Tài liệu nay giúp mọi người có kiến thức tổng quan về CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC CẤU TRÚC MỘT CHIỀU ZnS, ZnO................................................................................................................................................................
CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC CẤU TRÚC MỘT CHIỀU ZnS, ZnO PHẠM THÀNH HUY PTN NANO QUANG ĐIỆN TỬ VIỆN TIÊN TIẾN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ Điều khiển bước sóng phát xạ vật liệu cách điều khiển kích thước nano vật liệu Công nghệ bán dẫn = Công nghệ silíc Cấu trúc vùng không trực tiếp Eg = 1.12 eV, 300K = 10-6-10-7 THIẾT BỊ LẮNG ĐỌNG HÓA HỌC PHA HƠI ÁP SUẤT THẤP (LPCVD) C¸c b-íc chÕ t¹o mµng SiOx dïng PECVD C¸c cÊu tróc linh kiÖn ®iÖn huúnh quang Eletroluminescent MOS device MỤC TIÊU Giới thiệu công nghệ chế tạo cấu trúc chiều phương pháp bốc bay nhiệt Nghiên cứu thay đổi tính chất vật liệu kích thước nano COLOUR LED WHITE LED 3500 002ZnO Zone 34.5 3000 Count 2500 2000 Zone 1500 34.46 34.54 Zone 1000 500 34.2 34.4 34.6 2 34.8 Ex: 266 nm (laser Nd:YAG) 57 Appl Phys Lett., Vol 85, No 12, (2004) Ex: 266 nm (laser Nd:YAG) 58 ~ 0.5-0.7 nm Ex: 266 nm (laser Nd:YAG) 59 8x104 6.0x105 CL_Intensity (a.u.) CL_Intensity (a.u.) 8.0x105 383 spot spot total 7x104 spot spot total 350 6x104 5x104 4x104 3x104 2x104 1x104 260 280 300 320 340 360 Wavelength (nm) 380 400 420 4.0x105 2.0x105 0.0 300 350 400 450 500 550 Wavelength (nm) 600 650 700 SPOT SPOT SPOT SPOT SPOT SPOT VIS UV Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot1" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot2" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot3" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot4" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot5" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot6" CL_Intensity (a.u.) CL_Intensity (a.u.) Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot1" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot2" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot3" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot4" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot5" Normalize to [0, 1] of "CL1-Spot6" 350 320 330 340 350 360 370 Wavelength (nm) 380 390 400 400 Eleme nt Zn S O Spot 52 0.5 47.3 Spot 55 1.4 43.4 Spot 55 2.1 42.8 Spot 64 5.2 30.1 450 500 550 Wavelength (nm) 600 650 700 ... nanoproducts Vùng 5: 1000-1080 KHẢO SÁT CẤU TRÚC Cơ chế Hơi-Lỏng-Rắn (VLS) hình thành cấu trúc 1D Cơ chế hình thành 1D Chế tạo định dạng linh kiện Ví dụ: Nuôi cấu trúc chiều ZnS Nuôi 1D ZnS đế Si/SiO2... bandgap between ZnO & ZnS by alloying Laser thay đổi bước sóng Các cấu trúc 1D có thành phần độ rộng vùng cấm thay đổi dọc theo chiều dài Sơ đồ nguyên lý hệ bốc bay nhiệt Các cấu trúc 1D ZnO nuôi đề... Khảo sát hình thái cấu trúc Vùng 1: 800-850 Cấu trúc chiều ZnO Vùng 2: 850-950 Results: ZnO nanoproducts Vùng 3: 950-1000 Results: ZnO nanoproducts Vùng 4: 1000-1080 Results: ZnO nanoproducts Vùng