Hình 1.16 mô tả cách tạo ra hệ thống kính hiển vi đồng tiêu. Đặt một khấu độ đủ nhỏ trên mặt phẳng tiêu cự của kính hiển vi có thể tạo ra hệ thống kính hiển vi đồng tiêu. Các tia sáng từ vùng xung quanh mẫu bị khấu độ này ngăn lại, chỉ các tia sáng từ hệ quang đồng tiêu mới đƣợc đi qua đến đầu dò. Kỹ thuật này đặc biệt phù hợp dùng để tìm kiếm dị biệt và để phân tích các vật liệu polymer siêu mỏng.
Trong quá trình này công suất laser phải luôn đƣợc giữ ở mức tối thiểu để tránh trƣờng hợp phá hủy mẫu và cần phải chú ý bảo vệ mắt trong suốt quá trình vì rất nguy hiểm khi các bức xạ laser chiếu vào mắt. Đối với tán xạ hoặc cấu hình xiêng, đôi khi có thể quan sát thấy hình ảnh sáng ở lối vào bộ chọn bƣớc sóng, tuy nhiên đây không phải là do tán xạ Raman mà do hình quang hoặc phản xạ của chùm tia laser từ thủy tinh, thạch anh hoặc bề mặt của mẫu. Vì hình ảnh Raman khá yếu, nên căn phòng phải đƣợc giữ càng tối càng tốt trong quá trình đo mẫu
1.4.3 Máy đơn sắc
1.4.3.1 Máy đơn sắc đơn
Dƣới đây là sơ đồ đơn giản của một máy đơn sắc đơn. Ở vị trí D là cách tử, C và E là các gƣơng phản xạ. Bức xạ sau khi đi qua khe vào B (input) sẽ đến gƣơng rồi đến cách tử D, chùm bức xạ sẽ bị tách ra các thành phần đơn sắc. Các ánh sáng đơn sắc sẽ
thƣờng ngƣời ta sẽ kết hợp thêm một thiết bị làm quay cách tử, việc điều chỉnh góc quay cách tử cho ta thu đƣợc bƣớc sóng ở ngõ ra theo ý muốn.