Với mỗi loại cảm biến người ta thường đưa ra các thông số đặc trưng để đánh giá chúng. Đối với cảm biến khí thì các thông số như: độ nhạy, tốc độ đáp ứng, thời gian hồi phục, tính chọn lọc và độ ổn định thường được dùng để đánh giá chất lượng của cảm biến [9].
a) Độ nhạy
Độ nhạy là khả năng phát hiện được khí ứng với một giá trị nồng độ nhất định của nó (còn được gọi là đáp ứng khí). Độ nhạy được kí hiệu là S và được xác định bằng tỷ số: S = gas air R R (1.1) hoặc S = air gas R R (1.2) hoặc S = air gas air R R R (1.3) Trong đó: Rairlà điện trở màng cảm biến trong không khí (Ra).
Rgas là điện trở màng cảm biến khi xuất hiện khí thử (Rg).
Hình 1.12 cho thấy sự thay đổi điện trở của cảm biến khí (trên cơ sở vật liệu bán dẫn loại n) khi xuất hiện khí khử.
Hình 1.12.Sự thay đổi điện trở khi có khí khử b) Tốc độ đáp ứng và thời gian hồi phục
- Tốc độ đáp ứng là thời gian kể từ khi bắt đầu xuất hiện khí thử đến khi điện trở của cảm biến đạt giá trị ổn định Rg.
- Thời gian hồi phục là thời gian tính từ khi ngắt khí cho tới khi điện trở của cảm biến trở về trạng thái ban đầu.
Đối với một cảm biến khí thì tốc độ đáp ứng và thời gian hồi phục càng nhỏ, hiệu quả hoạt động của cảm biến càng cao.
c) Tính chọn lọc
Tính chọn lọc là khả năng nhạy của cảm biến đối với một loại khí xác định trong hỗn hợp khí. Sự có mặt của các khí khác không ảnh hưởng hoặc ít ảnh hưởng đến sự thay đổi của cảm biến. Khả năng chọn lọc của cảm biến phụ thuộc vào các yếu tố như: vật liệu chế tạo, loại tạp chất, nồng độ tạp chất và nhiệt độ làm việc của cảm biến.
d) Tính ổn định
Là độ lặp lại (ổn định) của cảm biến sau thời gian dài sử dụng. Kết quả của các phép đo cho giá trị không đổi trong môi trường làm việc của cảm biến.