điện tử truyền qua phân giải cao (HR-TEM)
* Nguyên tắc:
Phương pháp hiển vi điện tử truyền qua [124] dựa trên việc sử dụng chùm tia
điện tử để tạo ảnh mẫu nghiên cứu. Chùm tia được tạo ra từ catot qua hai “tụ quang”, điện tử sẽ được hội tụ lên mẫu nghiên cứu. Một số chùm tia điện tử đập vào mẫu, một số chùm tia điện tử truyền qua. Các điện tử truyền qua này được đi qua điện thế gia tốc rồi vào phần thu và biến đổi thành tín hiệu ánh sáng, tín hiệu được khuếch đại, đưa vào lưới điều khiển tạo độ sáng trên màn ảnh.
Với phương pháp hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao cho độ phân giải đối với điểm ảnh là 0,17 nm, độ phóng đại đến 1.000.000 lần. Phương pháp hiển vi
điện tử truyền qua được dùng để khảo sát hình dạng, kích thước, biên giới hạt, ... Hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao (HR-TEM) là một chế độ ghi ảnh của kính hiển vi điện tử truyền qua cho phép quan sát ảnh vi cấu trúc của vật rắn với độ phân giải rất cao, đủ quan sát được sự tương phản của các lớp nguyên tử trong vật rắn có cấu trúc tinh thể. Ngày nay HR-TEM là một trong những công cụ để quan sát vi cấu trúc tới cấp độ nguyên tử. Khác với các ảnh TEM thông thường có độ tương phản chủ yếu là tương phản biên độ do hiệu ứng hấp thụ thì HR-TEM hoạt động dựa trên nguyên lý tương phản pha, tức là ảnh tạo ra nhờ sự giao thoa giữa chùm tia thẳng góc và chùm tia tán xạ. Khi chùm điện tử chiếu qua mẫu (có chiều dày, độ sạch và sự định hướng thích hợp) sẽ bị tán xạ theo nhiều hướng khác nhau và sóng tán xạ sẽ ghi lại thông tin về cấu trúc, vị trí các nguyên tử... Vật kính phải có độ quang sai đủ nhỏ và có độ phân giải điểm đủ lớn để hội tụ các chùm tán xạ này, thực hiện việc giao thoa với chùm chiếu thẳng góc để tạo ra ảnh có độ phân giải cao.
* Thực nghiệm:
Thực nghiệm được tiến hành trên máy JEM-2100F tại phòng thí nghiệm Hiển vi điện tử, Viện Hàn lâm và Khoa học Công Nghệ Việt Nam và Hàn Quốc.