Kinh hiển vi diện tử

Kính hiển vi điện tử Tranmission Electron Microscope Kính hiển vi điện tử Scanning Electron Microscope Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) • Là thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn • Sử dụng chùm điện tử có lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng sử dụng thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn • Ảnh tạo huỳnh quang, hay film quang học, hay ghi nhận máy chụp kỹ thuật số Cấu tạo Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) Súng phóng điện tử TEM Các độ Các hệ thấu kính lăng kính Súng phóng điện tử (Electron gun) • Có cách để tạo chùm điện tử: ₋ Súng phát xạ nhiệt điện tử(Thermionic Gun): hoạt động nhờ việc đốt nóng dây tóc điện tử, cung cấp lượng nhiệt cho điện tử thoát khỏi bề mặt kim loại.  ₋ Súng phát xạ trường (Field Emission Gun): hoạt động nhờ việc đặt hiệu điện (cỡ vài kV) để giúp điện tử bật khỏi bề mặt kim loại 1 Súng phóng điện tử (Electron gun) Và ta dễ dàng tính bước sóng sóng điện tử liên hệ với tăng tốc theo công thức 2 Các hệ thấu kính lăng kính Cấu trúc cắt ngang thấu kính từ Các hệ thấu kính lăng kính Hệ kính hội tụ tạo chùm tia song song (Condenser lens) Vật kính (Objective lens) Thấu kính nhiễu xạ (Diffraction lens) Thấu kính phóng đại (Magnifying lens, intermediate lens) Các độ • Là hệ thống chắn có lỗ với độ rộng thay đổi nhằm thay đổi tính chất chùm điện tử khả hội tụ, độ rộng, lựa chọn vùng nhiễu xạ điện tử – Khẩu độ hội tụ (Condenser Aperture) – Khẩu độ vật (Objective Aperture) – Khẩu độ lựa chọn vùng(Selected Area Aperture) Kính hiển vi điện tử quét (SEM) • Là loại kính hiển vi điện tử tạo ảnh với độ phân giải cao bề mặt mẫu vật rắn • Sử dụng chùm điện tử (chùm electron) hẹp quét bề mặt mẫu • Việc tạo ảnh mẫu vật thực thơng qua việc ghi nhận phân tích xạ phát từ tương tác chùm điện tử với bề mặt mẫu vật Cấu tạo Ảnh chụp bề mặt dâu tây Hạt phấn hoa  Ảnh chụp vi khuẩn bề mặt lưỡi người Một tinh thể can-xi phốt phát Bào tử nấm Comparison of OM,TEM and SEM ... Electron Microscope Kính hiển vi điện tử Scanning Electron Microscope Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) • Là thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn • Sử dụng chùm điện tử có lượng cao chiếu... Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) Súng phóng điện tử TEM Các độ Các hệ thấu kính lăng kính Súng phóng điện tử (Electron gun) • Có cách để tạo chùm điện tử: ₋ Súng phát xạ nhiệt điện tử( Thermionic... tử quét (SEM) • Là loại kính hiển vi điện tử tạo ảnh với độ phân giải cao bề mặt mẫu vật rắn • Sử dụng chùm điện tử (chùm electron) hẹp quét bề mặt mẫu • Vi? ??c tạo ảnh mẫu vật thực thông qua vi? ??c