3. Kết quả và bàn luận
3.5.5. Khảo sát độ ổn định của cảm biến vật liệu graphene và vật liệu tổ hợp G-nwAg
Trong khảo sát này luận văn tiến hành đo nhạy khí đối với mẫu cảm biến sử dụng vật liệu graphene trong 10 chu kỳ (mỗi chu kì gồm một lần giải hấp và một lần hấp thụ). Sau đó, mẫu trên sẽ được đem đi phun dây nano Ag lên để tạo thành mẫu cảm biến sử dụng vật liệu tổ hợp G-nwAg, kế tiếp mẫu này cũng được đem đi đo nhạy khí trong 10 chu kỳ như trên (thông số mẫu được cho ở bảng 3.7). Kết quả đo nhạy khí được cho ở giản đồ hình 3.29.
Bảng 3.7: Thông số mẫu trong khảo sát 3.4.5. và lưu lượng khí NH3 sử dụng. RGraphene (KΩ) RG-nwAg (KΩ) Khoảng cách giữa hai điện cực (mm) Bệ rộng lớp dây nano Ag (mm) Lưu lượng khí thử (sccm) 5.2 1.5 6 5 55
GVHD TS. Trần Quang Trung HVTH Tống Đức Tài Qua kết quả khảo sát ở giản đồ hình 3.30 ta có thể kết luận rằng linh kiện cảm biến của luận văn chế tạo có độ ổn định cao về độ nhạy, thời gian đáp ứng, cũng như thời gian hồi phục. Sự khác biệt ở chu kì 1 và các chu kì khác ở đồ thị nhạy khí của vật liệu graphene là do khả năng giải hấp thấp của vật liệu này ở nhiệt độ phòng, tuy nhiên ở các chu kỳ sao thì độ lập lại của ba đặc trưng là rất tốt. Ngoài ra qua giản đồ hình 3.30 một lần nữa chúng ta có thể thấy sự hiệu quả của việc pha tạp dây nano Ag vào vật liệu graphene để tạo tổ hợp nhạy khí. Kết quả này (nhất là đối với tổ hợp graphene-dây nano Ag) hứa hẹn một cảm biến khí độc (NH3) có độ lặp lại tuyệt vời, độ nhay cao, thời gian đáp ứng và hồi phục tương đối ngắn và đặc biệt chỉ hoạt động ở nhiệt độ phòng và đây cũng chính là lợi thế cho việc chế tạo cảm biến giá thành thấp (không cần quá trình giải hấp phức tạp), nhanh, nhạy và độ lặp lại cao có thể được chế tạo thành công ở quy mô phòng thí nghiệm trong thời gian không xa.
Hình 3.30: Giản đồ khảo sát độ ổn định của vật liệu graphene
GVHD TS. Trần Quang Trung HVTH Tống Đức Tài