TẠ P CHÍ KHOA HỌC - 3-1987 ẢNH HƯỞNG CỦA THÀNH PHẰN VẬT LIỆU BẼN TỈNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG InSh CHẼ TẠO BẰNG PHươNG PHÁP Bốc BAY Nồ Phạm Vàn N h o ỉ đ ầ n : í n S b h ợ p cbẫl đ ợ c coi èn h ì n h ngh iồn c ứ u c h ế tạo m a n g m ỏ n g b ẳ n g cá c p h n g p h p v ậ t lý Nguyên n b n ỏr chỗ h ợ p chắt bị phAĩi huy Cỏ p s u i t cá c h ợ p p h ầ n khác n h a u n h i ề u [1, 2] Do v ậ j c h ế t o m n g mỏng, s ự t h a y đôi t h n h p h ẫ n x a y r a ỏr hai k h â u bay ngưntf kết B ỉ k':\ u: p h ụ c th ay dổi t h n h p h ả n n y n h ằ m th u đ i rợ c g InSb h ợ p t h c inột loại biện p h p cò n g u g h ệ đặ c b iệ t đă đ ợ c n g h i ê n u »ir (lụng Thí dụ : hav h i I ir hai n g u n In Sb riẻDg r ẽ [3| p h n g p b p b a n h i ệ t độ f 4], p h n g p h p i)6 j h ay -lẰíod [5] T h ô n g d ự n g h a n tr o n g vièc c h ế tậO m ỏng h ợ p c h ấ t A ni Bv n ói c h u n g , m n g m ỏ n g l n S b nói riê ng p h n g p h p bốc bay n ố [6 —9] T u y lỉ hiốn pi ỉ i rưnự p h ả p n y c h ỉ k h ắ c p h ụ c đ ợ c s ự t h a y đ ò i t h n h p h ằ n cr gi a i đ o n hay hưi n h t h ủ p h p bốc b a y t ứ c t h i (bốc b a y nò — flash) Vật l i ệ u ỏr d n g bột c h ứ k h ỏ n g k h ắ c phục đ ự c s ự t h a y đòi t h n h p h ầ n n g n g ket Sb lái bíu bay khỏi r m n g i m cho m n g có t h n h pb àn lệch khỏi giá trị h ợ p t h ứ c , nh.ìt tang nhiệt độ Bgưng kếl (V>ng ( ri nh n y t ri nh b y n h ỉ í n g kết q u ả b c đ â u t r o n g v i ệ c ti m k i ế m g i ả i p h p Ii'iam ’ h ắ c p h ụ c n h irợ c đ i c m cỏ tỉnh n g u y ê n tắ c c ủ a p h t m n g p h p h ổ c ỉ)av n h thỏng thường II P h n g p h p t h ự c n g h i ệ m : Hiện t ợ n g tái brtc h a y Sh x ây liên tục tro n g s u ố t q u t r i n h hình t h n h m n g m o n g IiìSb Sự m ất m t SI) liệu cớ thè bù lạ ỉ h ằ n g cách tạo n ên t r n g (hái đ Ihửn SI) tro*ìg p h a h i ? Đè t r ả lời c â u hỏi n y c h ú n g lòi làm n h s a u : l o mẫu Vật lii/u b a n đ ầ u hột đa (inh thề h ợ p c h ấ t InSb h ợ p thức Quá trình t r n v ề n vật l i ệu o n ồi b ố c ba}' r ợc ỉ h ự c hi ện ỉ h c o c h ế dộ g i n đ o n h ệ I h ố n g đ i ệ n t c o klifinij c h ế t ự ( l ộ n g đ i ề u k h i è n C h ế đ ộ n g n g ke ỉ rợc k i ' m tra t r ự c t i ếp h ằ n g máy đo đ ộ d y c ộ n g b n g t h c h anil K H Í ' — vời tư kỶ kén h I YI> V , n too n g u g ket cốc m n g m ỏ n g g i ổ n g n h a u đ t r e ghi la (V hình (1) Cá ĩ ỉiatìg m ỏ n g ci s ợ c n ^ n g kết Irên đ ế m i c a c ù n g mọ t n h i ộ t - đ ộ ;ỉõO°CNiiiụt độ n ) n ằ m tr o n g v ù n g nhiệt độ đổ tói u [0 , ], 1.1 Ị ìộ d t h a Sl> t r o n g í h n h p h i n Vột liệu b n n đỉui điiợc xác địn h ' c h iíu dày ( iọooA' ) hrn ('.'ẠÌ 1irrrng K : Msh + £ n S *> (Tát Iìguyên tứ) đuợc tí 11 lì th eo g r a m TÌU‘0 đặ c d i ề m p ỉu r n g p h p ])6c b a y lift, Ihài l i p h n pha -bơi đ ậ p v o TT T7 N J2 539 (1965) A K S h a m a r a p J a y a i m a K o d l j F h y s Slat Sol (a) 79 p 18:5(1983) X Hurve[licii I) II S o l i d ' F i l m s 27, 129 (1975) 1' I ív I' Htihnc a n d J.B M ullin Solid Stal Klee Pertianioi) P r e s s V5 211 - 247,(1962) H ■ ' II I I.E E (Ị)!IMoB, f O H PopỐyHOB, H H Ko.3hipb MHKpoa.ieKTpOHitKa.cTp i uKO; i a» M / l!» í B u c i u a a 11 ! E G r e e n e a n d C.K W u v i k e r s h a m J A p p l P h y s V 17 8, p 3630 (1976) n I)e Maria G, D r o w a r t J I n g h r a m M G J C h e m , P h y a 31, p 1076 (1959) 11 XaHCMai! ĨIonepxHOCTHhie cBOftcTBa AHMiiMoHUAa H i u n n Iipii TepMHn ' V í ° ũ ° ' J P a0° TKC‘ B KlUir ■