Thiết kế thiết bị đo bước sóng ánh sáng bằng giao thoa kế mai ken sơn động

Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO CỘNG HOÀ XÃ HỘI CHỦ NGHÍA VIỆT NAM TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Độc lập – Tự – Hạnh phúc NHIỆM VỤ THIẾT KẾ ĐỒ ÁN TỐT NGHIỆP Họ tên sinh viên : Trần Đức Hùng 20110296 Lớp : Kỹ thuật khí K56 Viện : Cơ khí I/ ĐỀ TÀI THIẾT KẾ Thiết kế thiết bị đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn động II/ CÁC SỐ LIỆU BAN ĐẦU  Laser: He-Ne 632,8 nm  Bước sóng đo λmin = 600 ÷ 700 nm III/ NỘI DUNG THUYẾT MINH VÀ TÍNH TOÁN     Nguyên lí đo bước sóng laser giao thoa kế Xây dựng mô hình giao thoa kế Mai-ken-sơn động Thiết kế hệ thống điều chỉnh gương tĩnh Viết phần mềm điều chỉnh tự động tạo giao thoa laser III/ CÁC BẢN VẼ VÀ ĐỒ THỊ  Bản vẽ lắp ghép hệ giao thoa laser IV/ CÁN BỘ HƯỚNG DẪN: PGS.TS Nguyễn Văn Vinh Th.S Doãn Giang V/ NGÀY GIAO NHIỆM VỤ THIẾT KẾ: 01/03/2016 VI/ NGÀY HOÀN THÀNH ĐỒ ÁN: 30/05/2016 Hà Nội, ngày tháng năm 2016 GIÁO VIÊN HƯỚNG DẪN PGS.TS Nguyễn Văn Vinh SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn GIÁO VIÊN HƯỚNG DẪN NHẬN XÉT Thiết bị đo bước sóng, ảnh sóng giao thoa kế Mi-ken-sơn động thiết bị quang điện tử xác Sinh viên Hùng tìm hiểu nguyên lí phương pháp thực thiết kế cụm giao thoa động thiết bị Các nội dung Tìm hiểu phương pháp đo bước sóng giao thoa kế Xây dựng nguyên lí tính toán thiết kế phần khí dịch chuyển tịnh tiến gương động Xây dựng hệ thống điều khiển chuyển động cho gương tĩnh điều khiển qua phần mềm mạch vi điều khiển PIC16F877A - Các nội dung tính toán hợp lí, thuyết minh trình bày đẹp gọn gàng, vẽ kết cấu quy định song chưa đạt tính mĩ thuật công ngiệp Sinh viên Trần Đức Hùng hoàn thành đồ án với tinh thần chăm cố gắng hoàn thành nội dung giao thời gian Đánh giá: Điểm số: Điểm chữ: Hà Nội,ngày tháng năm 2016 Giáo viên hương dẫn PGS.TS Nguyễn Văn Vinh SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn GIÁO VIÊN DUYỆT NHẬN XÉT SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Điểm số: Điểm bằn chữ: Hà Nội,ngày SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 tháng năm 2016 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn MỤC LỤC Chương 1: Đo bước sóng giao thoa kế 13 1.1 Giao thoa kế Mai-ken-sơn 13 1.1.1 Sơ đồ nguyên lý giao thoa Mai-ken-sơn 13 1.1.2 Sự thay đổi thành phần pha hệ giao thoa 14 1.1.3 Sự thay đổi vân giao thoa 15 1.1.4 Xác định tần số dao động hệ giao thoa 18 1.2 Phương pháp xác định bước sóng giao thoa 19 1.2.1 Một số phương pháp đo bước sóng giao thoa kế 19 1.2.2 Sơ đồ nguyên lý đo bươc sóng giao thoa Mai-ken-sơn động 20 1.2.3 Phương pháp xác định bước sóng nguồn sáng 22 1.3 Các phương pháp tạo tần số dịch chuyển gương động 23 1.3.1 Bộ tạo dịch chuyển gương động cuộn dây Voice coil 23 1.3.2 Bộ tạo dịch chuyển cho gương động vật liệu áp điện PZT 24 1.4 Các yếu tố ảnh hưởng đến hệ đo 27 1.4.1 Ảnh hưởng nhiễu ồn 27 1.4.2 Ảnh hưởng chi tiết quang học hệ thống khí 28 1.5 Thu nhận xử lý tín hiệu hệ giao thoa đo phổ hồng ngoại 31 1.6 Xử lý tín hiệu phép biến đổi Fourie 33 1.6.1 Biến đổi Fourier rời rạc DFT 33 1.6.2 Biến đổi Fourier nhanh FFT 35 1.7 Biến đổi tín hiệu phổ hồng ngoại chuyển đổi Fourier 38 Chương 2: Thiết kế khí – quang hệ giao thoa Mai-ken-sơn động 40 2.1 Thiết kế cấu gá gương tĩnh 40 2.1.1 Nguyên lí hoạt động câu điều chỉnh gương tĩnh 40 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn 2.1.2 Giới thiệu loại cấu gá gương 41 2.1.2a Cơ chế điều chỉnh Kinematic 41 2.1.2b Cơ cấu điều chỉnh Gimbal 43 2.1.2c Cơ cấu điều chỉnh Flexure 44 2.1.3 Các cách điều chỉnh cấu : 45 2.1.3a Sử dụng vít lục giác 45 2.1.3b Sử dụng tay nắm 46 2.1.3c Cơ cấu điều chỉnh sử dụng động 47 2.1.4 Đặc điểm vật liệu: 47 2.1.4 Thiết kế cấu điều chỉnh 49 2.1.5 Tính toán thiết kế truyền đai 51 2.2.Thiết kế hệ thống gương động 54 2.2.1.Nguyên lí hoạt động 54 2.2.2 Chọn sống trượt vít me 57 2.2.3 Tính toán thiết kế truyền đai 64 2.2 Nguồn sáng tham chiếu Laser 67 2.3 Sensor thu nhận tín hiệu giao thoa Laser 67 2.4 Bộ chuyển đổi ADC 68 2.5 Bộ biến đổi xung đếm Counter 68 2.6 Gương phản xạ 69 2.7 Bộ tách tia 70 Chương 3: Điều khiển điện phần mềm 71 3.1 Sơ đồ điều khiển 71 3.2 Các linh kiện sử dụng 71 3.2.1 Vi điều khiển pic 16F877A 71 3.2.2 Động bước 75 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn 3.2.3 Driver điều khiển TB6560 81 3.2.4 Kết nối RS232 83 3.3 Xây dựng phần mềm 87 3.3.1 Phần mềm lập trình cho vi điều khiển CCS 87 3.3.2 Phần mềm lập trình MATLAB 87 3.4 Các thuật toán sử dụng phần mềm 89 3.4.1 Thuật toán điều khiển 89 3.4.2 Thuật toán hiệu chỉnh tự động 90 3.4.3 Sơ đồ mạch điện 91 3.4.4 Giao diện điều khiển 92 Chương 4: Thực nghiệm 93 4.1 Sơ đồ kết nối thu tín hiệu bước sóng 93 4.2 Vận hành hệ thống đo phổ xạ hồng ngoại 93 4.3 Kết thu tín hiệu xử lý tín hiệu đo dao động 96 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn DANH MỤC HÌNH ẢNH, BẢNG BIỂU DANH MỤC HÌNH ẢNH Hình 1.1 Sơ đồ nguyên lí giao thoa kế Mai-ken-sơn 13 Hình 1.2 Sơ đồ nguyên lý tạo vân sáng d = 15 Hình 1.3 Sơ đồ nguyên lí tạo vân d = λ/2 16 Hình 1.4 Sơ đồ nguyên lý tạo vân sáng d = λ 16 Hình 1.5 Ảnh vân giao thoa 17 Hình 1.6 Mô tả sóng giao động sau giao thoa 18 Hình 1.7 Sơ đồ nguyên lý đo phổ hấp thụ 19 Hình 1.8 Sơ đồ nguyên lý đo phổ hồng ngoại từ xa 20 Hình 1.9 Sơ đô hệ thống đo xạ hồng ngoại giao thoa laser 21 Hình 1.10 Sơ đồ tạo dao động Voice coil 23 Hình 1.11 Thiết bị tạo dao động dạng voice coil 24 Hình 1.12 Vật liệu áp điện PZT 25 Hình 1.13 Hình dạng động kiểu PZT 26 Hình 1.14 Sơ đồ tạo dịch chuyển PZT 27 Hình 1.15 Sơ đồ tự động điều chỉnh ảnh giao thoa 28 Hình 1.16 Sơ đồ thiết kế hệ quang làm giảm sai số khí 29 Hình 1.17 Mô tả tín hiệu lấy mẫu 30 Hình 1.18 Tín hiệu sau lấy mẫu 31 Hình 1.19 Sơ đồ lấy mẫu tín hiệu đo hồng ngoại 32 Hình 1.20 Mô tín hiệu giao động kết biến đổi FT 36 Hình 1.21 Mô tín hiệu giao động tuần hoàn kết biến đổi FT 37 Hình 1.22 Mô tả tín hiệu rời rạc không tuần hoàn theo thời gian 37 Hình 1.23 Mô tả tín hiệu biến đổi FT tín hiệu không tuần hoàn 37 Hình 1.24 Sơ đồ thuật toán sử lí tín hiệu bước sóng cần đo 39 Hình 2.1 Các thành phần giao thoa Mai-ken-sơn 40 Hình 2.2 Sơ đồ nguyên lí điều chỉnh gương tĩnh 40 Hình 2.3 Cơ chế điều chỉnh Kinematic 41 Hình 2.4 Sơ đồ định vị mặt gá theo cấu Kinematic 43 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Hình 2.5 Cơ cấu Gimbal 43 Hình 2.6 Cơ cấu Flexure 44 Hình 2.7 Cơ cấu điều chỉnh vít lục giác 45 Hình 2.8 Cơ cấu điều chỉnh sủ dụng tay nắm 46 Hình 2.9 Cơ cấu điều chỉnh sử dụng động 47 Hình 2.10 Nguyên tắc điểm 49 Hình 2.11 Sơ đồ nguyên lí dịch chuyển gương động 54 Hình 2.12 Cấu tạo phận sống trượt dùng ma sát lăn 56 Hình 2.13: Cơ cấu vít me bi 56 Hình 2.14 Thông sô kĩ thuật trục dẫn hướng 58 Hình 2.11 Hệ số phản xạ gương phủ lớp phản xạ Bạc 70 Hình 2.15 Gương phản xạ dạng phi cầu 70 Hình 3.1 Sơ đồ điều khiển cấu gá gương tĩnh 71 Hình 3.2 Sơ đồ cấu tạo vi điều khiển PIC16F877A 72 Hình 3.3 Vi điều khiển 16F877A 73 Hình 3.4 Sơ đồ chân vi điều khiển 16F877A 73 Hình 3.5 Một số loại động bước 76 Hình 3.6 Sơ đồ dây động bước 77 Hình 3.7 Cấu tạo động bước đơn cực dây 77 Hình 3.8 Sơ đồ điều khiển pha 78 Hình 3.9 Sơ đồ điều khiển hai pha 79 Hình 3.10 Sơ đồ điều khiển phối hợp hai pha pha 80 Hình 3.11 Driver TB6560 81 Bảng 3.1 Bảng điều khiển Driver TB6560 82 Hình 3.12 Sơ đồ kết chân kết nối driver TB6560 83 Hình 3.13 Sơ đồ chân DB9 85 Hình3.14 Mạch nguyên lý giao tiếp với máy tính 86 Hình 3.16 Thuật toán điều khiển 89 Hình 3.17 Thuật toán điều chỉnh tự động 90 Hình 3.18 Sơ đồ mạch điều khiển 91 Hình 3.19 Giao diện hiệu chỉnh gương tĩnh 92 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Hình 4.1 Sơ đồ kết nối thu tín hiệu bước sóng 93 Hình 4.2 Giao diện chương trình đo 94 Hình 4.3 Thiết lập địa IP cho máy tính 94 Hình 4.4 Đặt tần số dao động gương 95 Hình 4.5 Nhập số lượng lấy mẫu tín hiệu 95 Hình 4.6 Giao diện hoạt động chương trình đo 96 Hình 4.7 Phổ biến độ dao động tần số f=40Hz, N=512 97 Hình 4.8 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=500 Hz 97 Hình 4.9 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=1000Hz 98 Hình 4.10 Phổ biến độ dao động tần số f =40Hz, N=1024 98 Hình 4.11 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=500Hz 99 Hình 4.12 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=1000Hz 99 Hình 4.13 Phổ biến độ dao động tần số f =40Hz, N=2048 100 Hình 4.14 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=500Hz 100 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 10 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn MATLAB gồm phần chính: - Development Environment: công cụ giúp ta sử dụng hàm tập tin MATLAB Nó bao gồm: MATLAB destop, Command window, a command history, an editor, debugger, browsers for viewing help, the workspace, files, the search path - MATLAB Matematical Function Library: tập hợp hàm toán học sum, sin, số học, v.v - MATLAB Language (scritp): ngôn ngữ lập trình bậc cao - Graphics: công cụ giúp hiển thị liệu dạng đồ thị Ngoài cho phép xây dựng giao diện đồ họa - MATLAB Application Program Interface (API): thư viện cho phép ta sử dụng chức tính toán MATLAB - Command Window: Đây sổ làm việc MATLAB Tại ta thực toàn việc nhập liệu xuất kết tính toán Dấu nháy >> báo hiệu chương trình sẵn sàng cho việc nhập liệu Ta kết thúc việc nhập liệu cách nhấn phím Enter MATLAB thực dòng lệnh mà ta nhập vào Command Window trả kết Command Window - Command History: Lưu lại tất lệnh ta nhập vào Cammand Window Ta xem lại tất lệnh cách dùng scroll bar, hay thực lệnh cách nhấp kép lên dòng lệnh Ngoài cut, paste, delete lệnh - Workspace browser: MATLAB liệu lưu biến Workspace browser liệt kê tất biến mà ta sử dụng MATLAB Nó cung cấp thông tin kích thước loại liệu Ta truy cập trực tiếp vào liệu cách nhấn kép vào biến để hiển thị Array editor - Current Directory Browser: xem file thư mục hành Trong đề tài em chủ yếu khai thác phần lập trình GUIDE MATLAB SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 88 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn GUIDE “Graphical User Interface Development Environment” tạo chương trình có sử dụng giao diện đồ họa 3.4 Các thuật toán sử dụng phần mềm 3.4.1 Thuật toán điều khiển Thuật toán điều chỉnh gương tĩnh tay Hình 3.16 Thuật toán điều khiển SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 89 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn 3.4.2 Thuật toán hiệu chỉnh tự động Thuật toán điều chỉnh gương tĩnh tạo giao thoa tự động Hình 3.17 Thuật toán điều chỉnh tự động SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 90 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn 3.4.3 Sơ đồ mạch điện Hình 3.18 Sơ đồ mạch điều khiển SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 91 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn 3.4.4 Giao diện điều khiển Hình 3.19 Giao diện hiệu chỉnh gương tĩnh SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 92 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Chương 4: Thực nghiệm 4.1 Sơ đồ kết nối thu tín hiệu bước sóng Hình 4.1 Sơ đồ kết nối thu tín hiệu bước sóng Tín hiệu từ detector thu nhận chuyển đổi ADC thành tín hiệu số truyền qua chuyển đổi giao thức Bộ chuyển đổi giao thức chuyển tín hiệu từ chuẩn RS485 sang chuẩn Ethernet Như khối thiết bị gồm đầu thu hồng ngoại, chuyển đổi ADC, chuyển đổi giao thức device có chuẩn kết nối Ethernet Để kết nối thiết bị ta cần đặt địa IP để tiến hành truyền số liệu Ở ta sử dụng phân vùng địa theo class A 4.2 Vận hành hệ thống đo phổ xạ hồng ngoại Sau kết nối hệ quang học hệ thống xử lý tín hiệu xây dựng chương trình ta vận hành hệ thống đo với giao diện chương trình sau: SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 93 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Hình 4.2 Giao diện chương trình đo Bước 1: Kiểm tra nối tín hiệu Sau liên kết phận ta cần xác định lại địa IP kết nối máy tính với hệ thống đo sau: B-íc 1: KiÓm tra nèi tÝn hiÖu Hình 4.3 Thiết lập địa IP cho máy tính SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 94 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Để tiền hành kết nối hệ thống đo ta click vào nút “Ket noi thiet bị” Nếu trình kết nối thành công có nghĩa cờ trạng thái hệ thống báo “Hệ thống sẵn sàng ” Bước 2: Xác định thông số đo Đặt tần số dao động gương Bật phát dao động cho tạo dịch chuyển gương động voice coil Hình 4.4 Đặt tần số dao động gương Nhập số lượng mẫu cần lấy Để thực ghi lại kết tín hiệu giao thoa, ta cần nhập sô lượng mẫu cần lấy, có nghĩa giới hạn N dãy số hàm biến đổi Fourier Trong chương chình độ dài mảng lưu trữ số liệu đo tín hiệu xạ hồng ngoại Trong giao diện chương chình, ta chọn số lượng mẫu cần lấy Hình 4.5 Nhập số lượng lấy mẫu tín hiệu SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 95 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Sau thiết lập xác định thông số đo ta tiến hành lẫy mầu đo Trong sổ chương trình ta ấn nút “Bat dau” để tiến hành đo Hình 4.6 Giao diện hoạt động chương trình đo 4.3 Kết thu tín hiệu xử lý tín hiệu đo dao động Trên sở linh kiện lựa chọn nên hệ giao thoa hoạt động với vùng ánh sáng khả kiến Các linh kiện quang học không làm việc miền hồng ngoại tương ứng với detector hồng ngoại lựa chọn Do hệ đo thu tín hiệu hệ giao thoa hệ laser Kết thu tín hiệu hai mức tần số để kiểm tra nguyên lý hoạt động hệ giao thoa Sau số kết thu tín hiệu thực tế hệ giao thoa với =623,8 nm, kết hợp xử lý tín biến đổi Fourier phần mềm Matlab với lần thử sau: SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 96 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Lần 1: Tần số hệ giao thoa f=40Hz, Số lượng mẫu lấy N=512 Hình 4.7 Phổ biến độ dao động tần số f=40Hz, N=512 Xuất tần sô vị trí 41 Hz Hình 4.8 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=500 Hz SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 97 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Xuất tần sô vị trí 41 Hz Hình 4.9 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=1000Hz Lần 2: Tần số hệ giao thoa f=40Hz, Số lượng mẫu lấy N=1024 Hình 4.10 Phổ biến độ dao động tần số f =40Hz, N=1024 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 98 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Xuất tần sô vị trí 41 Hz Hình 4.11 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=500Hz Xuất tần sô vị trí 41 Hz Hình 4.12 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=1000Hz SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 99 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Lần 3: Tần số hệ giao thoa f=40Hz, Số lượng mẫu lấy N=2048 Hình 4.13 Phổ biến độ dao động tần số f =40Hz, N=2048 Hình 4.14 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=500Hz SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 100 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn Hình 4.15 Phổ tần số sau biến đổi FT với số lấy mẫu f=1000Hz Nhận xét: Với tần số dao động f=40Hz, sau lần quét với N=512 mẫu, N=1024 mẫu N=2048 mẫu sau biến đổi FT công cụ Matlab ta thấy xuất giá trị tần số 41 dải tần số phân tích Trong trình xử lý có thay đổi tần số lẫy mẫu phép biến đổi Fourier cho kết So sánh giữu hai cặp số liệu hai lần thay đổi tần số số lượng mẫu lấy kết lấy số mẫu với N=512 N=1024 cho ta thấy phổ tần số với số lượng mẫu lớn cho kết xác Như phương pháp giao thoa biến đổi FT ta biến đổi để tìm tần số dao động Trong phương pháp đo ta thu tín hiệu hai nguồn tín hiệu ta hoàn toàn xác định tần số theo biểu thức (2.9) i  SVTH: Fgt Fi lr  40 623.8  608.58 (nm) 41 Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 101 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai-ken-sơn TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] W.Demtroder (1982) “Laser spectroscopy”, Berlin-Heidelgerg-New York [2] Trần Định Tường, Hoàng Hồng Hải ; Quang kỹ thuật NXB KHKT, 2006 [3] Nguyễn Quang Hùng, Trần Ngọc Bình; Động bước – Kỹ thuật điều khiển ứng dụng NXB KHKT, 2003 [4] Ngô Diên Tập; Lập trình C cho vi điều khiển NXB KHKT, 2003 [5] Trịnh Chất, Lê Văn Uyển; Tính toán thiết kế hệ dẫn động khí NXB KHKT, 2006 SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 102 ... tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai- ken- sơn MỤC LỤC Chương 1: Đo bước sóng giao thoa kế 13 1.1 Giao thoa kế Mai- ken- sơn 13 1.1.1 Sơ đồ nguyên lý giao thoa Mai- ken- sơn. ..Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai- ken- sơn GIÁO VIÊN HƯỚNG DẪN NHẬN XÉT Thiết bị đo bước sóng, ảnh sóng giao thoa kế Mi -ken- sơn động thiết bị quang điện tử xác Sinh... sáng giao thoa kế Mai- ken- sơn cho đồ án tốt nghiệp SVTH: Trần Đức Hùng - Lớp: Máy xác K56 12 Đề tài: Đo bước sóng ánh sáng giao thoa kế Mai- ken- sơn Chương 1: Đo bước sóng giao thoa kế 1.1 Giao