- Ý nghĩa thực tiễn
T W nhiệt độ thành buồng làm việc tại các vị trí (1 6)
2.6 Các thông số công nghệ ảnh hưởng đến quá trình thấm
Theo giả thuyết Koelbel, FeN hình thành bằng cách kết hợp các nguyên tử sắt phún xạ plasma do sự hoạt động của nitơ, ngưng tụ trên bề mặt cực âm. Các FeN bền với nhiệt độ từ 350 ÷ 6000C nhưng không ổn định, chúng phân tách ra để hình thành các pha ổn định hơn (Fe2-3N, Fe4N) và giải phóng nguyên tử. Một phần của nitơ này quay trở lại vào một phần plasma và phần khác khuếch tán vào trong cấu trúc tinh thể của chất nền tạo thành một vùng khuếch tán. Quá trình này về cơ bản là do gradient khuếch tán do va chạm không đàn hồi trong thời gian thổi (tạo ra gradient nồng độ nitơ, khuyết tật nhiệt độ) (Balles A. C., 2004) [125]. Koelbel cũng khẳng định rằng những đặc điểm cuối cùng của lớp nitrit có liên quan đến tỷ lệ phun bề mặt. Tuy nhiên,
lxix
tỷ lệ phụ thuộc vào các thơng số q trình phun như thành phần của hỗn hợp khí, năng lượng và nhiệt độ thấm. Thay đổi một số các biến này, có thể có được cấu trúc khác nhau của các lớp nitrit, đồng thời liên quan đến chiều dày của các pha nitrit có mặt trong lớp thấm. Tăng tốc độ phún xạ, sẽ có một số lớn các phân tích liên tục và khắc phục sự cố mạng góp phần vào sự khuếch tán của nitơ. Với điều này các nhà nghiên cứu cho rằng chiều dày của vùng khuếch tán tăng lên. Mặt khác, trong điều kiện này, lớp hợp chất có xu hướng giảm hoặc trở nên nghèo hơn để cung cấp vùng khuếch tán nitơ. Ngồi ra, q trình phun loại bỏ nitơ dễ dàng hơn so với sắt từ bề mặt mẫu (Karamis M. B., 1992) [71], (Lee I. S., 2001) [76], (Balles A. C., 2004) [125].
Theo Alver thì lớp hợp chất không thể hình thành nếu nồng độ nitơ trong hỗn hợp khí thấm giảm xuống cịn dưới 10%, lúc này lớp thấm chỉ còn là lớp khuếch tán ( Huchel U., 2003) [63], (Balles A. C., 2004) [125].