Đây là bước đầu tiên nhưng lại là bước rất quan trọng bởi nếu đế không sạch sẽ dẫn đến tạo nên các hạt bán nguyệt không mong muốn. Nghĩa là trên đế có các hạt bụi với bất kỳ hình thù nào cũng sẽ bị phủ bởi các lớp kim loại khi bốc bay, do đó khi quan sát dưới kính hiển vi trường tối thì đa số các đối tượng đều tán xạ và hiện ảnh. Vì vậy rất khó có thể lựa chọn được đúng hạt nano mà ta cần nghiên cứu. Chi tiết cho quy trình rửa có thể được tóm tắt như sau: đế dùng để bốc bay các kim loại là các lam kính có kích thước 2,5x7,5 cm với độ dày từ 0,13 - 0,17 mm được sản xuất từ Đức. Bề mặt của lam kính được làm sạch bằng dung dịch tẩy rửa chén, sau đó rửa lại bằng nước IQ và đặt trong máy rung siêu âm trong cồn (99,7%-100%) khoảng 5 phút. Tuy nhiên, cách này không thể tẩy sạch hoàn toàn các vết bẩn vô - hữu cơ trên bề mặt. Phương pháp thứ 2 là sử dụng dung dịch piranha, dung dịch này cho phép loại bỏ các nhiễm bẩn từ các chất hữu cơ trên bề mặt, gồm hỗn hợp của 1/3 nước oxy (H2O2) và 2/3 axit sunphuric (H2SO4). Sau đó, lam kính được rửa lại bằng nước cất. Với cách này, quá trình rửa rất độc cho người làm thí nghiệm. Chính vì vậy, tôi đã sử dụng một phương pháp đơn giản hơn ít độc mà vẫn làm sạch được được bề mặt lam kính như mong muốn. Đầu tiên, các lam kính được ngâm trong aceton trong khoảng 30 phút có rung siêu âm để loại bỏ các chất hữu cơ bám trên bề mặt. Sau đó, rửa sạch aceton bằng nước IQ và rung siêu âm trong khoảng 20 phút. Bước này được lặp lại 3 lần nhằm chắc chắn loại bỏ aceton. Và cuối cùng làm khô bề mặt bằng nitơ. Tất cả các bước đều thực hiện trong tủ hốt.
Hình 2.3 là ảnh quang học dưới kính hiển vi trường tối của lam kính trước và sau khi được làm sạch. Trên hình 2.3a, ta thấy có nhiều tán xạ của các hạt bụi dưới khi quan sát bằng kính hiển vi quang học trường tối. Tuy nhiên, sau khi được rửa sạch bằng phương pháp trên thì gần như không còn các tán xạ từ các hạt bụi ô nhiễm xuất hiện.
Hình 2.3. Ảnh quang học trường tối của lam kính trước (a) và sau khi được xử lý làm sạch bằng acetone (b)