Phổ EDX là kỹ thuật dùng để phân tích thành phần hóa học của vật rắn. Dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật rắn, do tương tác với các bức xạ (chủ yếu là chùm tia điện tử có năng lượng cao trong các kính hiển vi điện tử). Để cho ra được phổ EDX, hệmáy phát ra chùm điện tửcó năng lượng cao tương tác với vật liệu. Khi chùm điện tửcó năng lượng lớn chiếu vào vật liệu, nó sẽ đi
26
sâu vào nguyên tử vật rắn. Nếu điện tử tới vật liệu có năng lượng lớn hơn thế kích thích EC(năng lượng liên kết nguyên tử và hạt nhân), thì điện tử lõi bị bật ra khỏi nguyên tử, đồng thời để lại lỗ trống ở vị trí này. Ngay lập tức điện tửở lớp vỏngoài có năng lượng cao hơn nhảy vào lấp đầy và giải phóng một năng lượng, xác định bằng hiệu hai mức năng lượng quỹ đạo. Năng lượng này có thể được giải phóng dưới dạng một photon X. Photon này có bước sóng xác định đặc trưng cho nguyên tố phát ra nó. Do đó năng lượng tia X cho ta biết thông tin về sự có mặt của nguyên tốphát ra tia X, còn cường độ tia X sẽ cho biết nồng độ nguyên tố. Các tia X phát ra có năng lượng đặc trưng với mỗi nguyên tố tồn tại trong vật liệu, đồng thời cho các thông tin về tỉ phần của các nguyên tố này. Tuy nhiên, điện tử lõi bật ra có thể thuộc lớp K, L, M. Do đó với mỗi nguyên tố, có thể có một hay một số các giá trịbước sóng tia X đặc trưng cho nguyên tố đó.
Vật liệu sau khi được chụp FESEM xong sẽ tiến hành phân tích phổ EDX thông qua hệ máy kính hiển vi điện tử quét phát xạ trương FESEM-JSM-7600F (Jeol, Nhật Bản), tại Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ (AIST), trường Đại học Bách khoa Hà Nội.