Ảnh hưởng của quá trình điều biến nguồn bơm lên hoạt động của laser bán dẫn ingaasp

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC VINH LÊ THỊ TÚ ẢNH HƢỞNG CỦA QUÁ TRÌNH ĐIỀU BIẾN NGUỒN BƠM LÊN HOẠT ĐỘNG CỦA LASER BÁN DẪN InGaAsP LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ NGHỆ AN - 2017 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC VINH LÊ THỊ TÚ ẢNH HƢỞNG CỦA QUÁ TRÌNH ĐIỀU BIẾN NGUỒN BƠM LÊN HOẠT ĐỘNG CỦA LASER BÁN DẪN InGaAsP Chuyên ngành: Quang học Mã số: 60.44.01.09 LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ Người hướng dẫn khoa học: PGS TS NGUYỄN VĂN PHÚ Nghệ An, 2017 i LỜI CẢM ƠN Để hồn thành khóa luận này, tơi biết ơn tới Ban giám hiệu, quý thầy (cô) khoa Vật lý Công nghệ, Trường Đại học Vinh tận tình giảng dạy, giúp đỡ, tạo điều kiện thuận lợi cho tơi suốt q trình thực luận văn Đặc biệt, tơi xin tỏ lịng biết ơn sâu sắc đến Thầy PGS.TS Nguyễn Văn Phú tận tình dẫn, giúp đỡ hỗ trợ nhiều suốt q trình thực luận văn Tơi xin cám ơn gia đình, tập thể lớp Quang học K23 động viên, góp ý giúp đỡ để luận văn hồn thành Trong q trình nghiên cứu trình bày, tơi nỗ lực cố gắng khơng thể tránh khỏi nhiều thiếu sót Do vậy, tơi mong nhận ý kiến đóng góp q thầy (cơ) bạn để hồn thiện kết nghiên cứu Xin chân thành cảm ơn! Tôi xin bày tỏ Tác giả Lê Thị Tú ii LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu riêng tơi Các kết nêu luận văn trung thực chưa công bố công trình khác Tác giả Lê Thị Tú iii MỤC LỤC Trang Lời cám ơn i Lời cam đoan ii Mục lục iii Danh mục bảng v Danh mục hình vẽ, đồ thị vi MỞ ĐẦU 1 Lý chọn đề tài Mục đích nghiên cứu Nhiệm vụ nghiên cứu Đối tƣợng phạm vi nghiên cứu Phƣơng pháp nghiên cứu Đóng góp đề tài Cấu trúc luận văn CHƢƠNG I LASER BÁN DẪN 1.1 Quá trình phát quang chất bán dẫn 1.1.1 Chất bán dẫn, đặc điểm, tính chất 1.1.2 Sự hấp thụ photon, phát xạ tự phát phát xạ kích thích chất bán dẫn 1.1.3 Điều kiện nghịch đảo nồng độ chất bán dẫn 10 1.1.3.1 Dịch chuyển vùng 11 1.1.3.2 Dịch chuyển vùng mức tạp chất 11 1.2 Laser bán dẫn 12 1.2.1 Cấu tạo laser bán dẫn, nguyên tắc hoạt động 12 1.2.2 Điều kiện phát 13 1.2.3 Laser bán dẫn InGaAsP 14 1.3 Các phƣơng pháp bơm laser bán dẫn 15 iv 1.3.1 Bơm quang học 15 1.3.2 Bơm dòng điện 15 1.4 Điều biến laser bán dẫn 16 1.4.1 Khái niệm mục đích điều biến 16 1.4.2 Các phƣơng pháp điều biến (biến điệu) 17 1.4.3 Một số loại phƣơng pháp biến điệu trực tiếp 17 Kết luận Chƣơng I 18 CHƢƠNG II KHẢO SÁT QUÁ TRÌNH ĐIỀU BIẾN NGUỒN BƠM LÊN HOẠT ĐỘNG CỦA LASER BÁN DẪN InGaAsP 19 2.1 Hệ phƣơng trình tốc độ 19 2.2 Ảnh hƣởng vài tham số động học lên hoạt động laser dòng điện bơm không đổi 21 2.2.1 Ảnh hƣởng cƣờng độ dòng điện 23 2.2.2 Ảnh hƣởng thể tích vùng hoạt chất 27 2.3 Ảnh hƣởng trình điều biến xung bơm lên xung phát laser bán dẫn 31 2.3.1 Dạng xung laser phát 32 2.3.2 Ảnh hƣởng biên độ xung bơm lên đặc trƣng xung laser phát 33 Kết luận chƣơng II 37 KẾT LUẬN CHUNG 38 TÀI LIỆU THAM KHẢO 39 v DANH MỤC CÁC BẢNG Trang Bảng 1.1 mô tả ứng dụng laser InGaAsP miền bƣớc sóng khác 14 Bảng 2.1 Giá trị tham số động học đƣợc lấy từ kết thực nghiệm loại laser 21 Bảng 2.2 Kết giải số ảnh hƣởng biên độ xung điện bơm lên đặc trƣng xung laser phát 34 vi DANH MỤC CÁC HÌNH ẢNH, ĐỒ THỊ Trang Hình 1.1 Phân bố vùng chất bán dẫn Hình 1.2 Mức lƣợng phân bố hạt dẫn theo mức lƣợng bán dẫn Hình 1.3 Mức lƣợng Fermi phân bố mật độ hạt tải vật liệu pha tạp a) bán dẫn loại n; b) bán dẫn loại p Hình 1.4 Cấu tạo laser bán dẫn 12 Hình 1.5 Sự khuếch tán tái tổ hợp electron lỗ trống 13 Hình 2.1: Mơ hình laser bán dẫn bơm dòng điện 19 Hình 2.2 Biến thiên mật độ hạt tải (2.2a) dao động laser (2.2b) dịng bơm khơng đổi 22 Hình 2.3 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon phát I = I0 23 Hình 2.4 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon I = 1.2I0 24 Hình 2.5 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon I = 1.8I0 25 Hình 2.6 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon I = 2,5I0 26 Hình 2.7 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon phát vùng hoạt chất tích V0 = 18,75.10-18m3 28 Hình 2.8 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon phát vùng hoạt chất tích V = 2V0 29 Hình 2.9 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon phát vùng hoạt chất tích V = 5V0 30 Hình 2.10 Mơ tả dạng xung bơm với chu kỳ T 31 vii Hình 2.11 Dạng xung phát laser trƣờng hợp có mặt xung điện bơm 33 Hình 2.12 Ảnh hƣởng thay đổi biên độ xung điện bơm lên đặc trƣng xung laser phát (2.12a) i0 = 180mA, (2.12b) i0 = 200mA, (2.12c) i0 = 220mA 35 MỞ ĐẦU Lí chọn đề tài Giữa kỷ 20, laser phát minh vĩ đại ngƣời Đặc biệt, phát triển nhanh chóng công nghệ laser kéo theo đời nhiều ngành khoa học thúc đẩy phát triển nhiều lĩnh vực khoa học ứng dụng Nhờ có laser, quang phổ laser có đƣợc thành tựu vĩ đại ngành vật lý nguyên tử, vật lý phân tử, vật lý plasma, vật lý chất rắn, phân tích hóa học ngày đóng góp vai trị quan trọng nghiên cứu mơi trƣờng, y học hay công nghệ sinh học, quân sự, … Trong loại laser, laser bán dẫn chiếm ƣu lớn nhiều ứng dụng rộng, với kích thƣớc nhỏ, ngƣỡng bơm thấp, hiệu suất cao, công suất tiêu thụ nhỏ, khả điều biến cao, hoạt động từ chế độ xung tần số thấp đến cao đến chế độ liên tục Vì vậy, việc khảo sát đặc tính laser bán dẫn cần thiết cho ngành khoa học Trong luận văn đặt vấn đề tìm hiểu: “Ảnh hưởng trình điều biến nguồn bơm lên hoạt động laser bán dẫn InGaAsP” hai trƣờng hợp với nguồn bơm không đổi với nguồn bơm xung điện phụ thuộc thời gian, nhằm góp phần làm phong phú cơng trình nghiên cứu laser ngành Vật lý Cơng nghệ Mục đích nghiên cứu Nghiên cứu ảnh hƣởng trình điều biến lên phát xạ laser bán dẫn InGaAsP trƣờng hợp sử dụng nguồn bơm điện nguồn xung điện Nghiên cứu mặt vật lý công nghệ lĩnh vực:  Chất bán dẫn laser bán dẫn InGaAsP  Hệ phƣơng trình tốc độ  Nguyên tắc cách điều biến nguồn bơm laser bán dẫn 25 phát xung ngắn hơn, cƣờng độ dao động laser số lƣợng xung dao động tăng lên Tiếp tục tăng cƣờng độ dịng bơm I = 1,8I0, q trình biến thiên mật độ Mật độ hạt tải (m-3) phần tử tải đƣợc mơ tả hình 2.5 Mật độ photon (m-3) Thời gian (ns) Thời gian (ns) Hình 2.5 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon I = 1.8I0 Từ hình 2.5 ta nhận thấy, mật độ phần tử tải tăng nhanh từ giá trị ban đầu đến 1,551.1024 cm-3 khoảng thời gian 2,36ns Hình 2.5 cịn mơ tả q trình biến thiên dao động laser với cƣờng độ dòng bơm tƣơng ứng I = 1,8I0 Kết cho ta thấy thời gian khởi phát khoảng 2,36ns, thời gian dao động đạt đỉnh xấp xỉ 2,362ns cƣờng độ dao động laser phát đạt đến 7,583.1021cm3 26 Ta tiếp tục khảo sát trình biến thiên mật độ hạt tải điện biến thiên dao động laser hoạt chất với giá trị ngƣỡng bơm cƣờng độ dòng điện bơm nhận giá trị I = 2,5I0 Từ hình 2.6 ta nhận thấy, mật độ phần tử tải tăng nhanh đạt giá trị 1,497.1024cm-3 khoảng thời gian 1,531ns Hình 2.6 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon I = 2,5I0 Sự bơm cao nhiều lần ngƣỡng mặt bổ sung phần tử tải, mặt kích thích trình tái hợp để xạ laser, thời gian phát xạ diễn sớm dài hơn, kết mô cho ta thấy thời gian dao động đạt cực đại xấp xỉ 1,531ns cƣờng độ xung laser phát đạt đến 1,486.1022cm3 Từ kết nhận thấy biến thiên mật độ phần tử tải laser nhƣ biến thiên dao động laser hoạt chất phụ thuộc nhiều vào cƣờng độ dòng bơm Khi cƣờng độ dịng bơm ngang ngƣỡng mật độ phần tử tải tăng, nhƣng tốc độ tăng chậm tích lũy cịn thấp chƣa 27 đủ để phát laser Khi cƣờng độ dòng bơm tăng lên cao, tốc độ tăng độ tích lũy lớn, mật độ phần tử tải tăng nhanh khoảng thời gian ngắn trình tái hợp diễn kèm theo phát xạ laser Đồng thời cƣờng độ dòng bơm tăng lên cao, thời gian khởi phát ngắn lại cƣờng độ phát dao động laser tăng lên 2.2.2 Ảnh hưởng thể tích vùng hoạt chất Vùng hoạt chất nơi tập trung phần tử tải xảy trình tái hợp để có xạ laser Do đó, việc khảo sát thay đổi thể tích vùng hoạt chất đánh giá đƣợc khả tích lũy mật độ số hạt thay đổi đặc trƣng dao động laser phát thể tích vùng hoạt chất Trong mục chọn giá trị lần lƣợt thể tích vùng hoạt chất ban đầu V0 = 3,75.10-14m3, V = 2V0 V = 5V0 để khảo sát Giá trị tham số động học khác đƣợc giữ ngun Hình vẽ 2.7 mơ tả trình biến thiên mật độ hạt tải xuất dao động laser hoạt chất ứng với trƣờng hợp thể tích vùng hoạt chất V0 = 18,75.10-18m3 Mật độ hạt tải (m-3) 28 Mật độ photon (m-3) Thời gian (ns) Thời gian (ns) Hình 2.7 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon phát vùng hoạt chất tích V0 = 18,75.10-18m3 Từ hình vẽ cho thấy trƣớc thời điểm 3,1ns nghịch đảo độ tích lũy đƣợc thiết lập hoạt chất với tốc độ tăng hạt tải tƣơng đối nhanh Tại thời điểm 2,042ns nghịch đảo độ tích lũy đạt đến cực đại, tác dụng dòng bơm làm chúng tái hợp phát dao động laser Mật độ photton phát cực đại dao động có giá trị 9,435.1021 hạt/ cm3 Từ hình vẽ nhận thấy trình phát dao động laser xảy khoảng 7ns Hình vẽ 2.8 biểu diễn biến thiên mật độ hạt tải mật độ photon phát trƣờng hợp thể tích vùng hoạt chất có giá trị V = 2V0 Mật độ hạt tải (m-3) 29 Mật độ photon (m-3) Thời gian (ns) Thời gian (ns) Hình 2.8 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon phát vùng hoạt chất tích V = 2V0 Qua hình vẽ 2.8 ta thấy thể tích vùng hoạt chất tăng lên có giá trị V = 2V0 khoảng thời gian 3,126ns đầu tốc độ tăng hạt tải hoạt chất tƣơng đối nhanh nhƣ trƣờng hợp đầu, sau khoảng thời gian tốc độ tăng hạt tải đạt giá trị 1,506.1024cm-3 Ngoài cho ta thấy thời gian để dao động đạt giá trị cực đại 2,038ns với cƣờng độ phát đạt 9,574.1021 cm-3 Mật độ hạt tải (m-3) 30 Mật độ photon (m-3) Thời gian (ns) Thời gian (ns) Hình 2.9 Biến thiên mật độ hạt tải biến thiên mật độ photon phát vùng hoạt chất tích V = 5V0 Hình vẽ 2.9 biểu diễn biến thiên mật độ hạt tải mật độ photon phát trƣờng hợp thể tích vùng hoạt chất có giá trị V = 5V0 Từ hình vẽ 2.9 ta thấy thể tích vùng hoạt chất có giá trị V = 5V0 khoảng thời gian 2,1ns sau bơm mật độ hạt tải hoạt chất tăng nhanh, đạt giá trị 1,498.1024cm-3 Ngồi cịn cho ta thấy đƣợc thời gian để dao động đạt giá trị cực đại 2,04ns với mật độ photon phát đạt 9,653.1021 cm-3 Qua kết ta nhận thấy thể tích vùng hoạt chất ảnh hƣởng khơng đáng kể đến trình phát xung laser mật độ hạt tải hoạt chất tăng song tăng khơng đáng kể thể tích vùng hoạt chất tăng lên Đồng thời ta thấy thời gian khởi phát nhƣ thời gian để dao động đạt đỉnh không chênh lệch nhiều với giá trị cƣờng độ phát tƣơng đối ổn định đạt ngƣỡng 9,653.1021cm-3 31 2.3 Ảnh hƣởng trình điều biến xung bơm lên xung phát laser bán dẫn Trong mục khảo sát trình phát dao động laser laser bán dẫn, dòng bơm laser I dịng chiều, có cƣờng độ không đổi theo thời gian Đáp ứng thời gian trƣờng hợp phụ thuộc vào tham số động học laser nhƣ điều kiện ban đầu Trong laser bán dẫn, việc sử dụng nguồn bơm dịng khơng đổi, ngƣời ta cịn thực việc bơm kết hợp dịng khơng đổi xung điện [5], hay dịng điện hình sin [6], [7] Trong mục nghiên cứu hoạt động không dừng laser đƣợc bơm thêm xung điện thay đổi đƣợc biên độ, chu kỳ xung Giả sử xung điện có cƣờng độ i thay đổi theo thời gian dạng [5]: ( { ) ( ) i0(mA) biên độ xung điện bơm, T (giây) chu kỳ xung điện bơm 𝑖 𝑖 𝑡 O 𝑇 𝑇 𝑇 𝑇 𝑇 𝑇 𝑇 𝑇 Hình 2.10 Mơ tả dạng xung bơm với chu kỳ T Nhƣ thay đổi thơng số xung điện nhƣ thay đổi biên độ i0, chu kỳ T xung điện bơm để thay đổi việc tác động lên phần tử laser, nghĩa làm thay đổi đặc trƣng xung laser phát 32 2.3.1 Dạng xung laser phát Đáp ứng thời gian hoạt động laser bán dẫn đƣợc mô cách giải số hệ phƣơng trình tốc độ (2.1), (2.2), ngơn ngữ lập trình MATLAB Giá trị hệ số có mặt hệ phƣơng trình đƣợc lấy theo bảng Xung bơm có biên độ i0 = 180mA chu kỳ T = 0,625ns Với tham số trung tâm chọn đáp ứng thời gian laser trƣờng hợp xung phát đƣợc biểu diễn nhƣ hình 2.11 Chúng ta phân tích đồ thị đáp ứng thời gian xung laser phát với đại lƣợng đặc trƣng xung thời gian đáp ứng (thời gian trễ) t (ns), công suất phát P (mW), độ rộng xung  (ns) thành hai giai đoạn Giai đoạn thứ giai đoạn đáp ứng t = 0,2548ns đƣợc định nghĩa thời gian từ lúc mô (thời điểm cung cấp cho linh kiện xung điện) tới có xung quang phát Trong giai đoạn điều kiện phát biên độ chƣa đƣợc thoả mãn, laser có xạ tự phát yếu Dƣới tác dụng bơm, hiệu mật độ tích luỹ phần tử tải hoạt chất tăng nhanh đến giá trị bão hoà nhờ trình phun thêm hạt tải Mơi trƣờng hoạt chất có khả khuếch đại nhƣng chƣa phát triển thành xạ laser hao phí tổng cộng laser lớn Giai đoạn thứ hai mật độ lƣợng xạ kết hợp tăng đến giá trị lớn hao phí hấp thụ hệ, giai đoạn phát xung laser bắt đầu Độ cao cực đại xung ứng với công suất 350mW Độ rộng thời gian xung vị trí có cƣờng độ nửa cƣờng độ xung cực đại ns 33 400 350 250 (mW) suất Côngpower(mW) Numerical output 300  200 150 100 t 50 -50 0.2 0.4 0.6 0.8 1.2 1.4 1.6 1.8 Time(ns) Thời gian phát (ns) Hình 2.11 Dạng xung phát laser trường hợp có mặt xung điện bơm i0 = 180mA 2.3.2 Ảnh hưởng biên độ xung bơm lên đặc trưng xung laser phát Khảo sát hoạt động phát xung laser xung điện bơm có chu kỳ T = 0,625ns giá trị khác biên độ i0 Kết giải số đƣợc trình bày hình 2.12 tƣơng ứng với ba giá trị biên độ i0 = 180mA, i0 = 200mA, i0 = 220mA, tính tốn với nhiều giá trị khác i0 đƣợc cho bảng số liệu 2.2 Quan sát phát xung laser đặc trƣng xung laser phát nhƣ thời gian khởi phát, công suất phát hay độ rộng xung thời gian Bảng 2.2 Kết giải số ảnh hƣởng biên độ xung điện bơm lên đặc trƣng xung laser phát i0(mA) t (ns) P (mW)  (ns) 140 0,3250 289,1 0,096 34 160 0,2789 317,6 0,088 180 0,2548 350 0,083 200 0,2531 378,5 0,076 220 0,2169 400 0,076 240 0,2000 427,2 0,075 400 350 suất (mW) Công power(mW) output Numerical 300 250 200 150 100 50 -50 (2.12a) 0.2 0.4 0.6 0.8 1.2 1.4 Time(ns) Thời gian phát (ns) 1.6 1.8 35 400 350 power(mW) Numerical suất (mW) Côngoutput 300 250 200 150 100 50 -50 0.2 0.4 0.6 0.8 (2.12b) 1.2 Time(ns) 1.4 1.2 Time(ns) 1.4 1.6 1.8 1.6 1.8 Thời gian phát (ns) 450 400 Công suất (mW) Numerical output power(mW) 350 300 250 200 150 100 50 -50 (2.12c) 0.2 0.4 0.6 0.8 Thời gian phát (ns) Hình 2.12 Ảnh hưởng thay đổi biên độ xung điện bơm lên đặc trưng xung laser phát (2.12a) i0 = 180mA, (2.12b) i0 = 200mA, (2.12c) i0 = 220mA Kết giải số hệ phƣơng trình động học nhƣ trình bày hình vẽ 2.12 bảng số liệu 2.2 cho thấy xung laser khoảng giá trị 36 biên độ xung bơm định, ngƣỡng bơm có giá trị 140mA ngƣỡng bơm cực đại có giá trị 240mA Khi biên độ xung điện bơm cao, công suất phát lớn, tất nhiên tăng tuyến tính đạt đƣợc với giá trị định biên độ xung bơm i0 Dƣới tác dụng xung bơm, hiệu mật độ tích luỹ phần tử tải từ trạng thái bão hoà đƣợc tăng lên, số xạ cảm ứng đơn vị thời gian tăng lên so với trƣớc Điều dẫn đến kết mật độ xạ cảm ứng ngăn laser cƣờng độ photon xạ tăng dần lên Bên cạnh nhận thấy đáp ứng thời gian (t) giảm xuống, đồng thời độ rộng xung thời gian () xung laser phát giảm xuống cƣờng độ xung điện bơm tăng 37 Kết luận chƣơng II Dƣới tác dụng hàm xung điện bơm phụ thuộc thời gian, trình phát không dừng laser xẩy với đặc trƣng xung phát phụ thuộc vào thông số biên độ xung điện bơm Khi tăng biên độ xung bơm, đặc trƣng xung laser phát nhƣ thời gian khởi phát t ngắn lại, công suất xung laser phát tăng lên, đồng thời độ rộng xung thời gian giảm xuống Tuy nhiên tăng biên độ xung điện bơm lên giá trị lớn (trên 240mA) xung phát khơng cịn trạng thái ổn định 38 KẾT LUẬN CHUNG Trong luận văn khảo sát ảnh hƣởng việc điều biến nguồn bơm lên hoạt động laser bán dẫn sử dụng hoạt chất InGaAsP Các nội dung luận văn đƣợc tóm tắt nhƣ sau: Đã trình bày cách tổng quan khái niệm, đặc điểm tính chất chất bán dẫn, loại chất bán dẫn laser bán dẫn, laser bán dẫn với hoạt chất InGaAsP Đã dẫn hệ phƣơng trình tốc độ mơ tả hoạt động laser bán dẫn với hoạt chất InGaAsP, nguồn bơm điện Trên sở số liệu thực nghiệm laser bán dẫn sử dụng hoạt chất InGaAsP khảo sát hoạt động laser hai trƣờng hợp: a) Với nguồn bơm khơng đổi: Chúng tơi khảo sát vai trị cƣờng độ dịng điện bơm thể tích vùng hoạt chất lên trình phát xạ laser bán dẫn InGaAsP/InP Các kết khảo sát cho thấy cƣờng độ dịng điện bơm có ảnh hƣởng đến biến thiên mật độ phần tử tải hoạt chất dao động laser phát với đặc trƣng nhƣ thời gian khởi phát, cƣờng độ xung vai trị thể tích hoạt chất khơng đáng kể b) Với nguồn bơm xung điện phụ thuộc thời gian: Chúng nhận đƣợc xung laser khoảng giá trị biên độ xung bơm định, ngƣỡng bơm có giá trị 140mA ngƣỡng bơm cực đại có giá trị 240mA Kết khảo sát phát xung khoảng bơm dòng điện, cho thấy đặc trƣng xung laser phát nhƣ thời gian khởi phát, công suất phát hay độ rộng xung thời gian phụ thuộc vào biên độ xung điện bơm 39 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] Đào Khắc An (2002), Vật liệu linh kiện quang tử ứng dụng thông tin quang, NXB ĐHQG Hà Nội [2] Đinh Văn Hồng, Trịnh Đình Chiến (2005), Vật lý laser ứng dụng, NXB ĐHQG Hà Nội [3] Trần Đức Hân, Nguyễn Minh Hiển (2008), Cơ sở kỹ thuật laser, NXB Giáo dục [4] P K Gupta, R Khare (2015), Laser Physics and Technology, Springer [5] Agrawal G P., Dutta N K (1994), Semiconductor lasers, Second Edition, New York [6] Kawaguchi H and Hidayat I S (1985), Analysis of all-optical clock extraction using self-pulsating laser diodes, Electron Lett, Vol 131, pp 890900 [7] Ohstu M (1996), Frequency Control of Semiconductor Lasers, Wiley, NewYork 1996 [8] Semiconductor Laser—Large Signal Modulation, ... I Laser bán dẫn Chƣơng II Khảo sát trình điều biến nguồn bơm lên hoạt động laser bán dẫn InGaAsP Phần III KẾT LUẬN CHƢƠNG LASER BÁN DẪN 1.1 Quá trình phát quang chất bán dẫn 1.1.1 Chất bán dẫn, ... nguồn bơm lên trình phát xung laser bán dẫn InGaAsP 19 CHƢƠNG KHẢO SÁT QUÁ TRÌNH ĐIỀU BIẾN NGUỒN BƠM LÊN HOẠT ĐỘNG CỦA LASER BÁN DẪN InGaAsP Trong chƣơng chúng tơi trình bày việc dẫn hệ phƣơng trình. .. tính chất chất bán dẫn, loại chất bán dẫn laser bán dẫn, laser bán dẫn với hoạt chất InGaAsP Đã dẫn hệ phƣơng trình tốc độ mơ tả hoạt động laser bán dẫn với hoạt chất InGaAsP, nguồn bơm điện Trên