+ Thiết bị nhúng phủ
Nguyên tắc của phương pháp này là nhúng đế vào sol rồi kéo lên với tốc độ không đổi trong điều kiện nhiệt độ phù hợp để nhận được một lớp màng trên đế. Kỹ thuật này có thể tạo ra màng có đặc trưng quang đồng đều, độ dày từ 20nm đến 50µm nhưng khó tạo được màng dày có đặc trưng quang học cao do màng tương đối xốp, khó tạo sol có độ bám dính tốt.
- Xử lý nhiệt
Sau khi phủ màng trên đế, mẫu được nung ở nhiệt độ thích hợp để làm bay hơi nước và các thành phần hữu cơ rồi kết tinh lại thành màng mong muốn.
40
Hình 2.1 Hình ảnh chế tạo màng bằng nhúng phủ
+Thiết bị phun phủ
Bộ dụng cụ phun phủ bao gồm máy nén khí có bình ổn định áp suất, dây phun, súng phun gía đặt mẫu và các thiết bị phụ trợ khác.
a. Máy nén khí ATEC có bình ổn định áp suất,áp suất làm việc tối đa là 7 KG/cm2;
Hình 2.2 Máy nén khí có bình chứa
b. Hệ thống dây phun, hai đầu có cơ cấu kết nối với máy nén và súng phun.
c. Súng phun là bộ phận quan trọng nhất trong thiết bị phun, nó có nhiệm vụ phân tán đều dung dịch sol tới bề mặt vật liệu bởi dòng khí nén tốc độ cao. Súng phun phải điều chỉnh được lưu lượng lỏng, áp suất khí nén và điều chỉnh hướng phun hỗn hợp khí – mù. Súng phun cần được chế tạo từ vật liệu không bị ăn mòn bởi dung dịch, ổn định khi sử dụng và dễ dàng làm vệ sinh.
41
d. Giá đặt mẫu là một cơ cấu có mặt phẳng mà ta có thể đặt mẫu, tạo thuận lợi cho quá trình phun phủ, làm khô tự nhiên và vệ sinh sau khi phun;
e. Ngoài các thiết bị trên, hệ thống phun còn có thể trang bị bình lọc dầu mỡ cho khí nén từ máy nén khí, hơi ẩm từ không khí, không để chúng lẫn vào hỗn hợp sol bám lên bề mặt mẫu.
Hình 2.3 Chế tạo màng phun phủ trên gạch men