Phương pháp hiển vi điện tử truyền qua (TEM) là phương pháp hiển vi điện tử đầu tiên được phát triển với thiết kế ban đầu mô phỏng theo phương pháp hiển vi quang học truyền qua. Phương pháp này sử dụng một chùm electron thay thế chùm sáng chiếu xuyên qua mẫu và thu được những thông tin về cấu trúc và thành phần của nó giống như cách sử dụng kính hiển vi quang học [2, 112].
Phương pháp TEM có ưu thế hơn phương pháp SEM ở chỗ nó có độ phóng đại rất lớn (độ phóng đại tới 400.000 lần với nhiều vật liệu, và với các nguyên tử nó có thể đạt được độ phóng đại tới 15 triệu lần). Các bước ghi ảnh
TEM cũng tương tự, chiếu một chùm electron lên mẫu vật, một phần dòng electron sẽ xuyên qua mẫu rồi được hội tụ tạo thành ảnh, ảnh này được truyền đến bộ phận khuếch đại, sau đó tương tác với màn huỳnh quang tạo ra ảnh có thể quan sát được. Trên hình 2.3 đưa ra sơ đồ nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử truyền qua.
Hình 2.3. Sơ đồ nguyên lý hệ hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
Các bước ghi ảnh TEM cũng tương tự, chiếu một chùm electron lên mẫu vật, một phần dòng electron sẽ xuyên qua mẫu rồi được hội tụ tạo thành ảnh, ảnh này được truyền đến bộ phận khuếch đại, sau đó tương tác với màn huỳnh quang tạo ra ảnh có thể quan sát được. Mẫu vật liệu chuẩn bị cho ảnh TEM phải mỏng để dòng electron có thể xuyên qua giống như tia sáng xuyên qua vật thể trong kính hiển vi quang học, do đó việc chuẩn bị mẫu sẽ quyết định tới chất lượng của ảnh TEM. Phương pháp hiển vi điện tử truyền qua cho biết nhiều chi tiết của mẫu nghiên cứu: hình dạng, kích thước hạt, biên giới hạt v.v..
Các mẫu nghiên cứu trong luận án được chụp trên hệ máy JEOL 1010 (Nhật Bản) ở Viện Vệ sinh Dịch tễ Hà Nội; và hệ máy JEOL JEM 100CS - S1
Transmission Electron Microscopy tại Phòng nghiên cứu Mitsuru Akashi, thuộc khoa Hóa học ứng dụng, trường Đại học Osaka, Nhật Bản.