Phân tích nguyên tố dựa vào phổ tán xạ ngược Rơdơpho(RBS) trên máy gia tốc tandem pelletron 5SHD 2 đại học khoa học khoa học tự nhiên

ểm thực nghiệm giá trị lý thuyết tăng LVTS VLNT 2013 0.9 0.8 0.7 0.6 Nồng độ 0.5 0.4 0.3 0.2 O Si Cu C 0.1 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 Độ sâu phân bố (1015 nguyên tử/cm2) Hình 3.9 Phân bố nồng độ nguyên tố theo độ sâu mẫu số 3.3 Kết luận Bản luận văn đề cập tới kỹ thuật phân tích nguyên tố theo phương pháp RBS Về mặt lý thuyết tìm hiểu sở vật lý phương pháp RBS sử dụng để phân tích nguyên tố nặng, phân bố nguyên tố nặng lớp bề mặt lớp sâu bên Tìm hiểu phần mềm SIMNRA sử dụng để áp dụng phân tích 03 mẫu RBS LVTS VLNT 2013 Kết thực nghiệm phương pháp RBS phân tích có hiệu hàm lượng nguyên tố nặng bề mặt phân bổ sâu lớp vật chất khác TÀI LIỆU THAM KHẢO Nguyễn Văn Đỗ (2004), Các phương pháp phân tích hạt nhân, Nhà xuất Đại học Quốc Gia Hà Nội PGS.TS Bùi Văn Loát – Tập giảng “Các phương pháp phân tích hạt nhân” M.S Kim et al.(1996), “Determination of the optimum experimental condition for enhanced depth resolution in RBS using He ion” Nucl Instrum Methods B W.K Chu, J.W Mayer, M.A Nicolet (1978), “Backscatering Spectrometry”, Academic Press, New York M Mayer-“Rutherford Backscattering Spectrometry”: Max-Planck-Institut fur Plasmaphysik, EURATOM Association, Garching, Germany LVTS VLNT 2013 PHỤ LỤC MỞ ĐẦU Chương I PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH NGUYÊN TỐ DỰA TRÊN TÁN XẠ NGƯỢC RUTHERFOR 12 1.1 Hiệu ứng tán xạ ngược Rutherford .12 1.1.1.Bố trí thí nghiệm 12 1.1.2 Phân bố góc tán xạ 13 1.1.3 Mẫu nguyên tử Rutherford 15 1.1.4 Tham số tán xạ ngược 15 1.2 Những ứng dụng hiệu ứng tán xạ ngược 17 1.2.1 Nhận diện nguyên tố bia - Hệ số động học tán xạ ngược 17 1.2.2 Phân tích định lượng - Tiết diện tán xạ vi phân 21 1.2.3 Phân tích bề dày mẫu - Độ hao phí lượng 22 Chương II THIẾT BỊ VÀ PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM 27 2.1 Máy gia tốc 5SDH-2 Pelletron 27 2.1.1 Nguồn ion 28 2.1.2 Buồng gia tốc 29 2.1.3 Hệ chân không 31 2.1.4 Các phận hội tụ, điều chỉnh chùm tia 31 2.1.5 Kênh phân tích 32 2.1.6 Hệ detector 33 2.1.7.Phần mềm điều khiển máy gia tốc AccelNET 34 2.1.8 Phần mềm cho MCA (MAESTRO) 34 2.1.9 Phần mềm thu thập liệu định tính RC43 34 2.2 Phần mềm phân tích SIMNRA .35 2.2.1 Giới thiệu chung 35 2.2.2 Sử dụng SIMNRA 35 LVTS VLNT 2013 2.3 Thực nghiệm chiếu mẫu ghi nhận phổ RBS 37 2.3.1 Vận hành nguồn RF 37 2.3.2.Vận hành buồng gia tốc 39 2.3.3 Vận hành buồng phân tích RC43 41 2.3.4 Quá trình thay mẫu 43 2.3.5 Quá trình chiếu mẫu thu thập liệu 44 Chương 3: KẾT QUẢ THỰC NGHIỆM 46 3.1 Xây dựng đường chuẩn lượng 46 3.2 Phân tích hàm lượng nguyên tố theo phương pháp RBS 50 3.2.1 Kết phân tích mẫu chuẩn 50 3.2.2 Kết phân tích mẫu số 54 3.2.3 Kết phân tích mẫu số 56 3.3 Kết luận 60 TÀI LIỆU THAM KHẢO 61 ... PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM 27 2. 1 Máy gia tốc 5SDH -2 Pelletron 27 2. 1.1 Nguồn ion 28 2. 1 .2 Buồng gia tốc 29 2. 1.3 Hệ chân không 31 2. 1.4 Các phận hội tụ,... 1 .2. 1 Nhận diện nguyên tố bia - Hệ số động học tán xạ ngược 17 1 .2. 2 Phân tích định lượng - Tiết diện tán xạ vi phân 21 1 .2. 3 Phân tích bề dày mẫu - Độ hao phí lượng 22 Chương II THIẾT BỊ... Germany LVTS VLNT 20 13 PHỤ LỤC MỞ ĐẦU Chương I PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH NGUYÊN TỐ DỰA TRÊN TÁN XẠ NGƯỢC RUTHERFOR 12 1.1 Hiệu ứng tán xạ ngược Rutherford . 12 1.1.1.Bố trí