Nghiên cứu tính chất quang điện của màng TiN

TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN KHOA VẬT LÝ BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG MÔN : CÁC PP THỰC NGHIỆM CHUYÊN NGÀNH NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG TiN GVHD : TS Lê Trấn HVTH : Phạm Văn Thịnh NỘI DUNG I GIỚI THIỆU MÀNG TiN II CÁC PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT CỦA MÀNG III ỨNG DỤNG TỪ MỘT SỐ TÍNH CHẤT CỦA MÀNG TiN Màng phản xạ hệ màng đa lớp Màng TiN dụng cụ cắt gọt Địa bạn tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com I GIỚI THIỆU MÀNG TiN Một số tính chất màng TiN : • • • • Màng TiN vật liệu có màu kim lọai vàng, độ cứng cao (21 - 24 GPa) Chịu nhiệt cao (nhiệt nóng chảy 2950 C) Chống ăn mòn cao, oxy hóa chậm (bắt đầu oxy hóa 800 C) có điện trở suất nhỏ (20 - 30µΩ.cm) Độ phản xạ cao vùng hồng ngoại, chiết suất thấp hệ số tắt cao Cấu trúc tinh thể TiN: Có cấu trúc muối ăn (NaCl) : • • Ti lấp đầy vị trí mạng lập phương tâm mặt (fcc) N lấp đầy vị trí bát diện II CÁC PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT CỦA MÀNG Xác định thơng số quang học • 1.1 Phương pháp phổ truyền qua - Xác định thông số quang học màng mỏng (độ dày, chiết suất, hệ số hấp thụ, hệ số tắt…) tiến hành xác định phổ truyền qua màng Từ thông số phổ truyền qua thu pp tính tốn ta xác định thơng số quang học màng - Sử dụng máy quang phổ truyền qua Hewlett Packard 1.2 Phương pháp Ellipsometry rp rs = tan Ψei∆ Chiết suất n, hệ số tắt k TiN thay đổi theo bước sóng Phương pháp xác định cấu trúc màng • 2.1 Phương pháp nhiễu xạ tia X Công Sherrer: thức 0.9λ b= ∆(2θ ) cos θ Vùng phản xạ