chế tạo màng đa lớp bằng phương pháp phún xạ ca tốt

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 10:20
... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62 Kỹ thuật FCVA (Filtered Cathodic ... No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại mơi trường hỗn hợp...
  • 11
  • 791
  • 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

Ngày tải lên : 22/07/2014, 10:21
... LUẬN Màng tạo phương pháp phún xạ magnetron rf suốt, có độ truyền qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màng tạo phương pháp phún xạ dc Cấu trúc màng phần lớn đa tinh ... dc, ta nhận thấy màng tạo phương pháp dc tồn dạng vô định nhiều Rms thấp Hình 7.Ảnh AFM màng TiO2 : a/ tạo phương pháp phún xạ dc – nhiệt độ đế 2700C; b/ tạp phương pháp phún xạ rf – nhiệt độ ... truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương cao khoảng...
  • 7
  • 692
  • 2
CHẾ TẠO MÀNG OXIT VONFRAM BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON

CHẾ TẠO MÀNG OXIT VONFRAM BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON

Ngày tải lên : 09/09/2016, 04:57
... phủ lớp điện cực suốt ITO (Indium Tin Oxide) Khoảng cách đế bia phún xạ giữ ổn định cm lúc phóng điện phún xạ tạo màng (hình 2.7) Đối với bia phún xạ loại bia gốm WO3 không dẫn điện để phún xạ tạo ... suất nhỏ trước có kết xác 2.3.3 Một số định hướng kỹ thuật phún xạ tạo màng Trong luận án này, màng oxit Vonfram chế tạo phương pháp phún xạ magnetron phẳng hỗn hợp khí Argon - Oxy đế thủy tinh ... XRD Hiện tượng màng oxit Vonfram kết tinh sau ủ nhiệt từ trạng thái vô định hình sử dụng màng chế tạo số phương pháp khác [52] Đối với màng chế tạo đế thủy tinh điều kiện thiếu Oxy (màng có màu...
  • 26
  • 205
  • 0
Khảo sát chế tạo màng mỏng zno bằng phương pháp sol gel định hướng ứng dụng trong bộ nhớ sắt điện

Khảo sát chế tạo màng mỏng zno bằng phương pháp sol gel định hướng ứng dụng trong bộ nhớ sắt điện

Ngày tải lên : 14/09/2017, 22:11
... phút 2.2 Chế tạo màng mỏng phương pháp dung dịch 2.2.1 Nguyên lý chế tạo phương pháp dung dịch 2.2.2 Chế tạo màng mỏng ZnO phương pháp dung dịch a Chuẩn bị b Quy trình chế tạo 2.2.3 Chế tạo màng ... quang 1.5 Các phương pháp chế tạo màng mỏng BLT màng mỏng ZnO Có nhiều phương pháp vật lý phương pháp hóa học để chế tạo màng mỏng sắt điện BLT ZnO Các phương pháp vật lý phương pháp lắng đọng ... nhiệt độ phòng Có hai phương pháp để chế tạo màng mỏng ZnO phương pháp vật lý phương pháp hóa học Ở nghiên cứu này, phương pháp dung dịch lựa chọn để chế tạo màng mỏng Đây phương pháp đơn giản, dễ...
  • 24
  • 561
  • 0
Xây dựng hệ tạo màng bán dẫn bằng phương pháp phun tĩnh điện   đề tài NCKH  QT 01 02 pdf

Xây dựng hệ tạo màng bán dẫn bằng phương pháp phun tĩnh điện đề tài NCKH QT 01 02 pdf

Ngày tải lên : 18/12/2015, 18:13
... the cua màng ZnO + Tínli chất quang cùa màng ZnO Các kết đạt Hoàn thành ihiêl kê chê tạo hệ phun lình diện cao áp - Chè lạo màng ZnO Nghicn cứu mộl sò lính chái I I lie cua màng lướng đan luận ... hộ chc lạo vật liệu băng phương pháp plum lĩnh điện - Chê tạo vật liệu màng mong bán dẫn, diện môi N g h i ê n c ứ u m ộ t sơ t ín h clìâl VỘI lý cìm v;)t liệu c h ê tạo 1.2 Nội (lung - Tliiếl ... plurơntỊ pháp phun linh điện cao áp đê chê tạo vậl liệu bán dẫn điện mòi L;il ráp khơng ché nhiệt dỏ Cliố lạo màng ZnO ZnO : E l , ZnO : In Nghiên cứu mội sô ván dế cua vật liệu chè tạo: + Ch...
  • 6
  • 245
  • 0
Nghiên cứu chế tạo vàng nano chitosan bằng phương pháp chiếu xạ gamma co 60

Nghiên cứu chế tạo vàng nano chitosan bằng phương pháp chiếu xạ gamma co 60

Ngày tải lên : 28/02/2016, 20:47
... 1.1.1 Chế tạo vàng nano phương pháp hóa học 1.1.2 Chế tạo vàng nano phương pháp sinh học 1.1.3 Chế tạo vàng nano phương pháp bay vật lý 1.1.4 Chế tạo vàng nano phương pháp nghiền ... 1.1.5 Chế tạo vàng nano phương pháp ăn mòn laser 1.1.6 Chế tạo vàng nano phương pháp phân hủy nhiệt 1.1.7 Chế tạo vàng nano phương pháp điện hóa 1.1.8 Chế tạo vàng nano phương pháp ... 1.1.9 Chế tạo vàng nano phương pháp điện phân kết hợp siêu âm 11 1.1.10 Chế tạo vàng nano phương pháp quang hóa 12 1.1.11 Chế tạo vàng nano phương pháp xạ vi sóng điện từ 13 1.1.12 Chế tạo...
  • 174
  • 648
  • 2
Báo cáo khoa học: Tổng hợp màng cứng CrN bằng phương pháp phún xạ mạ ion (SIP) ppt

Báo cáo khoa học: Tổng hợp màng cứng CrN bằng phương pháp phún xạ mạ ion (SIP) ppt

Ngày tải lên : 27/06/2014, 11:20
... trưởng màng, bề mặt màng bị bắn phá liên tục ion lượng cao, việc tăng trưởng màng, thân màng vừa thành lập bị tái phún xạ Lúc này, tốc độ tái phún xạ lớn tốc độ ngưng tụ màng Do đó, độ dày màng ... thích trên, độ dày màng giảm dẫn đến cường độ chùm nhiễu xạ giảm Để khẳng định lại lập luận trên, tiến hành đo độ dày màng tạo khơng hiệu dịch màng tạo với hiệu dịch -60V, phương pháp với máy đo ... suất nén màng tăng Tuy nhiên, màng bị tái phún xạ hiệu dịch > -50V Độ bám dính màng có áp hiệu dịch tốt trường hợp khơng hiệu dịch Màng CrN tạo có độ bền hố học cao hai mơi trường giả SYNTHESIS...
  • 8
  • 649
  • 2
Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:39
... nhóm phương pháp là: Các phương pháp tạo màng hóa học (CVD, sol-gel ….) phương pháp tạo màng vật lý (bay hơi, phún xạ xung laser ….) Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp phún xạ magnetron ... điều kiển độ dày màng dễ dàng biết tốc độ lắng động chọn thời gian phún xạ phù hợp 3.2 Phún xạ magnetron phẳng 3.2.1 Ưu điểm phương pháp phún xạ magnetron phẳng Phương pháp phún xạ magnetron có ... đế thấp, tạo màng nhiệt độ phòng, độ bám dính màng đế tốt, vận tốc phủ màng cao, đồng cao độ dày màng, mật độ màng gần với mật độ khối, dễ dàng điều khiển độ lặp lại cao q trình chế tạo màng, có...
  • 106
  • 1.7K
  • 1
nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Ngày tải lên : 18/03/2013, 11:49
... N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phún xạ tạo màng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 ... sát tác giả B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng ... pha tạp N từ bia gốm Màng ZnO pha tạp N chế tạo phương pháp phún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phún xạ Và khí phún xạ khí hay hỗn hợp...
  • 7
  • 1.8K
  • 20
Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng tin bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC docx

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng tin bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC docx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 11:20
... màng TiN đế thủy tinh kiềm với mục đích nghiên tứu tích chất quang điện màng để ứng dụng làm màng phản xạ hệ màng đa lớp Vì vậy, cơng trình chúng tơi nghiên cứu, tìm điều kiện tối ưu để chế tạo ... thế, để tạo màng có điện trở suất thấp, cần tránh tạo màng có cấu trúc xốp vùng I (mơ hình Thornton) Nghĩa tránh tạo màng có nhiều biên hạt trống Muốn vậy, ta cần phải tạo màng theo chế nhiệt ... dày màng xác định phương pháp Stylus, điện trở mặt màng xác định phương pháp bốn mũi dò[4] Cấu trúc tinh thể kích thước hạt màng xác định dựa vào phổ nhiễu xạ tia X Chiết suất n hệ số tắt k màng...
  • 10
  • 676
  • 2
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 11:20
... phẩm màng ứng dụng để làm màng điện cực suốt cho thí nghiệm chế tạo linh kiện điện sắc, pin mặt trời 4.KẾT LUẬN Công trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron ... nén phá hỏng màng Các thông số tạo màng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng  (nm) 1000 Hình Phổ truyền qua màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ ... thấy màng lắng đọng nhiệt độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phương pháp phún...
  • 6
  • 802
  • 1
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

Ngày tải lên : 22/07/2014, 03:20
... cho thấy màng TiO2 chế tạo kỹ thuật phún xạ phản ứng DC magnetron không cân dễ thu cấu trúc đa tinh thể anatase với diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà khơng ... sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát mẫu có điều kiện phún xạ, khác cường độ dòng phún xạ, chúng tơi thấy dòng phún xạ mạnh, tính quang xúc tác cao Δabs năm mẫu từ G48 (0,40 A), G49 (0,45 A), G50 ... 0,230; 0,242; 0,258 0,300 Năm mẫu TiO2 đế kính ảnh có điều kiện phún xạ O2/Ar = 0.06, h = 4cm, p =13 mTorr Chế tạo màng với dòng phún xạ mạnh, phổ XRD phản ánh kích thước hạt lớn hơn.Kết AFM cho...
  • 8
  • 603
  • 0
Chế tạo màng điện sắc oxit vonfram bằng phương pháp phún xạ phản ứng magetron dc từ bia kim loại w

Chế tạo màng điện sắc oxit vonfram bằng phương pháp phún xạ phản ứng magetron dc từ bia kim loại w

Ngày tải lên : 08/10/2014, 17:39
... ng Tương t v y phương pháp phún x có ưu th Phương pháp phún x s đư c trình bày chi ti t ph n sau T o màng b ng phương pháp hóa h c (CVD): hai phương pháp ch y u sol – gel, phương pháp phun phân ... li u màng, s thay ñ i c a màu theo h p th c khơng m nh b ng Vì màng có đ d y nh nên tính h p th quang nh Trong trư ng h p màng oxit vonfram ñư c t o b ng phương pháp phún x , h p th c c a màng ... h p m u màng ñư c ch t o b ng phương pháp phún x , nhi t ñ tinh th hóa n m kho ng 350 – 380 oC [12] m t vài trư ng h p có th th p [13] ð i v i màng vơ đ nh hình đư c ch t o b ng phương pháp b...
  • 91
  • 536
  • 1
Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc

Ngày tải lên : 09/10/2014, 21:19
... Trường Có phương pháp phún xạ cathode phún xạ chiều (dc) phún xạ xoay chiều (rf) Phún xạ chiều kỹ thuật phún xạ sử dụng hiệu điện chiều để gia tốc cho iơn khí Bia vật liệu đặt điện cực âm (catốt) ... HV: Đinh Công Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHÔNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... ướt nước màng GVHD: GS.TS Nguyễn Hửu Chí TS Vũ Thị Hạnh Thu Luận văn thạc sĩ Vật Lý 25 HV: Đinh Công Trường Chương 3.1 PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ CATHODE Phún xạ (Sputtering) hay Phún xạ catốt (Cathode...
  • 67
  • 695
  • 0
Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO   Al và màng mỏng ZnO Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton

Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO Al và màng mỏng ZnO Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton

Ngày tải lên : 19/03/2015, 09:22
... Chương II: Các phương pháp chế tạo màng bán dẫn Z n O .19 2.1- Phương pháp phún xạ catốt 19 2.1.1- Cấu tạo 19 2.1.2- Hoạt động 19 2.13- Phương pháp sol- gel ... Các phương pháp thực nghiệm: Chê tạo m ẫu: M àng m ỏng Z nO pha tạp AI M n ch ế tạo từ phương pháp phún xạ R.F M agnetron từ bia gốm ZnO :A l ZnO :M n Bia gốm Z n O :M n ZnO: AI c h ế tạo phương ... BÁO C Ả O TÓM TẮT Để tài; CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHẤT CỦA MÀNG m ■ MỎNG ZnO:AI VÀ MÀNG MỎNG ZnO:Mn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETON M ã số: Q T - 03 - 05 Chủ trì...
  • 50
  • 623
  • 0
Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Ngày tải lên : 10/04/2015, 17:29
... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền ... lớp từ lý thuyết Fresnel Nghiên cứu chế tạo màng đa lớp TiO2/TiN/TiO2 Nghiên cứu chế tạo màng TiO2(ngoài)/ TiO2(đệm)/Ti/Ag/Ti/TiO2(trong) Nghiên cứu chế tạo màng TiO2(ngoài)/ TiO2(đệm)/TiN/Ag/TiN/TiO2(trong) ... cao bề mặt bia Va chạm kết thúc bia hay gây phún xạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phương pháp phún xạ Phương pháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng...
  • 60
  • 666
  • 1
Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:52
... lớn 90% bia gốm chúng tơi chế tạo tốt để sử dụng chế tạo màng Hình 3.7: Bia vừa chế tạo thành cơng Hình 3.8: Bia phún xạ 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ Hệ tạo màng phún xạ magnetron DC phòng thí ... màng mỏng chung Việt Nam giới Màng ZnO chế tạo nhiều phương pháp khác nhau, phương pháp phổ biến nước ta phương pháp phún xạ magnetron DC RF Đây phương pháp giúp nhà khoa học nghiên cứu chế tạo ... luận tốt nghiệp GVHD: TS Lê Vũ Tuấn Hùng CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ ...
  • 72
  • 1.6K
  • 0
NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT  ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP  PHÚN XẠ MAGNETRON DC

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 25/05/2015, 23:10
... CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In,N) Quy trình chế tạo mạng ZnO:(In, N) Chế tạo bia gốm ZnO ZnO:In Chọn hệ phún xạ Xử lý đế Bố trí bia đế Ảnh hưởng N2/(N2 + Ar) Ảnh hưởng nhiệt độ đế Phún xạ tạo màng ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO:In Chu trình nhiệt độ trình dung kết CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO:In Bia gốm trước phún xạ ... Bia gốm sau phún xạ CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In, N) 3.2 Hệ phún xạ tạo màng Sử dụng hệ magnetron không cân bằng: - Tăng thông lượng ion điện tử đến đế - Tăng lượng hạt đến đế Cấu tạo hệ magnetron...
  • 52
  • 1.4K
  • 0

Xem thêm