lớp ZnO ở gần lớp tiếp xúc Hình 2: Sự phụ thuộc của điện trở suất của màng ZnO/Ag/ZnO vào độ dày của lớp Ag đối với ZnO có bề dày (a) 20 nm, (b) 30 nm, (c) 50nm KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Đối với phổ của màng đơn lớp ZnO xuất hiện đỉnh phổ ở gần 450 nm với độ truyền qua trên 80% Đối với màng đa lớp... sẽ ảnh hưởng tới truyền qua màng ZnO/Ag/ZnO lên độ dày của lớp ZnO phổ truyền qua và độ dẫn điện của màng KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Hình 6: Hình chụp AFM của màng ZnO/Ag/ZnO với độ dày lớp ZnO khác nhau (a) 20 nm, (b) 50 nm and (c) 100 nm KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN •Lớp Ag không cố định Có sự khếch tán lớp Ag vào lớp Ag •Làm thay đổi độ ghồ ghề của màng và như vậy cũng làm thay đổi cấu trúc hình học của màng Hình... thuộc của độ truyền qua cực đại của màng đa lớp ở bước sóng 580 nm lên bề dày của lớp Ag đối với lớp ZnO ở: (a) 20 nm, (b) 30 nm, (c) 50 nm,(d) 100 nm KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN •Phổ truyền qua của màng ZnO/Ag/ZnO có sự dịch chuyển bờ hấp thụ về phía bước sóng dài •Phổ truyền qua của màng (20nm)ZnO/Ag/ZnO(20nm) có độ truyền qua cao nhất, hơn 90% Hình 5: Sự phụ thuộc của độ truyền qua màng ZnO/Ag/ZnO lên độ dày... góp của Ag vào quá trình hình thành mạng đa tinh thể ở vùng gần lớp tiếp xúc Hình 1: Phổ nhiễu xạ tia X (XRD) của màng ZnO và ZnO/Ag/ZnO KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Điện trở suất giảm nhanh khi độ dày của lớp Ag tăng tới 6nm Điện trở suất đo được của màng đa lớp khi lớp Ag 6 nm là 3 ohm/sq Hình 2: Sự phụ thuộc của điện trở suất của màng ZnO/Ag/ZnO vào độ dày của lớp Ag đối với ZnO có bề dày (a) 20 nm, (b)... cross-sectional SEM của màng ZnO(50 nm)/Ag(6 nm)/ ZnO(50 nm) KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Hình 8: Sự phụ thuộc của điện trở suất và độ truyền qua cực đại lên độ dày của lớp Ag đối với màng ZnO(20 nm)/Ag/ZnO(20 nm) KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Hình 9: So sánh giữa những màng ZnO/Ag/ZnO có bề dày lớp Ag khác nhau và lớp ZnO có độ dày là 20, 30 và 50 nm KẾT LUẬN Nhiều cấu trúc màng đa lớp ZnO/Ag/ZnO đã được tạo ra và khảo sát... được sử lý bề mặt bằng siêu âm trong acetone, rửa trong nước tinh khiết và sau đó được sấy khô bằng dòng khí N trước khi tạo màng • Phương pháp tạo màng được chọn là Phún xạ magnetron RF và DC do nó dễ dàng diều chỉnh các thông số tạo màng Hệ phún xạ magneton THỰC NGHIỆM • Khỏang cách bia đế 53 mm áp suất buồng phún xạ 6.10-3 Torr trong khí Ar tinh khiết Tốc độ quay của đế được điều chỉnh ở 18 vòng/phút . QUAN • Màng IMI tạo ra có nhiều ưu điểm vượt trội so với màng TCO như độ dẫn điện cao, có độ truyền qua cao trong dải bước sóng nhìn thấy và bề dày nhỏ hơn so với TCO • Tuy nhiên để chế tạo màng. phí cao khi chế tạo bia ITO và màng ITO thường độc ITO Kim Loại ITO Tổng Quan • Vấn đề là phải thay thế ITO bằng một vật liệu khác có giá thành rẻ hơn và ít độc, nhưng màng tạo ra vẫn có tính. đỉnh phổ ở gần 450 nm với độ truyền qua trên 80% KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Hình 3: Sự phụ thuộc độ truyền qua của màng đa lớp ZnO/Ag/ZnO lên độ dày của lớp Ag Ở bề dày 6 nm của lớp Ag độ truyền