Mục đích của Luận văn là nghiên cứu chế tạo cấu trúc silic xốp bằng phương pháp ăn mòn điện hóa trên đế silic với vùng bước sóng hoạt động trong vùng khả kiến từ 380÷760nm. Cấu trúc này có độ phản xạ cao và kích thước lỗ xốp đồng đều. Xây dựng hệ đo cảm biến kết hợp đo bằng phương pháp đo lỏng (liquid drop). Mời các bạn cùng tham khảo!