tạo điện cực và xúc tác bằng phương pháp phún xạ

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc

Ngày tải lên : 09/10/2014, 21:19

... Trường Có phương pháp phún xạ cathode phún xạ chiều (dc) phún xạ xoay chiều (rf) Phún xạ chiều kỹ thuật phún xạ sử dụng hiệu điện chiều để gia tốc cho iơn khí Bia vật liệu đặt điện cực âm (catốt) ... lớn màng chế tạo màng TiO2:N phương pháp phún xạ magnetron Mặc dù, theo [5,7,13], tác giả cho có phương pháp IBAD, PLD cho lượng pha tạp lớn Ngồi ra, giải thích phương pháp phún xạ magnetron ... hiệu điện chiều cao đặt bia (điện cực âm) đế mẫu (điện cực dương) Q trình q trình phóng điện có kèm theo phát sáng (sự phát quang iơn hóa) Vì dòng điện dòng điện chiều nên điện cực phải dẫn điện...

67
697
0

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Ngày tải lên : 18/03/2013, 11:49

... N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phún xạ tạo màng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 ... khảo sát tác giả B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng ... bia gốm Màng ZnO pha tạp N chế tạo phương pháp phún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phún xạ Và khí phún xạ khí hay hỗn hợp hai hay nhiều...

7
1.8K
20

Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Ngày tải lên : 10/04/2015, 17:29

... truyền qua 1.6 Phương pháp nghiên cứu 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt vật liệu (bia) bắn phá hạt lượng cao gọi phún xạ Những ... 1.3.3.1 Khả quang xúc tác Tất chất có khả làm chất xúc tác để trình quang xúc tác xảy với điều kiện [178]: khử điện tử đáy vùng dẫn chất xúc tác âm khử superoxyt, nghĩa âm phản ứng phương trình (1.40) ... (1.4) đưa tập hợp tính chất điện ZnO pha tạp lắng đọng phún xạ magnetron 18 Bảng 1.4: Dữ liệu tính chất điện ZnO tạo phương pháp lắng đọng phún xạ với loại tạp pha vào khác ρ (x10-4 ) n (x1020)...

60
666
1

Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC

Ngày tải lên : 14/05/2016, 09:25

... (1.4) đưa tập hợp tính chất điện ZnO pha tạp lắng đọng phún xạ magnetron 18 Bảng 1.4: Dữ liệu tính chất điện ZnO tạo phương pháp lắng đọng phún xạ với loại tạp pha vào khác ρ (x10-4 ) n (x1020) ... 1.3.3.1 Khả quang xúc tác Tất chất có khả làm chất xúc tác để q trình quang xúc tác xảy với điều kiện [178]: khử điện tử đáy vùng dẫn chất xúc tác âm khử superoxyt, nghĩa âm phản ứng phương trình ... In2O3 Lắng đọng phún xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phún xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO:In Phun nhiệt phân [112] ZnO:Al Lắng đọng phún xạ [117] ZnO:In Lắng đọng phún xạ [147] ZnO:B Lắng...

170
663
1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

Ngày tải lên : 22/07/2014, 03:20

... nghệ quang xúc tác 1.1.Mục tiêu Đánh giá hiệu việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa cơng nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron ... sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát mẫu có điều kiện phún xạ, khác cường độ dòng phún xạ, chúng tơi thấy dòng phún xạ mạnh, tính quang xúc tác cao Δabs năm mẫu từ G48 (0,40 A), G49 (0,45 A), G50 ... thấy màng TiO2 chế tạo kỹ thuật phún xạ phản ứng DC magnetron không cân dễ thu cấu trúc đa tinh thể anatase với diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà khơng phải...

8
603
0

chế tạo vật liệu tổ hợp pzt-nife-cofe bằng phương pháp phún xạ các màng mỏng sắt từ lên đế áp điện pzt phân cực quang và phân cực dọc

Ngày tải lên : 12/08/2015, 19:54

... Phương pháp phún xạ sputtering a Nguyên lý phương pháp phún xạ Chế tạo màng mỏng phương pháp phún xạ trình sử dụng ion lượng cao thường ion khí Xe, Ar, Kr bắn phá bề mặt bia vật liệu rắn để tạo ... dụng cặp điện cực lược đặt đế áp điện (hình 1.8) Một sóng đàn hồi tạo lối vào cặp điện cực lược đầu vào lan truyền dọc theo bề mặt đế áp điện thu cặp điện cực đầu Hình 1.8 Cặp điện cực lược SAW ... liệu sắt điện thay đổi độ lớn hướng Sự phụ thuộc độ phân cực điện vào điện trường thể đường cong điện trễ (hình 1.1) Độ phân cực điện ban đầu chưa có tác dụng điện trường Khi tác dụng vào điện trường...

75
287
1

Nghiên cứu chế tạo xúc tác bằng phương pháp cacbon hóa nguồn sinh khối bã tảo và thử nghiệm trong phản ứng trao đổi este thu nhiên liệu lỏng

Ngày tải lên : 24/11/2016, 01:54

... trình trao đổi este mang tính khả thi Trên giới ba loại xúc tác xúc tác đồng thể, xúc tác dị thể xúc tác enz m đƣợc nghiên cứu Hiện na , xúc tác đồng thể kiềm nhƣ natri h droxit kali h droxit đƣợc ... biodiesel, xúc tác có khả tăng cƣờng hiệu suất cho phản ứng nhiệt độ tƣơng đối thấp Các loại xúc tác axit đồng thể xúc tác dị thể (xúc tác rắn đƣợc sử dụng [36] Ƣu điểm việc sử dụng xúc tác đồng ... 0,322 155,0 Loại xúc tác Đƣờng kính Thực tế nghiên cứu rằng, tâm hoạt tính xúc tác Na/NaOH/ ɤ- Al2O3 mạnh ba dạng xúc tác Nếu xúc tác có 20% NaOH có hoạt tính cao Với hệ xúc tác này, hiệu suất...

67
531
1

Điều chế xúc tác bằng phương pháp vi nhũ và những ứng dụng

Ngày tải lên : 08/05/2014, 12:44

... tới ngày để điều chế xúc tác kim loại kĩ thuật tẩm Với phương pháp này, tạo hạt kim loại nhỏ khó để phân bố vào hạt có kích thước nhỏ Dùng phương pháp tẩm, dạng chất mang xúc tác có ảnh hưởng tới ... CaTiO3) tạo thành cơng phương pháp Những ví dụ khác nêu báo cho thấy lĩnh vực rộng rãi việc ứng dụng phương pháp xúc tác Cần nhấn mạnh báo có ý định thảo luận xác định với hệ xúc tác điều chế phương ... trở thành thực III Những ứng dụng xúc tác III.1 Xúc tác hiđro hóa, hiđro phân isome hóa III.2 Xúc tác oxi hóa Oxi hóa xúc tác kĩ thuật triển vọng cho lượng điện giảm ô nhiễm ngày quan tâm năm...

11
498
0

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 11:20

... dụng để làm màng điện cực suốt cho thí nghiệm chế tạo linh kiện điện sắc, pin mặt trời 4.KẾT LUẬN Công trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ... trình [1,4], q trình phún xạ tạo màng, áp suất hỗn hợp khí làm việc Ar+O2 cần mức cao khoảng 10-2 torr để tránh ứng suất nén phá hỏng màng Các thông số tạo màng phương pháp phún xạ magnetron phản ... vùng cấm màng thu từ phương pháp tính vào khoảng 3,4eV ÷ 3,8eV Dựa vào cực trị giao thoa kết đo độ dày thiết bị đo STYLUS chiết suất màng vùng bước sóng 550nm xác định phương pháp Swanepoel khoảng...

6
802
1

Điều chế xúc tác bằng phương pháp vi nhũ và những ứng dụng doc

Ngày tải lên : 28/06/2014, 10:20

... tới ngày để điều chế xúc tác kim loại kĩ thuật tẩm Với phương pháp này, tạo hạt kim loại nhỏ khó để phân bố vào hạt có kích thước nhỏ Dùng phương pháp tẩm, dạng chất mang xúc tác có ảnh hưởng tới ... CaTiO3) tạo thành công phương pháp Những ví dụ khác nêu báo cho thấy lĩnh vực rộng rãi việc ứng dụng phương pháp xúc tác Cần nhấn mạnh báo có ý định thảo luận xác định với hệ xúc tác điều chế phương ... phản ứng cháy có xúc tác metan Bài báo giới hạn thuật ngữ vi nhũ việc nhấn mạnh vào tính chất thiết yếu việc điều chế xúc tác dị thể theo mô tả tổng quát cách điều chế vật liệu xúc tác từ vi nhũ...

4
462
0

đồ án kỹ thuật vật liệu xây dựng Chế tạo màng mỏng ZnO; ZnO Co bằng phương pháp phun điện và nghiên cứu cấu trúc, một số tính chất của chúng

Ngày tải lên : 13/05/2015, 09:19

... phương pháp vật lý nhúm cỏc phương pháp hoỏ học Các phương pháp vật lý bao gồm: phún xạ catốt (phún xạ chiều), phún xạ cao tần, phún xạ phản ứng với bia, phương pháp bốc bay nhiệt, phương pháp ... luận tốt nghiệp Trường ĐHSP Hà Nội Các phương pháp hoỏ học: phương pháp sol-gel, phương pháp nhỳng kộo, phương pháp phun tĩnh điện, phương pháp lắng đọng điện húa… Với ưu điểm: dễ áp dụng, giá ... lược số phương pháp chế tạo màng thông dụng: 1.3.1 Phương pháp sol-gel Phương pháp sol-gel phương pháp hoá học dùng để chế tạo màng mỏng dựa pha trộn chất dạng dung dịch lỏng Phương pháp cho...

44
559
0

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 25/05/2015, 23:10

... ZnO:In Bia gốm trước phún xạ Bia gốm sau phún xạ CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In, N) 3.2 Hệ phún xạ tạo màng Sử dụng hệ magnetron không cân bằng: - Tăng thông lượng ion điện tử đến đế - Tăng ... nghiên cứu chế tạo bán dẫn ZnO-p Dẫn điện loại p với điện trở suất thấp Dẫn điện loại p với điện trở suất cao Dẫn điện loại n, loại p với điện trở suất cao Dẫn điện loại n với điện trở suất tốt ... CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In,N) Quy trình chế tạo mạng ZnO:(In, N) Chế tạo bia gốm ZnO ZnO:In Chọn hệ phún xạ Xử lý đế Bố trí bia đế Ảnh hưởng N2/(N2 + Ar) Ảnh hưởng nhiệt độ đế Phún xạ tạo màng...

52
1.4K
0

Chế tạo màng zno pha tạp al, ga bằng phương pháp phún xạ ứng dụng làm điện cực trong suốt dẫn điện

Ngày tải lên : 15/07/2017, 23:16

... màng mỏng Do phương pháp phún xạ dựa nguyên lý tạo plasma ñể chế tạo màng mỏng nên phương pháp tạo màng mỏng laser gọi phún xạ laser Tuy nhiên, nguyên lý tạo plasma phương pháp phún xạ thơng thường ... PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MÀNG AGZO Như trình bày chương I, ñể chế tạo màng mỏng AGZO thực nhiều phương pháp phún xạ laser, phún xạ catốt, bốc bay chùm iôn, phương pháp solgen, phương pháp ... II.1.1 Phương pháp phún xạ laser 33 II.1.2 Phương pháp bốc bay chùm iôn 34 II.1.3 Phương pháp epitaxy chùm phân tử 35 II.1.4 Phương pháp phún xạ .37 II.1.4.1 Phún xạ cao...

84
136
0

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 13:20

... hưởng nhiệt độ đế nhiệt độ ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạo màng ZnO-Ga có điều kiện tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: nhiệt độ phòng, ... màng có điện trở suất (~ 4.6 x 10-4 Ωcm) cường độ đỉnh (002) tương đương (chứng tỏ hạt ngưng tụ phương pháp phún xạ magnetron có lượng cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần không phụ thuộc vào nhiệt ... đổi điện trở theo nhiệt độ xử lí mơi trường khơng khí ZnO-Al (đường cong số 4) [1] TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH&CN, TẬP 10, SỐ 03 - 2007 KẾT LUẬN Màng ZnO-Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện...

5
415
0

Chế tạo màng điện sắc oxit vonfram bằng phương pháp phún xạ phản ứng magetron dc từ bia kim loại w

Ngày tải lên : 08/10/2014, 17:39

... trư ng khí ph n ng), phương pháp giúp d dàng ñ t ñư c thành ph n hóa h c khác ch b ng cách thay ñ i t l h n h p khí ph n ng Tương t v y phương pháp phún x có ưu th Phương pháp phún x s đư c trình ... trình bày chi ti t ph n sau T o màng b ng phương pháp hóa h c (CVD): hai phương pháp ch y u sol – gel, phương pháp phun phân h y (pyrolysis) Trong phương pháp t o màng hóa h c, ñ ñư c ph màng b ... màng ñư c ch t o b ng phương pháp phún x , nhi t ñ tinh th hóa n m kho ng 350 – 380 oC [12] m t vài trư ng h p có th th p [13] ð i v i màng vơ đ nh hình đư c ch t o b ng phương pháp b c bay, nhi...

91
536
1

Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO Al và màng mỏng ZnO Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton

Ngày tải lên : 19/03/2015, 09:22

... Các phương pháp thực nghiệm: Chê tạo m ẫu: M àng m ỏng Z nO pha tạp AI M n ch ế tạo từ phương pháp phún xạ R.F M agnetron từ bia gốm ZnO :A l ZnO :M n Bia gốm Z n O :M n ZnO: AI c h ế tạo phương ... chất điện bán dẫn Z n O 17 1.6- ứng dụng Z n O 18 Chương II: Các phương pháp chế tạo màng bán dẫn Z n O .19 2.1- Phương pháp phún xạ catốt 19 2.1.1- Cấu tạo ... ômic với m àng Z n O :A l tạo phương pháp bốc bay nhiệt chân không cực dẫn dán keo hổ bạc màng ZnO :A l hình 2.14 Điện trở m ặt m àng đo từ hai cực tiếp xúc ôm ic nhôm Điện dùng n g uồ n không...

50
623
0

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:39

... CHƯƠNG 3: PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương pháp tạo màng mỏng đế rắn, phương pháp có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phương pháp là: Các phương pháp tạo ... học (CVD, sol-gel ….) phương pháp tạo màng vật lý (bay hơi, phún xạ xung laser ….) Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp phún xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử dụng ... động chọn thời gian phún xạ phù hợp 3.2 Phún xạ magnetron phẳng 3.2.1 Ưu điểm phương pháp phún xạ magnetron phẳng Phương pháp phún xạ magnetron có ưu điểm như: nhiệt độ đế thấp, tạo màng nhiệt độ...

106
1.7K
1

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:52

... CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phún xạ ... Nam giới Màng ZnO chế tạo nhiều phương pháp khác nhau, phương pháp phổ biến nước ta phương pháp phún xạ magnetron DC RF Đây phương pháp giúp nhà khoa học nghiên cứu chế tạo các loại vật liệu ... chất chất pha tạp, nên phương pháp tạo màng với thơng số riêng cho màng tính chất khác Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp phún xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử...

72
1.6K
0

PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 27/05/2015, 22:29

... chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không làm cho vật liệu bị bay đốt nóng mà thực chất q trình phún xạ ... tốt  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc bay chân không phương pháp tạo màng lắng đọng vật ... khí sạch, khí trơ, khí phản ứng ) • Nồng độ ion cho vào buồng phún xạ • Năng lượng tới ion ( điện cấp vào hai điện cực) • Góc tạo hạt phún xạ tới bia • Bản chất bia • Khoảng cách bia với đế Câu...

15
2.4K
2

Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

Ngày tải lên : 15/08/2015, 11:08

... lệ dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực ... tinh khiết 99.99%, đường kính 2in áp vào nguồn DC 100W Đế áp điện -150V Khoảng cách đế bia 100mm Áp suất 2.7*10-4 Pa, Áp suất làm việc 2.7*10-4 Pa Thời gian phún xạ 40 phút Độ dày màng từ 50-200nm ... magneton trực tiếp nhiệt độ phòng với tỉ lệ dòng oxy đưa vào khoảng 3-15% FO FO % = × 100% ( FO2 + FAr ) Sau đem ủ nhiệt 350-750oC Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu...

16
379
0