Nhìn chung, các GNC được chế tạo bằng phương pháp bốc bay bằng chùm điện tử hoặc bốc bay bằng nhiệt điện trở [25-27]. Thực chất đây là phương pháp tạo ra các màng mỏng kim loại trên đế. Tuy nhiên, bằng cách tạo các “đảo” trên bề mặt đế sau đó bay hơi các nguyên tử kim loại lên, khi đó sẽ tạo ra một mặt nạ “mask” lớp kim loại bao phủ quanh đảo. Quy trình chế tạo có thể mô tả tóm tắt như sau: một lớp kim loại được bốc bay lên các hạt đã được trải sẵn lên đế tạo nên một lớp phủ có bề dày có thể dễ dàng thay đổi được bằng cách điều khiển dòng của máy bốc bay. Đối với các hệ máy bốc bay hiện nay, thông thường có ít nhất 3 nồi (cruseus) chứa vật liệu, do đó nó cho phép tạo ra nhiều lớp (3 lớp chẳng hạn) kim loại phủ quanh hạt trên đế.
Hình 2.1. Hình minh họa phương pháp chế tạo các hạt nano bán nguyệt có 3 lớp kim loại phủ lên một hạt dạng cầu.
Hình 2.1 minh họa một hạt nano dạng bán nguyệt sau khi được chế tạo. Có 3 lớp kim loại phủ lên một hạt dạng cầu trên một đế phẳng. Hiện nay, để bay hơi kim loại tạo các màng mỏng lên đế có một số phương pháp chính là: Bốc bay bằng chùm điện tử và bốc bay nhiệt điện trở. Trong đề tài này, chúng tôi bốc bay kim loại bằng chùm điện tử.
Quy trình chung để tạo ra được các hạt nano bán nguyệt gồm các bước cơ bản sau:
(1) Rửa sạch đế
(2) Trải các hạt (hay các đảo) lên đế để tạo mầm (3) Bốc bay các nguyên tử kim loại lên hạt và đế (4) Tách các hạt GNC từ đế
Hình 2.2. Hình khối mô tả quy trình chế tạo các nano bán nguyệt