Kết luận chương 4

Một phần của tài liệu nghiên cứu chế tạo cảm biến khí co và co2 trên cơ sở vật liệu dây nano sno2 (Trang 138)

Trờn cơ sở cỏc kết quả đó đạt được, chỳng tụi xin đưa ra một số kết luận sau:

Đó nghiờn cứu chế tạo thành cụng cảm biến khớ CO trờn cơ sở dõy nano SnO2 biến tớnh Pd bằng phương phỏp khử trực tiếp, đõy là phương phỏp khỏ đơn giản và hiệu quả cao.

Kết quả nghiờn cứu hỡnh thỏi và cấu trỳc cho thấy dõy nano SnO2 biến tớnh bằng hạt nano đơn tinh thể Pd, chỳng phõn bố đều trờn bề mặt dõy và cú kớch thước cỡ từ 5-10 nm.

Cỏc kết quả nghiờn cứu tớnh chất nhạy khớ của dõy nano trước và sau biến tớnh cho thấy dõy nano biến tớnh Pd cú đặc trưng nhạy khớ CO tốt hơn nhiều và chỳng đỏp ứng khỏ tốt với 1 ppm CO.

Sự tăng cường tớnh chất nhạy khớ của dõy nano biến tớnh Pd được giải thớch dựa vào hai cơ chế “điện tử” và “húa học”. Cơ chế “điện tử” là sự hỡnh thành cỏc tiếp xỳc Schottky giữa hạt nano Pd phủ trờn dõy nano làm tăng chiều dày lớp nghốo điện tử và cơ

1.4M 1.6M 1.8M 1.2M 1.6M 2.0M 100 200 300 400 300.0k 350.0k 400.0k 200 400 600 500 250 100 50 Sensor 1 @CO (a)

@350o C @450o C @400o C C O (pp m ) R () t (s) @ 450oC @ 400oC @ 350oC 1.4M 2.1M 2.8M 600.0k 1.2M 1.8M 0 100 200 300 400 500 600 800.0k 1.2M 1.6M 100 ppm50 ppm 250 ppm 500 ppm 200 400 600 t (s) Sensor 3 @CO (c) 3M 4M 5M 2M 3M 4M 100 200 300 400 500 600 300.0k 600.0k 900.0k 200 400 600 500 250 100 50 Sensor 2 @CO (b) @350o C @450o C @400o C t (s) 0 100 200 300 400 500 1.0 1.2 1.4 1.6 1.8 2.0 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 340 360 380 400 420 440 460 (e) S ( Ra /R g ) CO2 (ppm) Sensor1 Sensor2 Sensor3 @ 400oC T (o C) Sensor1 Sensor2 Sensor3 @ 100ppm (d) 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6 @ 400o C 100 ppm S(R a /R g ) Số cảm biến (f)

123

chế “húa học” là do hoạt tớnh xỳc tỏc của Pd làm tăng số lượng ion ụxy hấp phụ bề mặt dõy.

Đó chế tạo thành cụng cảm biến khớ CO trờn cơ sở mọc trực tiếp (on-chip) dõy nano lờn điờn cực thương phẩm (điờn cực Huyndai) kết hợp biến tớnh bề mặt với Pd bằng phương phỏp khử trực tiếp. Cảm biến cú độ đỏp ứng, độ chọn lọc và đặc biệt là độ ổn định khỏ tốt.

Đó thử nghiệm hoàn thiện số lượng lớn sản phẩm cảm biến khớ CO trờn cơ sở dõy nano SnO2 biến tớnh Pd, sử dụng điện cực cảm biến loại một mặt (planar-type) chế tạo bằng cụng nghệ MEMS ở Việt Nam. Qua khảo sỏt tớnh chất nhạy khớ trờn 11 cảm biến của một lần chế tạo, cho thấy chỳng cú độ đỏp ứng khớ trung bỡnh với 100 ppm CO ở 400 oC khoảng 1,24 và độ lệch chuẩn khoảng 0,05.

124

KẾT LUẬN CHUNG VÀ KIẾN NGHỊ

Đề tài “Nghiờn cứu chế tạo cảm biến khớ CO và CO2 trờn cơ sở vật liệu dõy nano SnO2” đó được thực hiện tại Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu (ITIMS). Những kết quả nghiờn cứu của luận ỏn đó được cụng bố trờn cỏc tạp chớ quốc tế và hội thảo khoa học chuyờn ngành, đặc biệt cú 04 cụng trỡnh liờn quan trực tiếp đến nội dung nghiờn cứu của luận ỏn được cụng bố trờn cỏc tạp chớ quốc tế thuộc hệ thống SCI.

Cỏc kết quả nghiờn cứu của luận ỏn đưa ra một số kết luận như sau:

1) Đó chế tạo thành cụng cấu trỳc nano một chiều (dõy nano) của vật liệu SnO2 bằng cỏc phương phỏp bốc bay nhiệt ở nhiệt độ 700-800 oC sử dụng bột Sn và ở nhiệt độ 920- 980 oC sử dụng bột SnO. Đõy là phương phỏp đơn giản, cú độ lặp lại và độ tin cậy cao. Ngoài ra cỏc tớnh chất về vi cấu trỳc và tớnh chất nhạy khớ của chỳng cũng đó được cơ bản nghiờn cứu. Đó phỏt triển được 2 quy trỡnh cụng nghệ chế tạo cảm biến dõy nano SnO2: thứ nhất là chế tạo cảm biến dõy nano dạng tiếp xỳc dõy/dõy. Độ đỏp ứng (Rg/Ra) tối ưu với 1 ppm NO2 khoảng 22,7 ở nhiệt độ làm việc 100 oC. Thứ hai là mọc trực tiếp dõy nano trờn đế Al2O3 tạo thành màng mỏng dạng lưới. Cảm biến này cú độ đỏp ứng tối ưu với 1 ppm NO2 khoảng 184,2 ở nhiệt độ làm việc 150 oC. Đõy là cảm biến cho độ đỏp ứng khỏ cao so với cỏc kết quả nghiờn cứu cụng bố trước đõy.

2) Đó chế tạo thành cụng cảm biến khớ CO2 trờn cơ sở dõy nano SnO2 biến tớnh bằng dung dịch LaOCl. Cỏc kết quả nghiờn cứu chỉ ra rằng cảm biến dõy nano SnO2-LaOCl xử lý nhiệt ở 600 oC trong 5 giờ, nồng độ dung dịch biến tớnh là 96 mM cho độ đỏp ứng khớ cao nhất tại 400 oC. Cỏc thụng số đặc trưng của cảm biến như độ đỏp ứng, độ chọn lọc, thời gian đỏp ứng và hồi phục cũng được nghiờn cứu. Kết quả này cú thể khẳng định rằng LaOCl là vật liệu tiềm năng trong chế tạo cảm biến khớ CO2.

3) Đó chế tạo thành cụng việc biến tớnh dõy nano SnO2 với Pd bằng phương phỏp khử trực tiếp từ dung dịch PdCl2 ứng dụng làm cảm biến khớ CO. Mật độ biến tớnh Pd trờn dõy nano SnO2 cũng đó được nghiờn cứu và tối ưu cho khả năng nhạy khớ CO. Độ đỏp ứng với 1 ppm CO ở nhiệt độ làm việc 400 oC khoảng 1,16. Loại cảm biến này hoàn toàn cú khả năng ứng dụng làm cảm biến khớ CO làm việc trong giải nồng độ khớ từ 1 ppm đến 10 ppm.

4) Đó hoàn thiện quy trỡnh chế tạo cỏc cảm biến khớ CO, CO2 trờn cơ sở kết hợp cụng nghệ MEMS với vật liệu dõy nano dõy nano SnO2 biến tớnh Pd và LaOCl.

125

Tuy nhiờn, cỏc kết quả nghiờn cứu này mới chỉ là khởi đầu, cần cú những nghiờn cứu sõu sắc và hệ thống hơn nhằm định hướng ứng dụng trong thực tế cũng như tiến tới thương mại húa sản phẩm.

Hướng nghiờn cứu tiếp theo:

- Tiếp tục nghiờn cứu để tỡm ra những vật liệu phự hợp để biến tớnh bề mặt dõy nano nhằm cải thiện cỏc thụng số đặc trưng của cảm biến.

- Khảo sỏt ảnh hương của cỏc thụng số mụi trường như độ ẩm, ỏnh sỏng … để tiến tới cú thể ứng dụng trong thực tế.

- Nghiờn cứu và hoàn thiện sản phẩm cảm biến cú thể ứng dụng trong việc phỏt hiện và cảnh bỏo sự cú mặt của cỏc khớ độc trong mụi trường.

126

DANH MỤC CễNG TRèNH ĐÃ CễNG BỐ

* Cỏc cụng trỡnh cụng bố của luận ỏn:

1. Do Dang Trung, Le Duc Toan, Hoang Si Hong, Tran Dai Lam, Tran Trung, Nguyen Van Hieu (2012), Selective detection of carbon dioxide using LaOCl-functionalized SnO2

nanowires for air-quality monitoring, Talanta 88, pp. 152-159. (IF 2013: 3,51; Chương 3)

2. Do Dang Trung, Nguyen Van Toan, Pham Van Tong, Nguyen Van Duy, Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Hieu (2012), Synthesis of single-crystal SnO2 nanowires for NOx gas,

Ceramics International 38, pp. 6557-6563. (IF 2013: 2,08; Chương 2)

3. Do Dang Trung, Pham Van Tong, Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Duy, Vu Van Quang, T. D. Dao, H. V. Chung, T. Nagao, Nguyen Van Hieu (2014), Effective decoration Pd nanoparticles on the surface of SnO2 nanowires for enhancement of CO gas-sensing performance,Journal of Hazardous Materials 265, pp. 124-132. (IF 2013: 4,33; Chương 4)

4. Dang Thi Thanh Le, Nguyen Van Duy, Do Dang Trung, Ha Minh Tan, Nguyen Ngoc

Trung, Phung Thi Hong Van, Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Hieu (2013), Density- controllable growth of SnO2 nanowire junction-bridging across electrode for low temperature NO2 gas detection, Journal of Materials Science 48, pp. 7253-7259. (IF 2013:2,3; Chương 2)

5. Đỗ Đăng Trung, Phạm Văn Tũng, Nguyễn Đức Hũa, Nguyễn Văn Hiếu (2013), Nghiờn cứu biến tớnh bề mặt dõy nano SnO2 bằng hạt Pd nhằm ứng dụng cho cảm biến khớ CO, Kỷ yếu hội nghị vật lý chất rắn và khoa học vật liệu toàn quốc lần thứ 8, Thỏi Nguyờn 4- 6/11/2013.

6. Do Dang Trung, Nguyen Van Duy, Nguyen Duc Hoa and Nguyen Van Hieu (2013),

Optimized the design of interdigitated electrode and the density of on-chip growth SnO2

nanowires for high performance CO2 gas sensor, Proceedings of The 4th International Workshop on Nanotechnology Application (IWNA) 2013, November 14-16, Vung Tau, Vietnam, pp. 730-733.

* Cỏc cụng trỡnh cụng bố khỏc cú liờn quan:

7. Nguyen Van Hieu, Nguyen Duc Khoang, Do Dang Trung, Le Duc Toan, Nguyen Van

127

LaOCl-coated ZnO nanowires, Journal of Hazardous Materials 244-245, pp. 209-216. (IF 2013: 4,33)

8. Nguyen Duc Khoang, Do Dang Trung, Nguyen Van Duy, Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Hieu (2012), Design of SnO2/ZnO hierarchical nanostructures for enhanced ethanol gas-sensing performance sensors application, Sensors and Actuators B 174, pp. 594-601. (IF 2013: 3,84)

9. Nguyen Duc Khoang, Hoang Si Hong, Do Dang Trung, Nguyen Van Duy, Nguyen Duc

Hoa, Dao Duc Thinh, Nguyen Van Hieu (2013), On-chip growth of wafer-scale planar- type ZnO nanorods sensors for effective detection of CO gas, Sensors and Actuators B 181, pp. 529-536. (IF 2013: 3,84)

10. Dang Thi Thanh Le, Do Dang Trung, Nguyen Duc Chinh, Bui Thi Thanh Binh, Nguyen Van Duy, Nguyen Duc Hoa (2013), Facile synthesis of SnO2-ZnO core-shell nanowires for enhanced ethanol-sensing performance, Current Applied Physics 13, pp. 1637-1642. (IF 2013: 2,01)

11. Do Dang Trung, Nguyen Van Hieu (2011), Effect of growth conditions on ZnO nanorods morphology by hydrothermal method, Proceedings of The Sixth Vietnam-Korea International Joint Symposium, November 14-15, 2011, Hanoi, Vietnam, pp. 71-75.

128

TÀI LIỆU THAM KHẢO

[1] A. Umar and Y.B. Hahn (2010-11), Metal oxide nanostructures and their applications, Volume 3: Applications of metal oxide nanostructures, pp. 31-52, published by American Scientific Publishers, USA.

[2] A. Javey, S.W. Nam, R.S. Friedman, H. Yan, C.M. Lieber (2007), Layer-by-layer assembly of nanowires for three-dimensional, multifunctional electronics, Nano Letters 7, pp. 773-777.

[3] A. Kolmakov, M. Moskovits (2004), Chemical sensing and catalysis by one- dimensional metal-oxide nanostructures, Annual Review of Materials Research 34, pp. 151–180.

[4] A. Kolmakov, D.O. Klenov, Y. Lilach, S. Stemmer and M. Moskovits (2005),

Enhanced gas sensing by individual SnO2 nanowires and nanobelts functionalized with Pd catalyst particles, Nano Letters 5, pp. 667-673.

[5] A. Kar, M.A. Stroscio, M. Dutta, J. Kumari, M. Meyyappan (2009), Observation of ultraviolet emission and effect of surface states on the luminescence from tin oxide nanowires, Applied Physics Letters 94, pp. 101905-101907.

[6] A. Kolmakov, Y. Zhang, G. Cheng, M. Moskovits (2003), Detection of CO and O2

using tin oxide nanowire sensors, Advanced Materials 15, pp. 997-1000.

[7] A. Friedberger, P. Kreisl, E. Rose, G. Muller, G. Kuhner, J. Wollenstein, H. Bottner (2003), Micromechanical fabrication of robust low-power metal oxide gas sensors, Sensors and Actuators B 93, pp. 345-349.

[8] A. Marsal, G. Dezanneau, A. Cornet, J.R. Morante (2003), A new CO2 gas sensing materials, Sensors and Actuators B 95, pp. 266-270.

[9] A. Marsal, A. Cornet, J.R. Morante (2003), Study of the CO and humidity interference in La doped tin oxide CO2 gas sensor, Sensors and Actuators B 94, pp. 324-329. [10] A. Marsal, M.A. Centeno, J.A. Odriozola, A. Cornet, J.R. Morante (2005), DRIFTS

analysis of the CO2 detection mechanism using LaOCl sensing material, Sensors and Actuators B 108, pp. 484-489.

[11] A. Ponzoni, Elisabetta, I. Concina, M. Ferroni, M. Falasconi, E. Gobbi, V. Sberveglieri and G. Sberveglieri (2012), Nanostructured metal oxide gas sensor, a survey of application carried out at SENSOR Lab, Bresscia (Italy) in the security and food quality fields, Sensors 12, pp. 17023-17045.

129

semiconductor oxide nanowires, Nanotechnology 22, pp. 405703-405710.

[13] A.L. Daltin, A. Addad, J.P. Chopart (2013), Elaboration and high resolution TEM characterization of SnO2 nanowires, Microelectronic Engineering 108, pp. 204-208. [14] A. Tischner, T. Maier, C. Stepper, A. Kửck (2008), Ultrathin SnO2 gas sensors

fabricated by spray pyrolysis for the detection of humidity and carbon monoxide, Sensors and Actuators B, 134, pp. 796–802.

[15] A. Wolfsteller, N. Geyer, T.K.N. Duc, P.D. Kanungo, N.D. Zakharov, M. Reiche, W. Erfurth, H. Blumtritt, S. Kalem, P. Werner, U. Gosele (2010), Comparison of the top- down and bottom-up approach to fabricate nanowire-based silicon/germanium heterostructures, Thin Solid Films 518, pp. 2555-2561.

[16] A. Y. El-Etre, S. M. Reda (2010), Characterization of nanocrystalline SnO2 thin film fabricated by electrodeposition method for dye-sensitized solar cell application, Applied Surface Science 256, pp. 6601-6606.

[17] B. Cheng, C. Xie, L. Fang, Y. Xiao, S. Lei (2011), Growth and lattice dynamics of single-crystaline SnO2 nanowires prepared by annealing a gel precursor, Materials Chemistry and Physics 129, pp. 713-717.

[18] B. D. Yao, Y. F. Chan, N. Wang (2002), Formation of ZnO nanostructures by a simple way of thermal evaporation, Applied Physics Letters 81, pp. 757-759.

[19] B.G. Kim, D.G. Lim, J.H. Park, Y.J. Choi, J.G. Park (2011), In-situ bridging of SnO2

nanowires between the electrodes and their NO2 gas sensing characteristics, Applied Surface Science 257, pp. 4715-4718.

[20] B.Y. Wei, M.C. Hsu, P.G. Su, H.M. Lin, R.J. Wu, H.J. Lai (2004), A novel SnO2 gas sensor doped with carbon nanotubes operating at room temperature, Sensors and Actuators B 101, pp. 81-89.

[21] B.P. Timko, T.C. Karni, G. Yu, Q. Qing, B. Tian, C.M. Lieber (2009), Electrical recording from hearts with flexible nanowire device arrays, Nano Letters 9, pp. 914- 918.

[22] B. Wang, L.F. Zhu, Y.H. Yang, N.S. Xu, G.W. Yang (2008), Fabrication of a SnO2

nanowire gas sensor and sensor performance for hydrogen, Journal of Physical Chemistry C 112, pp. 6643-6647.

[23] C. Canevali, C.M. Mari, M. Mattoni, F. Morazzoni, R. Ruffo, R. Scotti, U. Russo, L. Nodari (2004), Mechanism of sensing NO in argon by nanocrystalline SnO2: electron paramagnetic resonance and electrical study, Sensors and Actuators B 100, pp. 228- 235.

130

[24] C.C. Runyan, C. Johnson, J. Yang, A. Waller, D. Perkis, S. Marshall (2005), Risk and protective factors for fires, burns, and carbon monoxide poisoning in U.S. households, American Journal of Preventive Medicine 28, pp. 102-108.

[25] C.G. Levins, C.E. Schafmeister (2005), The synthesis of curved and linear structures from a minimal set of monomers, The Journal of Organic Chemistry 70, pp. 9002- 9008.

[26] C. Lim, W. Wang, S. Yang, K. Lee (2011), Development of SAW-based multi-gas sensor for simultaneous detection of CO2 and NO2, Sensors and Actuators B 154, pp. 9-16.

[27] C.M. Chang, M.H. Hon and I.C. Leu (2012), Improvement in CO sensing characteristics by decorating ZnO nanorod arrays with Pd nanoparticles and the related mechanisms, Royal Society of Chemistry Advances 2, pp. 2469-2475.

[28] C.J. Arbioli (2001), Metal additive distribution in TiO2 and SnO2 semiconductors as sensor nanostructured materials, PhD Thesis, Departament d’Electronica, Universitat de Barcelona, Spain.

[29] Code of Federal Regulations; The superintendent of Documents, U.S Government Printing Office: Washington DC, USA, 1994.

[30] C. Zhu, J. Zeng, P. Lu, J. Liu, Z. Gu, Y. Zia (2013), Aqueous-phase synthesis of single-crystal Pd seeds 3 nm in diameter and their use for the growth of Pd nanocrystals with different shapes, Chemistry-A European Journal 19, pp. 5127-5133. [31] D. Gutmacher, U. Hoefer, J. Wửllenstein (2012), Gas sensor technologies for fire

detection, Sensors and Actuators B 175, pp. 40-45.

[32] D.H. Kim, J.Y. Yoon, H.C. Park, K.H. Kim (2000), CO2-sensing characteristics of SnO2 thick film by coating lanthanum oxide, Sensors and Actuators B 62, pp. 61-66. [33] D. Reefman, E. Cantatore, S. Mukherjee, E. Arts, R. Roovers, F. Widdershoven, M.

Ouwerkerk (2006), Power management options for AMI applications in AmIware Hardware Technology Drivers of Ambient Intelligence, Springer, Dordrecht, pp. 285– 313.

[34] E. Comini, G. Faglia, G. Sberveglieri, Z. Pan, Z.L. Wang (2002), Stable and highly sensitive gas sensors based on semiconducting oxide nanobelts, Applied Physics Letters 81, pp. 1869-1871.

[35] E. Comini, G. Sberveglieri, C. Baratto, G. Faglia, M. Ferroni, A. Ponzoni and A. Vomiero (2007), Synthesis and characterization of semiconducting nanowires for gas sensing, Sensors and Actuators B. 121, pp. 208–213.

131

[36] E.H.A. Diagne, M. Lumbreras (2001), Elaboration and characterization of tin oxide- lanthanum oxide mixed layers prepared by the electrostatic spray pyrolysis technique, Sensors and Actuators B 78, pp. 98-105.

[37] E.M.A. Duraia, Z.A. Mansorov, S. Tokmolden (2009), Synthesis, characterization and photoluminescence of tin oxide nanoribbons and nanowires, Physica B 404, pp. 3952-3956.

[38] E.M. El-Maghraby, A. Qurashi, T. Yamazaki (2013), Synthesis of SnO2 nanowires their structural and H2 gas sensing properties, Ceramics International 39, pp. 8475- 8480.

[39] F. Chasvez, G.F.P.Sanchez, O. Goiz, P.Z. Moran, R.P. Sierra, A.M. Acevedo, C. Felipe, M.S. Priego (2013), Sensing performance of palladium-functionalized WO3

nanowires by a drop-casting method, Applied Surface Science 275, pp. 28-35.

[40] F.H. Ramirez, A. Tarancon, O. Casals, J. Arbiol, A R. Rodriguez, J.R. Morante (2007), High response and stability in CO and humidity measures using a single SnO2

nanowires, Sensors and Actuators B 121, pp. 3-17.

[41] G.B. Barbi, J.P. Santos, P. Serrini, P.N. Gibson, M.C. Horrillo, L. Manes (1995),

Ultrafine grain-size tin-oxide films for carbon monoxide monitoring in urban environments, Sensors and Actuators B 25, pp. 559-563.

[42] G.F. Fine, L.M. Cavanagh, A. Afonja and R. Binions (2010), Metal oxide semiconductor gas sensors in environmental monitoring, Sensors 10, pp. 5469-5502. [43] G. Kiss, V.K. Josepovits, K. Kovacs, B. Ostrick, M. Fleischer, H. Meixner, F. Resti

(2003), CO sensitivity of the PtO/SnO2 and PdO/SnO2 layer structures: Kelvin probe and XPS analysis, Thin Solid Films 436, pp. 115-118.

[44] G. Satishkumar, L. Titelman, M.V. Landau (2009), Mechanism for the formation of tin oxide nanoparticles and nanowires inside the mesopores of SBA-15, Journal of Solid State Chemistry 182, pp. 2822-2828.

[45] G. Shen, P.C. Chen, K. Ryu, C. Zhou (2009), Devices and chemical sensing applications of metal oxide nanowires, Journal of Materials Chemistry19, pp. 828- 839.

[46] G. Wiegleb, J. Heitbaum (1994), Semiconductor gas sensor for detecting NO and CO traces in ambient air of road traffic, Sensors and Actuators B 17, pp. 93-99.

[47] H.B.R. Lee, S.H. Baeck, T.F. Jaramillo, and S.F. Ben (2013), Growth of Pt nanowires by atomic layer deposition on highly ordered pyrolytic graphite, Nano Letters 13, pp. 457-463.

132

[48] H.T. Giang, H.T. Duy, P.Q. Ngan, G.H. Thai, D.T.A. Thu, D.T. Thu, N.N. Toan (2011), Hydrocarbons gas sensing of nano-crystalline peroskite oxides LnFeO3 (Ln = La, Nd and Sm), Sensors and Actuators B 158, pp. 246-251.

[49] H.T. Giang, H.T. Duy, P.Q. Ngan, G.H. Thai, D.T.A. Thu, N.N. Toan (2011),

Nanosized peroskite oxide NdFeO3 as material for a carbon-monoxide catalytic gas sensor, Journal of Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechology 2, pp. 015012.

[50] http://www.air-quality.org.uk/08.php

[51] http://www.epa.gov/climatechange/ghgemissions/gases/co2.html

[52] H.M. Huang, S. Mao, H. Feick, H. Yan, Y. Yu, H. Kind, E. Weber, R. Russo, P. Yang (2001), Room-temperature ultraviolet nanowire nanolasers, Science 292, pp. 1897-1899.

Một phần của tài liệu nghiên cứu chế tạo cảm biến khí co và co2 trên cơ sở vật liệu dây nano sno2 (Trang 138)