b. Kớnh hiển vi điện tử truyền qua JEOL JEM-1010.
2.3.3. Hệ đo phổ quang phỏt quang bằng mỏy quang phổ cỏch tử đa kờnh MS 257 dựng kỹ thuật CCD
257 dựng kỹ thuật CCD
Sơ đồ khối của hệ thu phổ quang phỏt quang bằng mỏy quang phổ cỏch tử đa
kờnh MS-257 dựng kỹ thuật CCD được dẫn ra ở hỡnh 2.11.
Hệ gồm ba bộ phận chớnh: Nguồn kớch thớch, mỏy quang phổ cỏch tử đa kờnh MS-257, hệ thu và xử lý tớn hiệu.
Nguồn kớch thớch: Nguồn kớch thớch là laser He-Cd phỏt bức xạ liờn tục ở hai
bước súng 325 nm và 442 nm với cụng suất tương ứng khoảng 30 mW và 100 mW.
Mỏy quang phổ cỏch tử đa kờnh MS-257: Mỏy quang phổ này cú thể sử dụng
loại cỏch tử cú số vạch/mm theo mong muốn và đúng mở cửa sập bảo vệ detector
CCD hoàn toàn tự động. Độ phõn giải của mỏy là 0,1 nm.
Hỡnh 2.10. Sơ đồ hệ thu phổ quang phỏt quang và kớch thớch phỏt quang FL3-22.
Nhõn quang điện Mỏy tớnh Buồng chứa mẫu Phổ kế kớch thớch Đốn Xenon Nguồn nuụi Phổ kế huỳnh quang DM 302 Hệ điều khiển SAC NV1 NV2
54
Hệ thu và xử lý phổ: Hệ thu và xử lý phổ gồm detector CCD IntraSpec TM IV,
bộ khuếch đại, bộ điều khiển và mỏy tớnh dựng để hiển thị phổ dưới dạng file số liệu và file ảnh.
Hỡnh 2.11. Sơ đồ khối hệ thu phổ quang phỏt quang bằng mỏy quang phổ cỏch tử
đa kờnh MS-257 dựng kỹ thuật CCD.
Hoạt động của hệ thu phổ quang phỏt quang bằng mỏy quang phổ cỏch tử đa
kờnh MS-257 dựng kỹ thuật CCD như sau:
Bức xạ của laser He-Cd (λ = 325nm) sau khi đi qua kớnh lọc trung tớnh F được
thấu kớnh L1 (f1 = 15 cm) hội tụ vào mẫu dưới một gúc 45o so với quang trục của mỏy quang phổ MS-257. Bức xạ phỏt ra từ mẫu nhờ thấu kớnh L2 (f2 = 9,4cm) hội tụ vào khe của mỏy quang phổ (độ rộng của khe cú thể thay đổi được từ 0 đến 13 mm với độ chớnh xỏc ± 1àm). Sau khi phản xạ trờn gương phẳng G1,gươngcầu lừm G2, chựm bức
55
xạ chiếu vào cỏch tử G. Nhờ cú cỏch tử này mà chựm bức xạ được phõn tớch thành cỏc thành phần đơn sắc khỏc nhau và chiếu vào gương cầu lừm G3. Sau khi phản xạ trờn nú tớn hiệu đưa vào hệ thu và xử lý phổ gồm detector CCD IntraSpec TM IV, bộ khuếch
đại, bộ điều khiển và mỏy tớnh cho phổ ra dưới dạng file số liệu và file ảnh.