KÍNH HIỂN VI QUÉT ( SCANNING ELECTRON MICROSCOPE)

Kính Hiển Vi Điện Tử Qt (SEM) Nhóm: - Lớp: 124954 Kính hiển vi điện tử qt gì? Khái niệm kính hiển vi điện từ quét (SEM): Kính hiển vi điện tử qt (SEM) là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phâ n giải cao của  bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm điện tử  hẹp qt trên bề mặt mẫu Kính hiển vi điện tử qt SEM là một kỹ thuật kiểmtra, phân tích khơng phá hủy  Lịch sử hình thành phát triển Năm 1942 kính hiển viên điện tử quét phát triển Zworykin Năm1948,W. Oatley ở Đại học Cambridge  phát triển kính hiển vi điện tử qt trơ hình này và cơn g bố trong luận án tiến sĩ của D. McMullan với chùm điện tử hẹp có độ phân giải đến 500 Angstro m.  Từ năm 1940-1950: Những máy SEM giới thiệu trường đại học Công Nghệ Brno với tên thương hiệu Tesla Đến có nhiều hệ SEM tiên tiến đời với công nghệ vượt trội, hiệu cao,… áp dụng vào nghiên cứu khoa học nhiều nước giới Cấu tạo kính hiển vi điện tử quét Các phận Súng phóng điện tử (Nguồn phát điện tử)  Hệ thống các thấu kính từ   Bộ phận tín hiệu detector Buồng chân khơng chứa mẫu  Thiết bị hiển thị  Các bộ phận khác: Nguồn cấp điện, hệ thống chân không, hệ thống làm lạnh, bơm chống rung,hệ thống chống nhiễm từ trường điện trường Súng phóng điện từ Hệ thống chân khơng Là nguồn phát ra chùm điện tử trong SEM  Hoạt động trong khoảng 0 đến 30 Kv, có khi là 60 Kv tùy thuộc thiết bị  Điện tử phát ra từ súng phóng điện tử có hai kiểu phát xạ nhiệt điện tử  và phát xạ trường  Hệ thống thấu kính Hệ thống nhận tạo ảnh Gồm hệ thống thấu kính hội tụ để hội tụ chum điện tử bị phân kì thành điểm bề mặt chân không Detector thứ cấp Detector điện tử tán xa ngược Hệ thống thấu kính gồm kính hội tụ 1,2 vật kính Nguyên tắc hoạt động SEM tạo hình ảnh Electron thứ cấp phản xạ từ bề mặt mẫu chum song electron ban đầu đập vào Trong SEM, trùm eletron nhỏ đước quét ngang qua mẫu, đồng thời tín hiệu sinh thu nhận vầ hình ảnh hiển thị lại cách ánh xạ tín hiệu với vị trí song theo điểm Tín hiệu quan sát vị trí mẫu trùm electro đến Các tính SEM Quan sát bề mặt mẫu rắn độ Độ sâu trường quan sát lớn phóng đại khác nhiều so với kính hiển vi quang học, cho phép thu ảnh lập thể Kết hợp với đầu thu phổ tán xạ lượng tia X (EDX) cho phép phân tích thành phần nguyên tố vùng quan sát Ưu nhược điểm SEM H Ưu điểm I H I H I Phân tích mà khơng cần phá hủy mẫu vật, hoạt động chân không thấp Ngăn suất phân giải so với kính hiển vi điện tử khác H I H I Tại ảnh phương phát quét nên ảnh có chiều sâu chi tiết tốt Ảnh rù có chiều sâu quan sát đc bề mặt mẫu vật H I H I Có thể chụp nhiều kiểu mẫu việc thay đổi đầu thu H Mẫu quan sát phải đặt môi trường chân không chụp ảnh có mấu dẫn điện I H I Giá thành SEM rẻ nhiều so với loại kính hiển vi khác Nhược điểm Ứng dụng SEM Kính hiển vi điện tử quét ứng dụng nhiều lĩnh vực: Kiểm tra chất bán dẫn Ứng dụng SEM khoa học vật liệu Giúp nghiên cứu mà không cần phá hủy vật liệu Kĩ thuật pháp y Y học Nghệ thuật Cung cấp thơng tin hình ảnh cấu trúc thành phần vật liệu .. .Kính hiển vi điện tử qt gì? Khái niệm kính hiển vi điện từ qt (SEM): Kính? ?hiển? ?vi? ?điện tử qt (SEM) là một loại? ?kính? ?hiển? ?vi? ?điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phâ... bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm điện tử  hẹp qt trên bề mặt mẫu Kính? ?hiển? ?vi? ?điện tử qt SEM là một kỹ thuật kiểmtra, phân tích khơng phá hủy  Lịch sử hình thành phát triển Năm 1942 kính hiển vi? ?n điện tử quét phát triển Zworykin Năm1948,W. Oatley ở Đại học Cambridge  phát triển? ?kính? ?hiển? ?vi? ?điện tử qt trơ hình này và cơn... giới Cấu tạo kính hiển vi điện tử quét Các phận Súng phóng điện tử (Nguồn phát điện tử)  Hệ thống các thấu? ?kính? ?từ   Bộ phận tín hiệu detector Buồng chân khơng chứa mẫu  Thiết bị? ?hiển? ?thị  Các bộ phận khác: Nguồn cấp điện, hệ thống