Đây là phương pháp được sử dụng trong các nghiên cứu với bộ dữ liệu đa biến phụ thuộc lẫn nhau (interdependence techniques). Phân tích EFA được sử dụng để rút gọn một tập biến gồm k biến quan sát thành một tập F (F<k) các nhân tố có ý nghĩa hơn để tóm tắt thông tin. Cơ sở của việc rút gọn này dựa vào mối quan hệ tuyến tính của các nhân tố với các biến quan sát (Nguyễn Đình Thọ, 2011). Ba thuộc tính quan trọng được xem xét khi đánh giá thang đo trong phân tích EFA là: (1) số lượng nhân tố trích được, (2) trọng số nhân tố và (3) tổng phương sai trích.
Số lượng nhân tố trích được thực hiện kiểm tra kết quả thang đo xem số lượng nhân tố trích có phù hợp với giả thuyết ban đầu về số lượng thành phần của thang đo đối với thang đo đa hướng hoặc số lượng khái niệm đơn hướng. Dựa vào tiêu chí Eigen-value, số lượng nhân tố được xác định ở nhân tố dừng có Eigen-value tối thiểu bằng 1 (Nguyễn Đình Thọ, 2011).
Trọng số nhân tố hay còn gọi là hệ số tải nhân tố (Factor loadings) là những hệ số tương quan đơn giữa các biến và các nhân tố. Trọng số nhân tố của một biến trên nhân tố mà nó là một biến đo lường phải cao và các trọng số trên nhân tố mà nó không đo lường phải thấp; có nghĩa là hệ số tải nhân tố phải cao ở mức độ mà phần chung phải lớn hơn hoặc bằng phần riêng và sai số. Hay nói cách khác trên 50% phương sai của biến đo lường được giải thích bởi nhân tố hay hệ số tải nhân tố > = 0.5 là đạt yêu cầu.
Tổng phương sai trích: tổng phương sai trích thể hiện các nhân tố trích được bao nhiêu phần trăm của các biến đo lường hay thể hiện thang đo giải thích được bao nhiêu phần trăm sự biến thiên của dữ liệu. Tổng phương sai trích phải lớn hơn hoặc bằng 50% trở lên, nghĩa là phần chung phải lớn hơn hoặc bằng phần riêng và sai số. Nếu tổng này đạt từ 60% trở lên thì được xem là tốt.
Một điểm cần lưu ý là những giá trị trọng số nhân tố và tổng phương sai trích để thang đo được chấp nhận này là về mặt thống kê, trong nghiên cứu thống kê chỉ là công cụ chứ không phải là tất cả. Vấn đề loại bỏ biến có trọng số nhân tố thấp (theo tiêu chí
thống kê) cần chú ý đến giá trị nội dung của biến đó đóng góp vào giá trị nội dung của khái niệm nó đo lường (Nguyễn Đình Thọ, 2011).