Phương pháp phổ tán xạ Raman lại cho phép phân tắch về cấu trúc pha, cấu trúc tinh thể và thành phần của vật liệụ đây là phương pháp mang tên nhà Vật lý người Ấn độ C.V Raman. Phổ tán xạ raman dựa trên nguyên lý tán xạ không ựàn hồi của ánh sáng ựơn sắc chiếu tới mẫu, thông thường là từ một nguồn sáng laser. Tán xạ không ựàn hồi là tán xạ mà tần số của các photon từ nguồn sáng ựơn sắc chiếu tới sẽ thay ựổi khi nó tương tác với mẫu vật. Các photon của ánh sáng laser bị hấp thụ bởi mẫu và sau ựó bị tán xạ. Tần số của các photon tán xạ có thể thay ựổi tăng hoặc giảm so với tần số của nguồn sáng ựơn sắc khi chiếu tới, ựây ựược gọi là hiệu ứng Raman. Sự thay ựổi này sẽ cung cấp thông tin về ựộ dao ựộng, ựộ quay và các tần số truyền khác của các phân tử. Phương pháp Raman có thể ựược dùng ựể phân tắch các mẫu ở cả dạng rắn, lỏng và khắ.
Các phép ựo Raman thực hiện trong luận án ựược tiến hành trên thiết bị Micro - Raman LABRAM - 1B của hãng Jobin - Yvon (Pháp) ựặt tại Viện Khoa học vật liệu (Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam).
Thiết bị dùng nguồn sáng là Laser He - Ne, với cấu hình tán xạ ngược. Mẫu ựược kắch thắch bằng ánh sáng có bước sóng 514,5 nm của laser Ar. Mật ựộ công suất kắch thắch thấp ựược sử dụng ựể tránh ảnh hưởng của hiệu ứng nhiệt. Hệ ựo ựược lắp thêm camera và màn hình ựể quan sát vị trắ tạo ra tán xạ không ựàn hồi ánh sáng kắch thắch trên một diện tắch rất hẹp cỡ micro mét vuông hoặc nhỏ hơn ở trên bề mặt của mẫụ Các mẫu ựo ựược ựặt trên bàn dịch chuyển ba chiều với bước dịch chuyển nhỏ nhất là 0,5 mm. Ngoài ra, hệ ựo còn ựược nối với kắnh hiển vi cho phép ghi phổ với ựộ phân giải không gian tốt hơn. Máy tắnh ựiện tử kết nối trong hệ ựo với chương trình cài ựặt sẵn, cho ta kết quả cuối cùng ựã xử lý. Phổ ựược hiển thị trên màn hình dưới dạng sự phụ thuộc cường ựộ dao ựộng vào số sóng của các vạch dao ựộng.