VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 Original Article Fabrication of Microchannels by Using the CO2 Galvo Laser Marking Machine and Thermo-mechanical Sealing Method Ho Anh Tam*, Nguyen Viet Hung, Nguyen Huu Duc, Do Thi Huong Giang Key Laboratory for Micro-Nano Technology, VNU University of Engineering and Technology, 144 Xuan Thuy, Cau Giay, Hanoi, Vietnam Received 29 May 2019 Revised 08 June 2019; Accepted 10 June 2019 Abstract: Microchannel in microtechnology is a channel with a hydraulic diameter below mm Microchannels are primarily used in biomedical devices and microfluidic applications Fabrication of microchannels has always been a complex task even at the world centres of excellence This article addresses the fabrication techniques for creating microchannels using a 40W CO2 Galvo laser marking machine It was able to control the channel dimensions by changing the power, scanning speed, and scanning time of the laser source The results show that the created channel width increased as the laser power increased and the scanning speed decreased Similarly, the channel depth increased as the laser power increased Successfully tested in the laminar flow and droplet modes, the created microchannels were sealed using the thermo-mechanical method at 220oC This is a new method for faster and cheaper production of microdevices that could be explored for sustainable development in the industry The article concludes that with an appropriate solution, microchannels with minimal width and depth dimensions of 50 µm × 50 µm can be developed with channel roughness of 2-3µm Keywords: Microfluidics, microchannels, CO2 marking machine, Galvo, mechanical sealing method * * Corresponding author E-mail address: hoanhtam@vnu.edu.vn https://doi.org/10.25073/2588-1140/vnunst.4913 112 VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 Chế tạo kênh vi lưu sử dụng laze CO2 đầu lắc Galvo kết hợp với phương pháp ép kênh học Hồ Anh Tâm*, Nguyễn Việt Hùng, Nguyễn Hữu Đức, Đỗ Thị Hương Giang Phịng Thí nghiệm trọng điểm Micro Nano, Trường Đại học Công Nghệ, ĐHQGHN 144 Xuân Thủy, Cầu Giấy, Hà Nội Nhận ngày 29 tháng năm 2019 Chỉnh sửa ngày 08 tháng năm 2019; Chấp nhận đăng ngày 10 tháng năm 2019 Tóm tắt: Vi kênh công nghệ micrô kênh có đường kính thủy lực mm Vi kênh chủ yếu sử dụng thiết bị y sinh ứng dụng vi lưu Chế tạo vi kênh nhiệm vụ phức tạp trung tâm xuất sắc giới Bài báo đề cập đến kỹ thuật chế tạo để tạo vi kênh cách sử dụng máy Laze CO2 có đầu lắc Galvo cơng suất 40W Phương pháp điều khiển kích thước vi kênh cách thay đổi công suất, tốc độ quét, thời gian quét nguồn laze Kết cho thấy độ rộng kênh tạo tăng lên tăng công suất nguồn laze giảm tốc độ quét Tương tự, độ sâu kênh tăng cường với việc tăng cường công suất nguồn Với giải pháp phù hợp, chế tạo vi kênh có kích thước chiều rộng chiều sâu tối thiểu 50 àm ì 50 àm Trong trng hp ny, gồ ghề mặt kênh dẫn 2-3 µm Vi kênh đóng gói, hồn thiện phương pháp nhiệt 220 oC Chúng thử nghiệm thành công hai hiệu ứng chảy tầng tạo giọt Đây phương pháp để chế tạo thiết bị vi kênh nhanh rẻ Việc xây dựng thành cơng tối ưu hóa quy trình chế tạo kênh dẫn vi lưu sử dụng laze phương pháp đóng gói kênh đơn giản mở nhiều hướng cho phát triển công nghệ vi lưu vào thực tế Keywords: Kênh dẫn vi lưu, laze CO2, đầu lắc Galvo, ép kênh học Mở đầu exchangers), đặc biệt thiết bị y sinh ứng dụng vi lưu Khái niệm vi kênh đề xuất lần Tuckerman Pease Phịng thí nghiệm Điện tử Stanford [2] Việc phát triển thành công ứng dụng kênh dẫn vi lưu lĩnh vực y sinh bước tiến lớn giới đặc biệt chế tạo Vi kênh công nghệ vi mô kênh có đường kính thủy lực mm [1] Các vi kênh thường sử dụng kiểm soát chất lỏng (như kênh dẫn vi lưu - microfluidics) truyền nhiệt (như trao đổi nhiệt - micro heat Tác giả liên hệ Địa email: hoanhtam@vnu.edu.vn https://doi.org/10.25073/2588-1140/vnunst.4913 113 114 H.A Tam et al / VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 thiết bị xét nghiệm chỗ, cho phép thực xét nghiệm nhanh, kết xác với khả tái sử dụng Hơn thiết bị chế tạo với kích thước nhỏ gọn, dễ dàng trình vận hành Kênh dẫn vi lưu cấu phần quan trọng thiết bị y sinh, có khả tích hợp nhiều hệ thống thực nhiều chức thiết bị kích thước nhỏ lab-on-a-chip [3-4] Chế tạo vi kênh ln nhiệm vụ khó khăn sử dụng công nghệ sản xuất thông thường [5] Vật liệu chế tạo vi kênh loại ứng dụng khác sử dụng kim loại, polyme gốm Vật liệu sử dụng phổ biến vật liệu rắn có tính suốt khả tương thích sinh học cao Polymethylmethacrylate (PMMA) Polydimethylsiloxane (PDMS) Các vi kênh chế tạo phương pháp quy trình khác nhau, bao gồm kỹ thuật chế tạo truyền thống phi truyền thống phay, in nổi, in 3D, quang khắc, xử lý cắt laze xử lý plasma [5] Trong năm gần đây, số kỹ thuật lai phát triển để chế tạo vi kênh Mới đây, Salimpour đồng nghiệp đề xuất phương pháp hiệu để thiết kế vi kênh dựa cấu trúc dạng lớp (laminar) [6] Tuy nhiên, phương pháp laze (micromachining laser) phát triển công nghệ tiềm để chế tạo vi kênh Xử lý laze chứng minh hiệu độ thời gian [5] Nói chung, quy trình cơng nghệ chế vi kênh địi hỏi cơng nghệ chế tạo phức tạp chi phí lớn, thực chủ yếu phịng thí nghiệm cao cấp Các phương pháp chế tạo sử dụng đa số giới phương pháp quang khắc, in 3D, xử lý bề mặt với plasma phức tạp [7-8] Hơn nữa, giai đoạn đầu phát triển, hầu hết kết thiết kế chế tạo hệ thống vi lưu không công bố tài liệu mở mà được đăng ký cấp sáng chế [9] Trong nghiên cứu này, vi kênh chế tạo phương pháp khắc laze sử dụng laze CO2 kết với phương pháp ép kênh học Vết hội tụ laze bề mặt vật liệu có kích thước nhỏ cỡ micro-mét đảm bảo yêu cầu kỹ thuật cao [10] Đây phương pháp chế tạo đơn giản, có tính chủ động cao cơng nghệ chi phí thấp, có tiềm ứng dụng vào sản xuất Phương pháp thực nghiệm 2.1 Chuẩn bị vật liệu Vật liệu sử dụng chế tạo kênh dẫn vi lưu thủy tinh hữu PMMA (C5O2H8)n 99% (do hãng Sigma-Aldrich cung cấp) PDMS (C2H6OSi)n hai thành phần dạng keo làm chất (pre-polymer) chất đóng rắn (cross-link) (sản phẩm hãng Merck) Vật liệu PMMA ban đầu dạng rắn cắt nhỏ thành mẫu có kích thước 50 mm x 35 mm vệ sinh bề mặt axêtôn 22 g PDMS chuẩn bị cách trộn hai dạng keo thành phần lại với theo với tỷ lệ trộn chất nền/chất đóng rắn 10/1 độ dày mm Hai thành phần PDMS trộn vòng 15 phút sau đưa vào buồng hút chân khơng để loại bỏ hồn tồn bọt khí trình khuấy trộn Tiếp theo PDMS đem ủ nhiệt 70 oC Kết thúc trình, PDMS dạng rắn ổn định cắt thành mẫu có kích thước 50 mm × 35 mm, sau vệ sinh dung dịch axêtôn để đảm bảo vật liệu không nhiễm bụi bẩn 2.2 Phương pháp chế tạo vi kênh sử dụng hệ laze CO2 đầu lắc Galvo Laze CO2 sử dụng đầu lắc Galvo với hai động hoạt động theo nguyên lý ganvanô kế Hai động gắn với gương mạ vàng đặt vng góc Khi tín hiệu từ xử lý truyền vào hệ đầu quét, đầu quét nhận tín hiệu điện động hệ chuyển động theo tín hiệu nhận Hệ đầu quét Galvo cho phép quét tia laze với độ xác tốc độ quét tốt [11-12] Laze CO2 có bước sóng nằm vùng hồng ngoại 10.6 µm nên vết laze H.A Tam et al / VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 hội tụ bền mặt vật liệu tương tác chủ yếu tương tác nhiệt Khi quét bề mặt vật liệu tia laze tạo rãnh theo đường chúng rãnh tạo thành kênh vi lưu sau đóng kín Hệ laze thực nghiệm sử dụng ống phóng laze CO2 liên tục công suất 40 W, đầu quét Galvo Sino-Galvo cho tốc độ quét tối đa lên tới 7000 mm/s, phần mềm điều khiển Ezcad 2.7.6 cho phép điều khiển đặt thông số quan trọng công suất laze (%) tốc độ quét tia Sự thay đổi thông số công suất nguồn, tốc độ quét, số lần quét chế độ quét tia laze bề mặt vật liệu tạo thay đổi chất lượng (độ rộng, độ sâu độ mịn) kênh Các thông số thu thập phân tích để sử dụng việc kiểm sốt thơng số kênh 115 Kết thảo luận 3.1 Tác động laze bề mặt vật liệu hình thành vi kênh Hình minh họa ảnh chụp vệt hội tụ laze bề mặt vật liệu vận hành tốc độ cao công suất thấp Kết cho thấy tốc độ quét cao, vết nguồn laze CO2 hội tụ quét bề mặt vật liệu vệt laze gián đoạn (các vệt bên phải hình 1) cơng suất laze thấp Sự hình thành chất lượng vi kênh thực với điều chỉnh thích hợp thơng số qt Độ mịn hay độ gồ ghề bề mặt kênh bị tác động thông số laze đầu Thực tế, cụ thể phần sau, vệt hội tụ kết nối liên tục vi kênh bắt đầu hình thành (vệt bên trái hình 1) tốc độ quét thấp hoặc/và cơng suất cao (xem hình 3) 2.3 Khảo sát thơng số vi kênh Kính hiển vi Axio sử dụng để kiểm tra kích thước vi kênh Thang chia tích hợp sẵn kính hiển vi sử dụng để đo độ rộng cách đo từ xuống đo độ sâu cách đo từ mặt bên sang Vi kênh sau chế tạo nối với bơm trọng lực để bơm chất lỏng có độ nhớt khác nhằm kiểm tra hiệu ứng Bơm trọng lực có bình đựng dung dịch đặt cao bên kênh để dung dịch bình di chuyển ống dẫn qua kim truyền vào kênh 2.4 Đóng gói kênh kiểm tra chất lượng kênh Các phương pháp đóng gói hệ vi kênh sau chế tạo sử dụng phương pháp ép nhiệt với mẫu kênh gồm hai lớp vật liệu PMMA phương pháp ép kênh học vít mẫu kênh ba lớp dạng sandwich PMMA-PDMSPMMA Vi kênh sau tiến hành bơm dung dịch chất màu để kiểm tra tính chất hiệu ứng kênh ghi lại camera quang học Hình Ảnh chụp vệt hội tụ gián đoạn laze bề mặt vật liệu quét tốc độ cao công suất thấp 3.2 Độ rộng vi kênh Đặt chế độ làm việc với công suất laze cố định 100% cho tất lần quét (từ đến 10 lần), kết hình thành độ rộng vi kênh minh họa hình Từ đồ thị nhận xét sau: độ rộng vi kênh hình thành từ lần quét tăng nhanh vài lần quét Độ rộng kênh dần đạt đến giá trị ngưỡng (trong khoảng 100 – 300 µm) tiếp tục tăng số lần qt Điều giải thích kích thước vết laze hội tụ khơng đổi diện tích phần PMMA chịu tác động chùm laze có giới hạn, nên 116 H.A Tam et al / VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 kênh đạt đến độ rộng đó, chùm laze khơng cịn tác động tới lớp PMMA theo chiều mở rộng bề ngang kênh Thêm vào đó, cịn quan sát thấy giảm mạnh kích thước vi kênh tăng tốc độ quét Các hiệu ứng xảy tương tự thực vật liệu PDMS Sự phụ thuộc độ rộng vi kênh vào tốc độ quét trình bày hình Kết giảm độ rộng kênh tăng tốc độ quét tia hình biểu diễn trực tiếp Nhận thấy rằng, độ rộng kênh phụ thuộc mạnh vào tốc độ quét < 300 mm/s Ở tốc độ quét này, thay đổi xảy chậm Hình Sự phụ thuộc độ rộng vi kênh vào số lần tốc độ quét Hình Sự phụ thuộc độ rộng kênh vào tốc độ quét Lần lượt thay đổi công suất laze từ 10% tới 100% với bước biến đổi 10%, độ rộng kênh gần tăng tuyến tính với cơng suất laze (hình 3) Điều có ý nghĩa ta dễ dàng xác định độ rộng kênh theo ý đồ thiết kế cách thay đổi công suất laze quét Như nêu trên, dải tốc độ quét cao công suất laze thấp, có vệt laze gián đoạn tạo Thực tế, vi kênh khơng hình thành chế độ quét với công suất < 50 % tốc độ 500 1000 mm/s nên khơng có ghi nhận kết độ rộng kênh chế độ làm việc (xem hình 3) Kết khảo sát cho thấy tốc độ quét 200 mm/s, độ tuyến tính thu tốt Các kết khảo sát độ rộng vi kênh phụ thuộc vào số lần qt, cơng suất tốc độ có độ lặp lại tin cậy cao điều kiện làm việc ổn định nhiệt độ từ 25 – 30 oC, độ ẩm 40% Tuy nhiên từ khảo sát trên, ta rút kết luận chế tạo kênh vi lưu, cách khống chế kích thước kênh tối ưu thay đổi theo công suất phát laze phương pháp thu độ tuyến tính cao Hình Khảo sát chiều sâu kênh dẫn 3.3 Độ sâu vi kênh Hình Sự phụ thuộc độ rộng kênh vào cơng suất laze Ngồi độ rộng, chiều sâu kênh khảo sát thông qua mặt cắt nhờ vào tính chất suốt vật liệu Trong trường hợp này, chiều sâu đo hệ camera tự tạo, H.A Tam et al / VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 có tích hợp thang đo kích thước hình với độ chia nhỏ 20 µm Độ sâu kênh xác định vị trí từ điểm sâu vệt laze đến bề mặt vật liệu Tuy nhiên, phương pháp chế tạo kênh khác hình dạng kênh chế tạo phương pháp có khác hình thái học Phương pháp quét laze cho kênh có độ rộng lớn bề mặt vật liệu nhỏ dần độ sâu tăng dần lên Điều giải thích phân bố công suất theo dạng chùm Gauss tia laze, với đặc trưng mật độ công suất laze tập trung cao xung quanh tâm vết laze Như phân tích trên, ta khảo sát phụ thuộc chiều sâu kênh vào công suất laze tốc độ 200 mm/s đạt độ tuyến tính cao Quả thật vậy, hình minh họa phụ thuộc độ sâu kênh vào công suất laze phụ thuộc hồn tồn tuyến tính Với chế độ qt 200 mm/s cơng suất 100%, độ sâu kênh đạt tới 275 µm 117 phương pháp laze phù hợp để chế tạo kênh dẫn có kích thước khoảng vài trăm µm Do đặc điểm hình thái học kênh chế tạo phương pháp laser độ rộng nhỏ dần độ sâu tăng lên, nên độ sâu kênh nên khống chế khoảng từ 100 - 200 µm để đảm bảo loại bỏ tác động tượng mao dẫn tới việc khống chế dòng chảy chất lỏng kênh Trước tiên, ta xác định công suất laze cần đặt để đạt độ sâu kênh dẫn mong muốn (tại tốc độ 200mm/s) dựa vào đồ thị thực nghiệm hình Tiếp đến, với cơng suất laze biết, ta xác định độ rộng kênh với tia laze đơn theo đồ thị thực nghiệm hình Độ rộng kênh theo thiết kế đạt cách quét song song tia laze đơn cạnh với tỉ lệ chồng chập vệt tối thiểu 50% Việc quét tia hỗ trợ tính Hatch phần mềm điều khiển Do đặc tính chùm Gauss nêu trên, ta thu kênh có chiều rộng mong muốn mà khơng làm tác động thay đổi chiều sâu kênh Như vậy, với quy trình trên, ta thu kênh dẫn có kích thước mong muốn, với đặc thù hình thái học xuất rãnh song song lòng kênh dẫn 3.5 Độ gồ ghề bề mặt kênh dẫn Hình Sự phụ thuộc chiều sâu kênh vào cơng suất laze Như vậy, kích thước kênh dẫn thay đổi tuyến tính với cơng suất laze, kết luận quan trọng giúp cho việc chế tạo hệ thống vi lưu laze trở nên tiện lợi hiệu Để quan sát tính chất bề mặt kênh dẫn, kính hiển vi Axio hãng Zeiss sử dụng với độ phóng đại lên tới 100× Phương pháp phù hợp với cấu trúc vi kênh thiết kế với cấu hình zikzak 3.4 Quy trình chế tạo kênh dẫn theo kích thước yêu cầu Trong thực tế, kích thước chiều rộng chiều sâu kênh cần chế tạo xác để đạt mục đích sử dụng theo thiết kế ban đầu Với khảo sát trên, nhận thấy Hình Kính hiển vi Axio (a) hình ảnh chụp bề mặt kênh dẫn (b) 118 H.A Tam et al / VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 Kính hiển vi Axio hình ảnh bề mặt kênh dẫn trình bày hình Hình ảnh quan sát cho thấy kênh dẫn có tính chất bề mặt mịn, biên kênh dẫn phẳng Độ gồ ghề vi kênh 2-3 µm, đảm bảo chất lỏng lưu thông kênh chế độ tối ưu Như vậy, phương pháp khắc laze cho cấu trúc kênh có dạng võng đều, sâu cao dần hai biên kênh (xem thêm hình 5) Nhìn theo chiều ngang từ trái sang phải thấy lịng kênh đặn, không xuất gờ vật liệu 3.6 Phương pháp đóng kín kênh dẫn ép học Hình ảnh 3D kết cấu vi kênh đóng gói phương pháp ép kênh học vít đưa hình theo cấu hình sandwich PMMA-PDMS-PMMA Phương pháp giản đồ nhiệt trình ép nhiệt lớp PMMA hình Nhiệt độ hóa dẻo PMMA khoảng 240-250 oC, đặt nhiệt độ lên khoảng 200-220 oC kết hợp với lực ép phân tử bền mặt tiếp xúc hai lớp vật liệu bắt đầu khuếch tán dần vào tạo kết dính hai lớp vật liệu từ đóng kín kênh sau chế tạo Cả hai phương pháp ép kênh sử dụng nghiên cứu phương pháp đơn giản giá thành thấp Phương pháp ép kênh vít học với kênh khắc PDMS PMMA cho chất lượng kênh tốt nhất, kênh đóng kín hồn tồn khơng bị rị nước Ép nhiệt phương pháp dựa giản đồ nhiệt PMMA để tạo khuếch tán hai lớp vật liệu PMMA tiếp xúc với Như thấy rằng, thay sử dụng phương pháp xử lý bề mặt plasma vốn sử dụng việc đóng kín kênh dẫn PDMS lên đế thủy tinh silic, phương pháp ép kênh học cho phép đóng kín kênh dẫn với nhiều lựa chọn vật liệu với hiệu tương đương Hình Hình ảnh 3D kết cấu vi kênh kênh đóng gói phương pháp ép kênh học vít Hình Hình minh họa đóng gói kênh phương pháp ép nhiệt (a) giản đồ nhiệt (b) H.A Tam et al / VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 119 3.7 Quan sát hiệu ứng chảy kênh Với tính chất suốt hai vật liệu chế tạo vi kênh nên hiệu ứng xảy kênh dễ dàng quan sát mắt thường Trong nghiên cứu này, hệ camera quang học sử dụng để ghi lại biểu chất lỏng hoạt động kênh Mỗi phương pháp ép khác cho sản phẩm dung dịch bơm vào sản phẩm để khảo sát kiểm tra đặc tính chúng Dưới đây, hai hiệu ứng chảy tầng tạo giọt quan sát Hình 10 Hệ camera quang học quan sát hiệu ứng xảy kênh Hình 11 Hiệu ứng chảy tầng đầu kênh (a) kênh (b) ghi lại camera quang học - Hiệu ứng tạo giọt (droplet) Để thực hiệu ứng tạo giọt, hai ống dẫn sử dụng đồng thời, ống truyền dung dịch màu ống lại truyền dung dịch dầu Trong trường hợp này, hai pha dung dịch khác bơm lúc vào vi kênh hai đầu vào Hai pha dung dịch phải thiết kế vng góc với Bằng cách kiểm soát lưu lượng bơm, điều chỉnh kích thước giọt tạo Kết thu cho giọt màu hình 12 Có thể thấy hiệu ứng xảy rõ ràng, giọt tạo nhỏ đều, thể tích mi git cú th iu chnh t 1ữ10àl, cú th ứng dụng vào hệ đo vi từ kế ứng dụng sinh học - Hiệu ứng chảy tầng Hiệu ứng chảy tầng thử nghiệm với vi kênh có độ rộng 200 µm để đảm bảo bơm trọng lực đủ áp lực bơm dung dịch vào kênh Hình ảnh chảy tầng hai dung dịch màu khác thấy rõ hình 11 Nhận thấy rằng, hiệu ứng chảy tầng xảy tốt, dung dịch chảy kênh khơng bị tắc, dịng phân bố liên tục tốc độ Kênh trộn hiệu quả, cho kết trộn hai dung dịch cuối kênh Hiệu ứng dung dịch kênh xảy rõ ràng, kênh chảy khơng bị rị khơng bị tượng bọt khí Có thể điều chỉnh để dung dịch chảy tốc độ cao, phần áp suất bơm cao, phần kênh mịn giúp cho dung dịch lưu thơng kênh dễ dàng Hình 12 Hiệu ứng tạo giọt kênh với chất màu ghi lại camera quang học tồn kênh dẫn (a) hình ảnh giọt mầu tạo (b) 120 H.A Tam et al / VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 Kết luận Các vi kênh có độ rộng độ sâu khoảng 50 - 500 µm chế tạo phương pháp sử dụng laze CO2 với đầu lắc Galvo Phương pháp cho thấy có khả xử lý bề mặt hiệu xác hai loại vật liệu phổ biến chế tạo vi kênh PMMA PDMS Vết laze hội tụ bề mặt vật liệu có độ đồng cao độ gồ ghề khoảng 2-3 µm Đầu lắc Galvo điều khiển tia laze quét với tốc độ lớn độ xác cao nên thời gian chế tạo rút ngắn đáng kể Các phương pháp ép kênh học thực để đóng kín kênh hồn tồn cho phép chất lỏng lưu thông liên tục kênh mà khơng bị tắc nghẽn hay rị rỉ Đây kết phát triển có tính đơn giản độc đáo, cho phép mở hội khai thác công nghệ laze vào chế tạo hệ thống vi kênh ứng dụng y sinh [2] [3] [4] [5] [6] [7] [8] Lời cảm ơn Cơng trình nghiên cứu thuộc nhiệm vụ thường xuyên 2018 PTN Trọng điểm Công nghệ micrô nanô, trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà Nội, mã số TXTCN 18 06 Tài liệu tham khảo [1] G Satish Kandlikar, Heat transfer and fluid flow in minichannels and microchannels Amsterdam, The [9] [10] [11] [12] Netherlands: Elsevier B.V 2006, pp 450 ISBN 978-0-08-044527-4 D.B Tuckerman and R.F.W Pease, (1981) Highperformance heat sinking for VLSI IEEE Electron device letters (5) (1981) 126-129 https://dx.doi org/10.1109/EDL.1981.25367 M.R Salimpour, A.T Al-Sammarraie, A Forouzandeh and M Farzaneh, Constructal design of circular multilayer microchannel heat sinks Journal of Thermal Science and Engineering Applications 11 (1) (2019) 011001 https://dx.doi org/10.1115/1.4041196 Petra S Dittrich, Lab-on-a-chip: microfluidics in drug discovery Nature 442 (2016) 210-224 D Mark, Microfluidic Lab-on-a-Chip Plastforms: Requirements, Characteristics and Applications, NAPSA 24 (2010) 305 Shashi Prakash and Subrata Kumar, Fabrication of microchannels: A review, Proc IMechE Part B: J Engineering Manufacture 229 (8) (2015) 1273–1288 George M Whitesides, The origins and the future of microfluidics, Nature 442 (2006) 368-384 Chee M.B Ho, 3D printed microfluidics for biological applications, LabChip1 (2015) 3627 B Ekstrom, G Jacobsson, O Ohman, et al Microfluidic structure and process for its manufacturing Patent WO 91/16966, 1990 Dong Qin, Soft lithography for micro and nano patterning, NatureProtocals (2010) 491-510 Shashi Prakash, Experimental and theoretical analysis of defocused CO2 laze microchanneling on PMMA for enhanced surface finish, JMM 27 (2016) 250 Beat Jaeggi, Time-optimized laze micro machining by using a new high dynamic and high precision galvo scanner, Proceedings (2016) 9735 ... and Technology, Vol 35, No (2019) 112-120 Chế tạo kênh vi lưu sử dụng laze CO2 đầu lắc Galvo kết hợp với phương pháp ép kênh học Hồ Anh Tâm*, Nguyễn Vi? ??t Hùng, Nguyễn Hữu Đức, Đỗ Thị Hương Giang... vào kênh 2.4 Đóng gói kênh kiểm tra chất lượng kênh Các phương pháp đóng gói hệ vi kênh sau chế tạo sử dụng phương pháp ép nhiệt với mẫu kênh gồm hai lớp vật liệu PMMA phương pháp ép kênh học. .. mm Vi kênh chủ yếu sử dụng thiết bị y sinh ứng dụng vi lưu Chế tạo vi kênh nhiệm vụ phức tạp trung tâm xuất sắc giới Bài báo đề cập đến kỹ thuật chế tạo để tạo vi kênh cách sử dụng máy Laze CO2