4. Nội dung của đề tài nghiên cứu
3.1.2. Các tính chất quang của buồng vi cộng hưởng dựa trên màng silic xốp
đa lớp và màng silic xốp đơn lớp
Để biết rõ nét hơn về mức độ phản xạ của mẫu đã chế tạo với các mật độ dòng khác nhau. Ta sử dụng hệ đo USB4000 và thu được phổ phản xạ của các mẫu đã chế tạo được đặt trong môi trường không khí, thể hiện ở hình 3.3
500 600 700 800 Bước sóng (nm) Cavity 0 10000 20000 30000 40000 50000 60000 70000 620.85
Hình 3.3: Phổ phản xạ của các cấu trúc silic xốp đa lớp (a) và cấu trúc đơn
lớp đã chế tạo tương ứng với mật độ dòng 50mA/cm2 (b) và 75mA/cm2(c)
Hình 3.3 đã trình bày phổ phản xạ quang học dựa trên cấu trúc silic xốp đa lớp và màng silic xốp đơn lớp đã chế tạo với các điều kiện chế tạo là nồng độ HF 16%, độ tương phản mật độ dòng là 50mA/cm2 và 75mA/cm2. Đối với cấu trúc silic xốp đa lớp, phổ phản xạ ta thu được đỉnh phổ phản xạ là 620,85nm. Nhưng đối với phổ phản xạ của cấu trúc silic xốp đơn lớp, ta chưa thể xác định chi tiết được phổ phản xạ nằm trong vùng ánh sáng nào. Trong hình 4.4 đã trả lời câu hỏi đó, do phổ phản xạ khi đo trực tiếp ta thấy có các đỉnh liên tục mà không xác định được cụ thể đỉnh phổ cực đại. Để quan sát kĩ hơn, ta sử dụng
Mẫu 1 Mẫu 2
(b (c
So song (cm^- So song (cm^-
phương pháp biến đổi FFT có thể thấy rõ đối với màng silic xốp đơn lớp với cực đại nằm trong vùng khả kiến có giá trị từ khoảng 300 - 500nm. Ngoài cực đại chính có độ cao lớn nhất thì lúc này ở hai phía cực đại còn có các cực đại khác tương ứng với độ phản xạ thấp do hiện tượng nhiễu xạ Bragg. Các cực đại nhiễu này sinh ra do quá trình tiếp xúc của lớp silic xốp chế tạo được không giống hệt nhau.
Hình 3.4: Phổ phản xạ của các mẫu đã chế tạo tương ứng với mật độ dòng
50mA/cm2 (a) và 75mA/cm2(b) sử dụng phương pháp biến đổi FT
Ngoài ra ta thấy độ phản xạ của các mẫu chế tạo được theo phương pháp điện hóa tấm silic trong dung dịch axit HF 16% có giá trị cao vào khoảng từ 65% trở lên. Đây là một ưu điểm phương pháp này mà các phương pháp không có. Hình 3.5 đã thể hiện được mức độ phản xạ của các mẫu sau khi loại bỏ tín hiệu nhiễu của đèn cũng như chuẩn hóa tín hiệu, với mẫu đa lớp và đơn lớp được chế tạo khi mật độ dòng 75mA/cm2 đạt độ phản xạ cao hơn so với khi chế tạo mẫu bằng mật độ dòng 50mA/cm2.
500 600 700 800 Bước sóng (nm) Cavity 0 10 20 30 40 50 60 70 620.85
Hình 3.5: Độ phản xạ của các mẫu silic xốp đa lớp (a) và đơn lớp đã chế tạo
tương ứng với mật độ dòng 50mA/cm2 (b) và 75mA/cm2(c)