Phương pháp phổ tán xạ năng lượng tia X (EDX)
a. Mục đích
Phổ tán sắc năng lượng tia X là kỹ thuật phân tích thành phần hóa học của vật liệu rắn dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật rắn do tương tác với các bức xạ chủ yếu là chùm điện tử có năng luọng cao trong các kính hiểm vi điện tử.
b. Nguyên tắc
Khi một chùm tia điện tử hẹp có bước sóng khoảng vài Å đập vào mẫu, các tia X hình thành trong q trình hồi phục của các ngun tử ion hố, các tia X này sẽ cung cấp thêm khả năng để phân tích mẫu. Các kiểu nhiễu xạ (các điểm từ 1 hạt đơn tinh thể và các vòng từ một tập hợp các hạt định hướng ngẫu nhiên) cho phép người ta nhận ra các pha cấu trúc tinh thể như trong XRD. Các tia X phát xạ là đặc trưng cho một nguyên tố và cho phép xác định thành phần hoá học của một phần chọn lọc trong mẫu. Kỹ thuật này thường được gọi là phương pháp phổ phân tích tán xạ năng lượng tia X (EDX).
Phương pháp tán xạ năng lượng tia X thường đi kèm theo phương pháp SEM hoặc TEM. Nguyên tắc của phương pháp dựa trên hiện tượng phát xạ tia X của vật liệu, khi bị chiếu chùm điện tử có mức năng lượng cao (từ phương pháp SEM). Chùm điện tử sẽ đâm xuyên vào nguyên tử vật rắn và tương tác với các lớp điện tử bên trong của nguyên tử. Tương tác này dẫn đến việc tạo ra các tia X có bước sóng đặc trưng tỷ lệ với nguyên tử số (Z) của nguyên tử.
38