- Ý nghĩa thực tiễn
T W nhiệt độ thành buồng làm việc tại các vị trí (1 6)
2.6.4 Ảnh hưởng của điện áp, mật độ dòng
2.6.4.1 Điện áp
Trong quá trình thấm nitơ plasma, cần phải xác lập cân bằng nhiệt giữa nhiệt lượng cung cấp (nhiệt lượng plasma) và nhiệt lượng tản ra môi trường.
Nhiệt lượng sinh ra (calo) = điện áp xung (V) x mật độ dòng điện (A/m2) x chu kỳ làm việc x bề mặt thấm (m2
); (a)
Nhiệt lượng mất đi (calo) = hệ số lò (kW/m2) x bề mặt bức xạ (m2
) (b) Cân bằng nhiệt được thiết lập khi nhiệt lượng sinh ra bằng nhiệt lượng mất đi. Trong các đại lượng được đề cập đến ở trên, các đại lượng bề mặt thấm, bề mặt bức xạ phụ thuộc vào số lượng cũng như hình dáng, kích thước sản phẩm, chi tiết thấm (Delachaux T., 2003) [41], (Huchel U., 2003) [63], (Huchel U., 2003) [64], (Huchel U., 2005) [65], (Podgornik B., 2001) [91], (Podgornik B., 2001) [92], (Podgornik B., 2003) [92], (Pye D.,2003) [95], (Qian J., 1995) [96].
Hệ số lò là một hệ số phụ thuộc vào lò và nhiệt độ thấm. Để hiểu rõ hơn quá trình này, ta xét đến các đại lượng có ảnh hưởng đến quá trình cân bằng nhiệt.
Để tạo được plasma trong q trình thấm nitơ, cần phải có điện áp được gọi là điện áp khởi động. Điện áp này phụ thuộc vào khoảng cách giữa catot và anot, thành phần khí và áp suất. Sự phụ thuộc này được thể hiện trên hình 2.14. Với xung đánh lửa, ta có thể tạo ra plasma một cách ổn định dù dưới những điều kiện khơng thích hợp (điện áp cao, khoảng cách giữa anot và catot lớn). Sau khi tạo plasma bằng xung đánh lửa thì điện áp có thể giảm thấp đi một cách rõ rệt. Điện áp đánh lửa không ảnh hưởng tới sự cân bằng năng lượng bởi thời gian tác động là rất ngắn (Delachaux T., 2003) [41], (Huchel U., 2003) [63], (Huchel U., 2003) [64], (Huchel U., 2005) [65], (Podgornik B., 2001) [922].
lxxiv
Hình 2.14. Điện áp cần thiết để hình thành plasma
Trong đó: Uz là điện áp cần thiết để hình thành plasma (V); p - áp suất (mbar);