6. Cấu trúc luận văn
2.2.7. Phƣơng pháp hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
* Nguyên tắc
Sử dụng chùm điện tử có năng lƣợng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng và sử dụng các thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn, có thể tới hàng triệu lần. Ảnh có thể tạo ra trên màn huỳnh quang, trên film quang học, hay ghi nhận bằng các máy chụp kỹ thuật số. Điện tử đƣợc phát ra từ súng phóng điện tử. Có hai cách để tạo ra chùm điện tử:
- Sử dụng nguồn phát xạ nhiệt điện tử: Điện tử đƣợc phát ra từ một catốt đƣợc đốt nóng (năng lƣợng nhiệt do đốt nóng sẽ cung cấp cho điện tử động năng để thoát ra khỏi liên kết với kim loại). Do bị đốt nóng nên súng phát xạ nhiệt
30
thƣờng có tuổi thọ không cao và độ đơn sắc của chùm điện tử thƣờng kém. Nhƣng ƣu điểm của nó là rất rẻ tiền và không đòi hỏi chân không siêu cao.
- Sử dụng phát xạ trƣờng: Điện tử phát ra từ catốt nhờ một điện thế lớn đặt vào vì thế nguồn phát điện tử có tuổi thọ rất cao, cƣờng độ chùm điện tử lớn và độ đơn sắc rất cao, nhƣng có nhƣợc điểm là rất đắt tiền và đòi hỏi môi trƣờng chân không siêu cao.
Hiển vi điện tử truyền qua cho biết đƣợc nhiều chi tiết nano của mẫu nghiên cứu nhƣ hình dạng, kích thƣớc hạt, biên giới hạt.
* Thực nghiệm
Các mẫu đƣợc phân tán trong dung môi etanol. Sau đó cho lên trên các lƣới bằng Cu. Hình ảnh TEM đƣợc ghi trên JEOL JEM – 2100F, tại Phòng vật liệu siêu cấu trúc, Khoa virut, Viện Vệ sinh dịch tễ Trung ƣơng, Hà Nội.