phương pháp chế tạo màng mỏng

... Deposition Phƣơng Pháp Chế Tạo Màng Mỏng 32 Dụng cụ giữ, thay đổi bia và shutter Chứa đƣợc tối đa 6 bia khác nhau | Pulse Laser Deposition Phƣơng Pháp Chế Tạo Màng Mỏng (Susbtrate... ... Spherical Lens 25 | Pulse Laser Deposition Phƣơng Pháp Chế Tạo Màng Mỏng spherical... Deposition Phƣơng Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Trong hệ PLD, sự liên quan giữa vị trí đặt bia ... làm bia mà trình tập hợp chế nhƣng chế nhiệt chế , tức bia bị đốt nóng dẫn đến nóng | Pulse Laser Deposition 47 Phƣơng Pháp Chế Tạo Màng Mỏng chảy hình thành lớp chất lỏng mỏng bề mặt phạm vi tác

Ngày tải lên: 13/03/2016, 18:29

... Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng (Susbtrate... phòng thí nghiệm 4 | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng IV CƠ CHẾ CHÍNH TRONG VIỆC PHỦ MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP ... ít phổ biến hơn khi phủ màng đa lớp 4 | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng 4 | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Dụng cụ giữ, thay ... năng trong phương pháp phủ màng nhiệt bốc bay hay phương pháp phủ màng sử dụng các ion dương bắn phá truyền... Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng spherical

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:34

... CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG SPUTTERING - DC sputtering - RF sputtering - Magneton sputtering BỐC BAY LASER ... lớn + Tạo được màng siêu mỏng, siêu cứng, chất lượng cao + Dùng nhiều bia để tạo màng đa lớp NHƯỢC ĐIỂM: + Có thể xuất hiện các phân tử lớn + khó kiểm soát được chính xác độ dày + bề mặt màng ... mọc màng thông qua phổ nhiễu xạ điện tử được ghi trực tiếp ) + Tốc độ phát triển màng 1 /m h µ [...]... ĐIỂM: + Tốc độ mọc màng được khống chế chính xác đến từng lớp nguyên tử + Tạo màng

Ngày tải lên: 28/06/2014, 16:20

... BÀY: I. GIỚI THIỆU II.PHÂN LOẠI III.PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO IV.PHƯƠNG PHÁP ĐO LƯỜNG VÀ ỨNG DỤNG I. GIỚI THIỆU Màng mỏng là một hay nhiều lớp vật liệu được chế tạo sao cho chiều dày nhỏ hơn rất nhiều ... chiều còn lại . Khái niệm " ;mỏng& quot; trong màng mỏng rất đa dạng, có thể chỉ từ vài lớp nguyên tử, đến vài nanomet, hay hàng micromet. Khi chiều dày của màng mỏng đủ nhỏ so với quãng đường ... hưởng rất lớn đến tính chất từ, nhưng khi chế tạo ở các màng đủ mỏng, dị hướng từ tinh thể có thể biến mất mà thay vào đó là dị hướng từ bề mặt. Màng vật liệu từ tính có trạng thái vật lý ở

Ngày tải lên: 27/07/2014, 23:20

... Hùng HVTH: Phan Trung Vĩnh QUANG HỌC ỨNG DỤNG Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) CÁC PHƢƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Physical Vapor Deposition Chemical Vapor ... T đế ≈ 900 – 1200 0 C Phương pháp bốc bay chân không Phương pháp phún xạ  HAI PHƢƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN 1. Phƣơng pháp bốc bay chân không (Evaporation) Phương pháp bốc bay trực tiếp ... phủ màng trên những đế tinh vi 1.2 Phương pháp bốc bay gián tiếp Phương pháp bốc bay trực tiếp Hợp chất HIỆN TƯỢNG PHÂN LY Màng kh ng tinh khiết / bị biến chất KP: Phương pháp.

Ngày tải lên: 27/05/2015, 15:36

... không thể tạo các màng quá mỏng, khả năng khống chế chiều dày của phương pháp này rất kém do tốc độ bốc bay khó điều khiển. Đồng thời, rất khó khăn khi chế tạo các màng đa lớp bằng phương pháp này. ... đọng chùm laser  Phương pháp sol-gel 2 Một số phương pháp chính thường dùng để chế tạo màng mỏng từ là:  Epitaxy chùm phân tử (MBE)  Bốc bay nhiệt trong chân không  Phương pháp phún xạ  Lắng ... 1 III - PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀ NG MỎNG TỪ TÍNH: Thông thường, các màng mỏng để có thể sử dụng đều được chế tạo trên các lớp đế, là các khối vật liệu đơn

Ngày tải lên: 27/07/2014, 23:20

... CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG HÓA HỌC HV: Trần Thị Thanh Thủy CHK18 [...]... Kĩ thuật PLD lần đầu tiên sử dụng để phủ màng siêu dẫn YBa2Cu3O7 Kể từ đó nhiều vật liệu khó phủ bằng những phương ... bằng những phương pháp bình thường , đặc biệt là những hợp chất gồm nhiều loại oxit khác nhau đã được phủ thành công bởi phương pháp này Phương pháp này dùng để phủ những màng nhạy PH như ... quay mẫu sau khi phủ để tăng độ dồng đều của độ dày màng mỏng KĨ THUẬT PHỦ QUAY MẪU Phương pháp này sử dụng lực quay li tâm để phủ màng, màng có độ đồng đều cao nhờ lực li tâm cân bằng

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... Phương pháp Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) ngưng tụ hóa học (CVD) CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO ... → Màng → Hợp chất → Màng T đế < 500 0 C T đế ≈ 900 – 1200 0 C Phương pháp Phương pháp bốc bay chân không bốc bay chân không Phương pháp Phương pháp phún xạ phún xạ   HAI PHƯƠNG PHÁP ... PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN 1. Phương pháp bốc bay 1. Phương pháp bốc bay chân không (Evaporation) chân không (Evaporation) Phương pháp Phương pháp bốc bay trực tiếp bốc

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG HÓA HỌC HV: Trần Thị Thanh Thủy CHK18 CÁC LOẠI MÀNG HÓA  Màng nhạy khí/lỏng: Al2O3,Ta2O5, Si3N4-> màng nhạy pH ZnO:Ga, SnO2:Sb -> nhạy hơi cồn…  Màng ... bởi phương pháp này Phương pháp này dùng để phủ những màng nhạy... màng bằng cách điều chỉnh tốc độ slot-tube h = k (d v ) a XỬ LÍ NHIỆT CHO MÀNG -Trong quá trình tạo màng khâu xử ... sản xuất ra những màng mỏng bằng cách sử dụng kĩ thuật này 1987 – PLD đã thành công trong việc chế tạo những màng mỏng siêu dẫn nhiệt độ Cuối thập niên 80... cao PHƯƠNG PHÁP CCVD ( Combustion

Ngày tải lên: 03/11/2014, 17:56

... vật liệu ban đầu Bên cạnh phương pháp cịn nhiều ứng dụng việc tạo màng bảo vệ, màng có tính chất quang học, tạo màng chống phản xạ, nhớ quang, màng đa lớp tạo vi điện tử, tạo kính giao thoa… Đó ... :Thời gian hình thành Sol-Gel Hình : Phương pháp Sol-gel số sản phẩm Các nhóm sản phẩm từ phương pháp sol-gel, mơ tả hình bao gồm: - Màng mỏng: chế tạo màng mỏng có cấu trúc đồng với nhiều ứng ... khơng khí 5000C ,1 Ủ nhiệt chân khơng 5000C ,1 Màng ZnO:AL Hình 2.6 : Sơ đồ chế tạo màng ZnO:Al phương pháp Sol-Gel Các thiết bị để tạo màng theo phương pháp bao gồm: hệ khuấy dung dịch, hệ tráng

Ngày tải lên: 03/10/2020, 17:02

... CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG HÓA HỌC HV: Trần Thị Thanh Thủy CHK18 CÁC LOẠI MÀNG HÓA    Màng nhạy khí/lỏng: Al2O3,Ta2O5, Si3N4-> màng nhạy pH ZnO:Ga, SnO2:Sb -> nhạy cồn… Màng chống ... cách sử dụng kĩ thuật 1987 – PLD thành công việc chế tạo màng mỏng siêu dẫn nhiệt độ Cuối thập niên 80 – PLD kĩ thuật tiếng việc chế tạo màng mỏng ý đến nhiều 1990’s – phát triển nhanh chóng ... gồm nhiều loại oxit khác phủ thành công phương pháp Phương pháp dùng để phủ màng nhạy PH Al2O3, Ta2O5, loại màng chống oxi hóa ăn mịn… Loại Sensor pH pH pH Màng Sensor Al2O3 Si3N4 Ta2O5 Khoảng đo

Ngày tải lên: 19/04/2022, 07:51

... màng tăng lên Phương pháp Zeman [23,24] dựa vào đặc điểm này để đánh giá khả năng quang xúc tác của màng 2.5.1 Phương pháp Zeman [23,24] Trong phương pháp này, màng mỏng ... (IBAD), Tuy nhiên, các phương pháp như Sol-gel, CVD có thiết bị đơn giản dễ, chế tạo nhưng lượng N pha tạp... 33 HV: Đinh Cơng Trường Chương 4 CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON ... TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHƠNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 được tạo bởi hệ chân không B302(hình 4.1) đặt tại phòng Vật Lý

Ngày tải lên: 09/10/2014, 21:19

... và phong phú Có hai nhóm phương pháp chế tạo màng mỏng chủ yếu: Nhúm cỏc phương pháp vật lý và nhúm cỏc phương pháp hoỏ học Các phương pháp vật lý bao gồm: phún ... bia, phương pháp bốc bay nhiệt, phương pháp bay hơi chùm tia điện tử, phương pháp lắng đọng bằng xung laze… Ưu điểm của phương pháp vật lý là chế tạo được màng mỏng ... chế tạo, chất lượng màng tạo ra không đồng đều Dưới đây, em trình bày sơ lược một số phương pháp chế tạo màng thông dụng: 1.3.1 Phương pháp sol-gel Phương pháp sol-gel

Ngày tải lên: 13/05/2015, 09:19

... chế tạo nó dưới dạng màng mỏng Morales và cộng sự đã chế tạo màng mỏng LLTO bằng phương pháp phún xạ xoay chiều (rf) [31] Fu đã chế tạo màng mỏng LLTO bằng phương ... chế tạo mảng mỏng LLTO bằng kĩ thuật bốc bay chùm tia điện tử để Chương 2 THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO MẪU • •• VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỦtJ 2.1 Phương pháp chế tạo mẫu 2.1.1 Phương ... biệt, Công nghệ chế tạo màng mỏng vô cùng đa dạng và phong phú, bao gồm nhiều phương pháp khác nhau, từ đơn giản đến phức tạp Các phương pháp chế tạo màng mỏng được sử

Ngày tải lên: 17/06/2015, 14:26

... help your business! Let’s talk! Chế tạo màng mỏng phương pháp phún xạ Giảng viên hướng dẫn : TS Đặng Đình Long Các phương pháp chế tạo màng mỏng Nội dung ◉Cơ chế phún xạ ◉Hiệu suất phún xạ ◉Định ... Trong đó: In số hạt nằm phương pháp tuyến với mẫu đơn vị thời gian Ii số hạt nằm phương hợp với phương pháp tuyến góc Ɵ Định luật phân bố cosin Ưu nhược điểm phương pháp phún xạ Ưu điểm 1, 2, ... trên phương pháp tuyến với mẫu trong 1 đơn vị thời gian Ii là số hạt nằm trên phương hợp với phương pháp tuyến 1 góc Ɵ Định luật phân bố cosin Ưu và nhược điểm của phương pháp

Ngày tải lên: 14/03/2016, 14:33

... La(2/3)-xLi3xTiO3 17 1.2.3 Cơ chế dẫn ion liti 18 1.2.4 Màng mỏng LLTO 21 Chương 2: THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO MẪU VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 23 2.1 Phương pháp chế tạo mẫu 23 2.1.1 Phương pháp chế tạo vật liệu khối ... pháp chế tạo vật liệu khối 23 2.1.2 Các phương pháp chế tạo màng mỏng 23 2.2 Các phương pháp nghiên cứu 26 2.2.1 Phương pháp nhiễu xạ tia X 26 2.2.2 Phương pháp hiển vi điện tử quét (FE-SEM) 26 ... nghệ chế tạo tính chất đặc trưng vật liệu dẫn ion liti LLTO dạng màng mỏng Phương pháp nghiên cứu Phương pháp nghiên cứu sử dụng chủ đạo thực nghiệm - Các mẫu vật liệu khối chế tạo phương pháp

Ngày tải lên: 23/11/2016, 20:52

... 2.2 Chế tạo màng mỏng phương pháp dung dịch 2.2.1 Nguyên lý chế tạo phương pháp dung dịch 2.2.2 Chế tạo màng mỏng ZnO phương pháp dung dịch a Chuẩn bị b Quy trình chế tạo 2.2.3 Chế tạo màng mỏng ... quang 1.5 Các phương pháp chế tạo màng mỏng BLT màng mỏng ZnO Có nhiều phương pháp vật lý phương pháp hóa học để chế tạo màng mỏng sắt điện BLT ZnO Các phương pháp vật lý phương pháp lắng đọng ... nhiệt độ phòng Có hai phương pháp để chế tạo màng mỏng ZnO phương pháp vật lý phương pháp hóa học Ở nghiên cứu này, phương pháp dung dịch lựa chọn để chế tạo màng mỏng Đây phương pháp đơn giản, dễ

Ngày tải lên: 14/09/2017, 22:11

... vài phương pháp chế tạo màng mỏng - Các bước chế tạo màng mỏng phún xạ rf - Chế tạo màng mỏng TiO2 phún xạ rf Phạm vi nghiên cứu Phương pháp phún xạ magnetron rf: ưu điểm, nhược điểm phương pháp ... phún xạ rf phương pháp sử dụng phổ biến công nghệ chế tạo màng mỏng bán dẫn có nhiều ưu điểm Mục đích chọn đề tài - Tìm hiểu phương pháp phún xạ - Cơng nghệ chế tạo màng mỏng phương pháp phún ... em chọn ? ?Phương pháp phún xạ magnetron rf ứng dụng công nghệ chế tạo màng mỏng bán dẫn” làm đề tài nghiên cứu Trong trình nghiên cứu, em chủ yếu tập trung vào phương pháp chế tạo màng mỏng bán

Ngày tải lên: 19/02/2018, 04:55

... sĩ, “Nghiên cứu chế tạo màng ZnO phương pháp CVD_lắng đọng pha hơi” [2] Nguyễn Mạnh Hùng, “Tổng hợp ứng dụng phức chất có khả thăng hoa để chế tạo màng mỏng oxit kim loại phương pháp CVD”, Luận ... (spin coating) ứng dụng tạo màng 14 Hình 1.6 Mơ tả q trình tạo màng phương pháp sol-gel 14 Hình 1.7 Sơ đồ cấu tạo pin mặt trời sử dụng màng mỏng ZnO 16 Hình 1.8 Sơ đồ cấu tạo cảm biến khí ZnO ... ĐINH THỊ CHÂM ĐINH THỊ CHÂM NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG ZnO NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG ZnO NHIỆT ĐỘ THẤP BẰNG PHƢƠNG PHÁP NHIỆT ĐỘ THẤP BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHỦ QUAY PHỦ QUAY KHÓA LUẬN LUẬN TỐT

Ngày tải lên: 17/08/2018, 14:20

... PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF TRONG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG GVHD: PGS TS Lê Văn Hiếu Học viên: Phùng Nguyễn Thái Hằng NỘI DUNG: I PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ I.1 Phún xạ ? I.2 ... Trang,Khóa Luận tốt nghiệp [6] Lê Vũ Tuấn Hùng,Nguyễn Văn Đến,Huỳnh Thành Đạt,Nghiên cứu chế tạo màng mỏng TiO2 phương pháp phún xạ Magnetron RF,Tạp chí phát triển KH&CN ,tập 9,số 6/2006 • Một số trang ... lượng màng tốt TÀI LIỆU THAM KHẢO Một số sách luận văn: [1] Trần Định Tường, Màng mỏng quang học,NXBKHKT Hà Nội,2004 [2] Võ Thị Kim Chung,Luận văn Thạc sĩ Khoa Học Tự Nhiên, Tổng hợp màng mỏng

Ngày tải lên: 15/01/2020, 11:26