ưu điểm của phương pháp phún xạ magnetron phẳng

... độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phương pháp phún xạ magnetron - gây ứng ... cần mức cao khoảng 10-2 torr để tránh ứng suất nén phá hỏng màng Các thông số tạo màng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng  (nm) 1000 Hình ... nhờ phương pháp bốn mũi dò [3], cấu trúc tinh thể khảo sát phép phân tích giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD) Kích thước hạt tinh thể xác định công thức Scherrer Từ kết cơng trình [1,4], q trình phún xạ...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20

... LUẬN Màng ZnO-Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phún xạ nhiệt độ phòng ... điện trở suất (~ 4.6 x 10-4 Ωcm) cường độ đỉnh (002) tương đương (chứng tỏ hạt ngưng tụ phương pháp phún xạ magnetron có lượng cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần không phụ thuộc vào nhiệt độ ... 9cm (bảng 2, hình 1) Từ bảng thấy rằng, vị trí tối ưu để đạt điện trở thấp vị trí e Ở vị trí tránh bắn phá ion âm ο lượng cao vận tốc phún xạ thấp (v = 3.8 Α /s) Bảng 2[5] Mẫu Vị trí a Bề dày...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 13:20

... suốt ZnO: Al đế PET phương pháp phún xạ magnetron DC Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 5.3 Các báo cáo khoa học hội nghị, hội thảo KH: [1] Sử dụng phương pháp phún xạ magnetron DC để chế ... màng mỏng tungsten oxyt phương pháp phún xạ magnetron RF.Hội nghị Khoa học Trường ĐHKHTN tháng 10-2004 [5] Pin mặt trời màng mỏng (ZnO:Al)/ p-Si (111) tạo phương pháp phún xạ magnetron DC Hội nghị ... ion âm oxygen hệ phún xạ magnetron với bia ZnO:Al Tạp chí phát triển KHCN –ĐHQG Tp.HCM, tập 7, số 1/2004 [2] Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện suốt ZnO:Al phương pháp phún xạ magnetron DC Tạp...

Ngày tải lên: 10/08/2014, 04:20

... dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực tiếp ... 2.7*10-4 Pa Thời gian phún xạ 40 phút Độ dày màng từ 50-200nm Quang phổ Laser ĐO TÍNH CHẤT MÀNG: Cấu trúc màng, thơng tin phase (anatase hay rutile) đo quang phổ kế tia X sử dụng xạ Cu Kα (0.1542nm) ... oxy đưa vào khoảng 3-15% FO FO % = × 100% ( FO2 + FAr ) Sau đem ủ nhiệt 350-750oC Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 11:08

... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ... Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 torr 6.10-3 torr N2, N2O, Ar Corning 7059 5.0cm 80W 300oC Màng sau phún xạ tiến hành đo bề dày phương ... bia phún xạ Và khí phún xạ khí hay hỗn hợp hai hay nhiều khí từ nguồn khí Ar, O 2, N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phún xạ tạo màng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phún xạ...

Ngày tải lên: 18/03/2013, 11:49

Ngày tải lên: 02/06/2014, 02:38

... màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62 Kỹ thuật ... hấp thu hồng ngoại IR phổ tán xạ tia X THỰC NGHIỆM Hệ phún xạ dùng máy Univex 450 Màng Al2O3 phún xạ từ bia nhơm kim loại Điều kiện tiến hành tính tóan trước phương pháp mơ dùng thuật tóan Monte ... 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại mơi trường hỗn hợp khí làm việc...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 10:20

... luận từ hai phía có lý tập trung vào hạn chế phương pháp giảng dạy này, dễ dàng bỏ qua vơ số ưu điểm vượt trội Ưu điểm phương pháp giảng dạy Những phương pháp làm việc theo cặp hay nhóm thường áp ... ngữ pháp, luyện ngữ âm kỹ yếu người học nghe, nói, v.v Đây ưu điểm vượt trội phương pháp dạy kèm lớp học đơng học viên, khơng có đủ thời gian để giải tất vấn đề cụ thể cá nhân lớp Phương pháp ... theo phương pháp “hỏi-đáp” truyền thống Tương tự vậy, thay đứng giảng viết thứ lên bảng, bạn không ngồi cạnh học viên minh họa tranh ảnh, đồ thị hay câu ví dụ viết giấy? Một ưu điểm khác phương pháp...

Ngày tải lên: 29/06/2014, 03:20

... tiêu Đánh giá hiệu việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa cơng nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt ... Mơ hình hệ phún xạ magnetron Hình Sơ đồ hệ đo Δabs Hình Quang phổ liên tục Hình Phổ phát xạ bóng đèn UVA Hình 10 Bóng đèn UVA 220V-8W THỰC NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát ... NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát mẫu có điều kiện phún xạ, khác cường độ dòng phún xạ, chúng tơi thấy dòng phún xạ mạnh, tính quang xúc tác cao Δabs năm mẫu từ G48 (0,40 A), G49...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 03:20

... màng TiO2 tạo phương pháp phún rf với màng tạo phương pháp dc, ta nhận thấy màng tạo phương pháp dc tồn dạng vô định nhiều Rms thấp Hình 7.Ảnh AFM màng TiO2 : a/ tạo phương pháp phún xạ dc – nhiệt ... ) Hình Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương ... [6] 4.KẾT LUẬN Màng tạo phương pháp phún xạ magnetron rf suốt, có độ truyền qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màng tạo phương pháp phún xạ dc Cấu trúc màng phần...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 10:21

Ngày tải lên: 06/10/2014, 15:26

... truyền qua 1.6 Phương pháp nghiên cứu 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt vật liệu (bia) bắn phá hạt lượng cao gọi phún xạ Những ... hay gây phún xạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phương pháp phún xạ Phương pháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng lắng đọng Quá trình phún xạ trình ... In2O3 Lắng đọng phún xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phún xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO:In Phun nhiệt phân [112] ZnO:Al Lắng đọng phún xạ [117] ZnO:In Lắng đọng phún xạ [147] ZnO:B Lắng...

Ngày tải lên: 10/04/2015, 17:29

... Khái niệm phún xạ .38 3.2 Phún xạ magnetron phẳng .38 3.2.1 Ưu điểm phương pháp phún xạ magnetron phẳng 38 3.2.2 Cấu tạo hệ magnetron phẳng 39 3.3 Các phương pháp đo ... CHƯƠNG 3: PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương pháp tạo màng mỏng đế rắn, phương pháp có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phương pháp là: Các phương pháp tạo ... gian phún xạ phù hợp 3.2 Phún xạ magnetron phẳng 3.2.1 Ưu điểm phương pháp phún xạ magnetron phẳng Phương pháp phún xạ magnetron có ưu điểm như: nhiệt độ đế thấp, tạo màng nhiệt độ phòng, độ...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 22:39

... buồng có đế cần phủ Phương pháp phân loại thành phún xạ phản ứng phún xạ không phản ứng Một lợi điểm phương pháp phún xạ màng mỏng thu có thành phần với nguồn Do hiệu suất phún xạ phụ thuộc vào ... chất chất pha tạp, nên phương pháp tạo màng với thơng số riêng cho màng tính chất khác Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp phún xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử ... dễ dàng phún xạ; phún xạ phản ứng hỗn hợp khí, nhiều hợp chất phủ từ vật liệu đơn chất; phương pháp có chi phí khơng cao; có khả phủ màng diện tích rộng, đạt 3m x 6m *phương pháp phún xạ magnetron...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 22:52

... Quy trình chế tạo bia gốm ZnO:In Bia gốm trước phún xạ Bia gốm sau phún xạ CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In, N) 3.2 Hệ phún xạ tạo màng Sử dụng hệ magnetron không cân bằng: - Tăng thông lượng ion ... tạo phương pháp phún xạ magnetron DC”, Hội nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VII, Hà Nội – 8/11/2010 PHẦN PHỤ LỤC Đặc trưng I-V màng ZnO:(In,N) phủ đế Si P=3mTorr; I=0.35A; V=520V; Thời gian phún xạ ... p-ZnO:(In, N)bằng phương pháp phún xạ magnetron DC”, Hội nghị Khoa học lần thứ 7, Đại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc gia TP HCM – 2010 Hồ Văn Bình, Đào Anh Tuấn, Dương Ái Phương, Lê Văn Hiếu,...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 23:10

... màng mỏng phún xạ ( nêu rõ ảnh hưởng nào? ) Trả lời: - Độ dày màng mỏng phún xạ liện quan đến hiệu suất trình phún xạ - Hiệu suất trình phún xạ = NA/Ni Với: NA tổng nguyên tử phún xạ Ni tổng ... ngắn gọn) số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD) Trả lời: Kỹ thuật tạo màng phương pháp PVD phân thành nhiều hướng sau, chủ yếu xuất phát từ phương pháp bay phương pháp phún xạ Bay chân ... pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không làm cho vật liệu bị bay đốt nóng mà thực chất q trình phún xạ q trình truyền động cách dùng iơn khí...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:29

... trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2.1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1.2)  Bộ phận hệ phún xạ magnetron phẳng hệ nam ... BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I.1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bứt bị bắn phá ion có lượng cao Hình 1.1: Sơ đồ mơ tả q trình phún ... hưởng đến độ dày màng mỏng phún xạ? Nói đến độ dày màng mỏng phún xạ tức xem xét hiệu suất trình phún xạ Theo định nghĩa ta có, hiệu suất trình phún xạ tổng nguyên tử phún xạ tổng ion tới Các yêu...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:42

... Page  Tổng quan Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng ... suất phún xạ Điều kiện Công suất phún xạ 50 W, Nhiệt độ đế 3500c Khoảng cách bia đế 5cm Độ dày màng giữ xấp xỉ Tăng áp suất • điện trở suất tăng • vận tốc phún xạ giảm Page  14 2.Áp suất phún xạ ... liệu với áp suất khác dễ dàng phún xạ  Phương pháp có chi phí khơng cao  Có khả phủ màng diện tích rộng Page  Phún xạ Magetron Page  Thực nghiệm Page  Một số đặc điểm trình tạo màng Hệ tạo...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 10:06

... suốt dẫn điện Thí nghiệm •Dùng phương pháp phún xạ magnetron DC –Bia (đường kính 150mm): hỗn hợp bột ZnO Sc2O3 (hoặc Y2O3), nung nhiệt độ 10500C môi trường Ar+H2 Phún xạ môi trường Ar áp suất 0.4 ... phương pháp Stylus –Điện trở suất độ linh động Hall đo nhiệt độ phòng phương pháp Van der Pauw –Thành phần cấu tạo màng đo phổ tán xạ lượng tia X (EDS) –Cấu trúc tinh thể khảo sát phổ nhiễu xạ ... Halogen: F Tính chất - Trong suốt, độ truyền qua cao - Điện trở suất thấp, dẫn điện tốt Phương pháp chế tạo - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD)...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 11:09

... trình phún xạ - Quá trình phún xạ trình truyền động II CÁC LOẠI PHÚN XẠ • Phún xạ phóng điện chiều (DC discharge sputtering) • Phún xạ phóng điện xoay chiều (RF discharge sputtering) • Phún xạ magnetron ... N (Kathod) S N N (a) (b) Hệ magnetron phẳng đường sức từ bề mặt bia N Cấu trúc số hệ Magnetron thông thường Ưu nhược điểm phún xạ Ưu điểm: • Tất loại vật liệu phún xạ, nghĩa từ nguyên tố, hợp ... cao tần có tụ chặn làm tăng hiệu suất bắn phá ion 3 Phún xạ magnetron • Là kỹ thuật phún xạ (sử dụng với xoay chiều chiều) cải tiến từ hệ phún xạ thông dụng cách đặt bên bia nam châm • Từ trường...

Ngày tải lên: 19/11/2015, 06:24