CHƯƠNG 2 : PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM
2.3. Các phương pháp khảo sát và phân tích
2.3.2. Khảo sát hình thái vật liệ u Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Phương pháp chụp ảnh hiển vi điện tử quét (SEM) được dùng để đánh giá hình thái học, kích thước hạt trên bề mặt của đối tượng nghiên cứu nhờ độ phóngđại đến hàng chục nghìn lần. Kỹ thuật hiển vi điện tử quét cho phép quan sát vàđánh giá các đặc trưng của các vật liệu vô cơ cũng như hữu cơ trong khoảng kíchthước từ nm tới µm.
Hai loại tín hiệu điện tử được quan tâm nhiều nhất để tạo ảnh SEM là cácđiện tử thứ cấp (Secondary electrons) và các điện tử tán xạ ngược (Backscatteredelectrons). Các điện tử thứ cấp là những điện tử thoát từ bề mặt mẫu có năng lượngthấp (thường < 50 eV). Hiệu suất phát xạ điện tử thứ cấp lớn vì một điện tử tớicó thể phát ra nhiều điện tử thứ cấp. Khi điện tử có năng lượng lớn tới mẫu, chúng sẽ lần lượt tương tác với các nguyên tử trong mẫu. Nếu các điện tử trongnguyên tử của mẫu nhận được năng lượng lớn hơn cơng thốt chúng sẽ phá vỡ liên kết và thốt ra ngồi. Số lượng điện tử thứ cấp phát ra từ mẫu phụ thuộc vào
nguyên tử số Z của các nguyên tố trong mẫu, năng lượng của điện tử tới, cơng thốt các điện tử trong nguyên tử và hình dạng bề mặt của mẫu.Các điện tử tán xạ ngược là những điện tử thu nhận được khi chùm điện tử đâm sâu vào mẫu trước khi quay trở lại bề mặt mẫu và tán xạ ngược [1].
Các mẫu trong luận văn này được chụp ảnh bề mặt bằng kính hiển vi điện tử quét SEM JMS 5410 của hãng Jeol (Nhật bản) tại Trung tâm Khoa học Vật liệu - Khoa Vật lý - Trường Đại học Khoa Học Tự Nhiên (Hình 2. 6).
Hình 2. 6: Kính hiển vi điện tử quét SEM JMS 5410 của hãng Jeol, Trung tâm Khoa học Vật liệu - Khoa Vật lý - Trường Đại học Khoa Học Tự Nhiên.