Phương pháp phún xạ magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ

Phương pháp phún xạ Magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn

Ngày tải lên : 06/10/2014, 15:26

38
752
0

Phương pháp phún xạ magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn

... vài phương pháp chế tạo màng mỏng - Các bước chế tạo màng mỏng phún xạ rf - Chế tạo màng mỏng TiO2 phún xạ rf Phạm vi nghiên cứu Phương pháp phún xạ magnetron rf: ưu điểm, nhược điểm phương pháp ... xạ rf phương pháp sử dụng phổ biến công nghệ chế tạo màng mỏng bán dẫn có nhiều ưu điểm Mục đích chọn đề tài - Tìm hi...

Ngày tải lên : 30/11/2015, 21:46

39
1K
0

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng...

Ngày tải lên : 27/06/2014, 10:20

11
791
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệ...

Ngày tải lên : 22/07/2014, 10:21

7
692
2

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

... tính chất quang học màng tốt Trong khóa luận này, thực chế tạo màng ZnO: Sn đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron DC Qua khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện tính chất quang ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO Để thuận tiện việc so sánh kết quả, c...

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:52

72
1.6K
0

phương pháp thứ hai của lyapunov và ứng dụng trong việc nghiên cứu tính ổn định của phương trình vi phân hàm và phương trình vi phân hàm có xung

... HỌC TỰ NHIÊN CAO THỊ ĐÔNG PHƯƠNG PHÁP THỨ HAI CỦA LYAPUNOV VÀ ỨNG DỤNG TRONG VI C NGHIÊN CỨU TÍNH ỔN ĐỊNH CỦA PHƯƠNG TRÌNH VI PHÂN HÀM VÀ PHƯƠNG TRÌNH VI PHÂN HÀM CÓ XUNG Chuyên ngành: TOÁN GIẢI ... văn trình bày cách hệ thống kết phương pháp hàm Lyapunov cho dạng phương trình vi phân thường Rn , phương trình vi phân hàm, phương trình vi phân...

Ngày tải lên : 07/01/2015, 17:12

59
1.3K
10

Một số phương pháp khai phá dữ liệu và ứng dụng trong bài toán lập thời khoá biểu

... I HC QUC GIA HNI KHOA CễNG NGH Ngụ Vn Bỡnh Một số ph-ơng pháp khai phá liệu ứng dụng toán lập thời khoá biểu Chuyờn ngnh : Cụng ngh thụng tin Mó s : 1.01.10 NGI HNG DN KHOA ... ngnh hc khỏc Hỡnh 2.4 Khai phỏ d liu v tri thc 2.7 TRNG TM CHNH TRONG KHAI PH D LIU Cỏc phng phỏp khai phỏ v tng tỏc ngi s dng - Khai phỏ cỏc loi tri thc khỏc ca c s d liu - Khai p...

Ngày tải lên : 25/03/2015, 09:53

126
1.3K
0

Luận văn thạc sĩ toán phương pháp nhiễu của nửa nhóm và ứng dụng trong mô hình quần thể sinh học

... ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN - - - - - - - - - o0o - - - - - - - - - ĐINH THỊ HẠNH PHƯƠNG PHÁP NHIỄU CỦA NỬA NHÓM VÀ ỨNG DỤNG TRONG MÔ HÌNH QUẦN THỂ SINH HỌC Chuyên ... chất nghiệm phương trình vi phân hàm, đồng thời sử dụng việc nghiên cứu mô hình ứng dụng như: mô hình quần thể sinh học, mạng nơron thần kinh, vật lý học Một vấn đề nh...

Ngày tải lên : 02/11/2015, 11:36

58
466
0

Nghiên cứu công nghệ sinh tổng hợp Enzym glucose oxidaza (god) và ứng dụng trong công nghiệp chế biến một số sản phẩm từ quả nhằm đảm bảo ổn định chất lượng chống biến màu, hạn chế mất mùi sản phẩm

... tinh enzym xác định đặc tính chế phẩm - Lựa chọn phương pháp phá vỡ tế bào - Thu nhận tinh enzym - Nghiên cứu đặc tính enzym GOD sinh tổng hợp Nghiên cứu đặc tính sinh hóa độ an toàn chế phẩm enzym ... bột số chất dinh dưỡng với có mặt oxy chủng nấm mốc nấm men [1]; [11];[13] Ở Việt nam, chưa có công trình nghiên cứu GOD công bố Do vậy, việc nghi...

Ngày tải lên : 17/03/2014, 09:00

153
928
1

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp...

Ngày tải lên : 27/06/2014, 11:20

6
802
1

Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

... Quang phổ Laser MỤC ĐÍCH: Nghiên cứu ảnh hưởng tỉ lệ dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế ... tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực tiếp nhiệt độ phòng với tỉ lệ dòng oxy đưa vào khoảng 3-1 5% FO FO % = ×...

Ngày tải lên : 15/08/2015, 11:08

16
379
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

... diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang xúc tác Trang 48 Bản quyền ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún...

Ngày tải lên : 22/07/2014, 03:20

8
603
0

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

... ti p tục thực chế tạo màng ZnO: (In,N) bán bẫn loại p phương ph p phún xạ magnetron DC Khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán ... 3: PHƯƠNG PH P PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương ph p tạo màng mỏng đế rắn, phương ph p có ưu điểm nhược điểm r...

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:39

106
1.7K
1

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnO PHA TẠP LOẠI P CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫn ZnO p-n LED Trong suốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫn pha tạp loại ... NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất điện màng ZnO: (In, N): 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In lên tính chất điện màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG N...

Ngày tải lên : 25/05/2015, 23:10

52
1.4K
0

PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ...  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc...

Ngày tải lên : 27/05/2015, 22:29

15
2.4K
2