Vật lý màng mỏng -Đo màng điện

LOGO VẬT LÍ MÀNG MỎNG HVTH: LÊ HOÀNG NAM MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN PHƯƠNG PHÁP ĐO LOGO LOGO PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG  Phương pháp nhiễu xạ tia X  Phương pháp Stylus  Phép đo hiệu ứng Hall  Phương pháp đo điện trở suất  Phương pháp sử dụng phần mềm Scout LOGO PHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X  Mục đích : Xác định cấu trúc và kích thước hạt  Cơ sở : θθ λ cos)2( 9.0 ∆ =b Công thức Sherrer LOGO  Sơ đồ khối của máy đo Stylus : Bàn soi Bàn soi LVTD LVTD Mẫu Mẫu Điều kiện tín hiệu Điều kiện tín hiệu Bộ nhớ máy tính Bộ nhớ máy tính Chuyển đổi A/D Chuyển đổi A/D  Mục đích : Xác định độ dày của màng PHƯƠNG PHÁP STYLUS LOGO PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL  Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động  Cơ sở : Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall .( ) L D F q V B= × r r r LOGO PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL y x z q E q E B µ = y x z E E B µ ⇒ = . y Hall z x E R B j = . . 1 . . . . . x z Hall x z E B R E B q n q n µ µ µ σ σ µ ⇒ = = = = Ở trạng thái cân bằng Ta có : LOGO XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo điện trở vuông .R d ρ = W LOGO XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo bốn mũi dò . s R d ρ = Cách đo: với . . ln 2 s U R G I π = Công thức tổng quát G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vào hình dạng và kích thước của mẫu) LOGO Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nó dựa trên các thông số đã khai báo Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout  Mục đích : độ dày, chiết suất, độ rộng vùng cấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linh động.  Nguyên tắc : Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông số quang ban đầu của vật liệu Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyết trùng khớp với phổ thực nghiệm nhất. Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốt nhất. Từ đó ta xác định được các thông số của màng. . LOGO VẬT LÍ MÀNG MỎNG HVTH: LÊ HOÀNG NAM MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN PHƯƠNG PHÁP ĐO LOGO LOGO PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG  Phương pháp nhiễu xạ tia X  . µ ⇒ = = = = Ở trạng thái cân bằng Ta có : LOGO XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo điện trở vuông .R d ρ = W LOGO XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo bốn mũi dò . s R d ρ = Cách đo:. nồng độ hạt tải và độ linh động.  Nguyên tắc : Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông số quang ban đầu của vật liệu Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyết trùng