nghiên cứu chế tạo cảm biến khí co và co2 trên cơ sở vật liệu dây nano sno2(thông tin đưa lên website)

1 A. GIỚI THIỆU LUẬN ÁN 1. Tính cấp thiết của đề tài Việt Nam đang trong quá trình hội nhập sâu rộng vào nền kinh tế thế giới và khu vực. Sự phát triển mạnh mẽ của các vùng cũng như các ngành kinh tế trọng điểm, cùng với sự mở rộng và phát triển của các cơ sở kinh tế tư nhân, quá trình công nghiệp hóa, tốc độ đô thị hóa ở hầu hết các địa phương đã và đang diễn ra nhanh chóng, tất yếu dẫn đến hàng loạt các vấn đề liên quan đến ô nhiễm môi trường nói chung cũng như môi trường khí. Không khí bị ô nhiễm là do các khí như CO, CO 2 , H 2 S, NO 2 , NO, v.v có nồng độ vượt quá giới hạn cho phép, chúng sinh ra trong quá trình sản xuất công nghiêp, quá trình cháy của các loại nhiên liệu hóa thạch cũng như khí thải từ các phương tiện giao thông. Việc phát hiện và cảnh báo sự có mặt của các khí độc hại này nhằm kiểm soát chất lượng không khí trong môi trường sống là rất cần thiết và quan trong đối với sức khỏe con người cũng như mang lại những lợi ích kinh tế cho xã hội. Dây nano oxit kim loại bán dẫn có diện tích bề mặt riêng lớn và tính tinh thể cao nên cảm biến dây nano ngoài có độ nhạy cao chúng còn có độ ổn định tốt. Đường kính của dây nano tương đương với chiều dày Debye nên các tác động trên bề mặt có thể dẫn đến sự thay đổi lớn về độ dẫn của chúng. Vì vậy, dây nano dễ dàng biến tính bề mặt với các loại hạt xúc tác nhằm tăng cường độ nhạy và độ chọn lọc của cảm biến. Những hiểu biết này có vai trò quan trọng trong việc phát triển các thế hệ cảm biến mới với nhiều tính năng vượt trội so với các loại cảm biến truyền thống. Ở nước ta, vấn đề nghiên cứu ứng dụng vật liệu cấu có trúc nano cho cảm biến khí được thực hiện ở một vài nhóm nghiên cứu như Đại học Bách khoa Hà Nội, Viện Khoa học Vật liệu. 2 Ngoài ra, hướng nghiên cứu về ứng dụng vật liệu dây nano SnO 2 cho cảm biến khí CO, CO 2 chưa có tác giả nào thực hiện. 2. Mục tiêu nghiên cứu, ý nghĩa khoa học và thực tiễn * Mục tiêu nghiên cứu của luận án là: (i) Phát triển được công nghệ chế tạo dây nano SnO 2 bằng phương pháp bốc bay nhiệt và tiến tới điều khiển hình thái, cấu trúc cũng như tích hợp đưa lên nhiều loại đế khác nhau. (ii) Chế tạo được cảm biến khí CO và CO 2 trên cơ sở dây nano SnO 2 nhằm ứng dụng để kiểm soát chất lượng không khí. * Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của đề tài: Ý nghĩa khoa học của đề tài là có được những hiểu biết quan trọng về tính chất nhạy khí của một số cấu trúc nano một chiều. Những hiểu biết này là cơ sở để nghiên cứu và phát triển các thế hệ cảm biến nano mới với nhiều tính năng vượt trội so với các loại cảm biến truyền thống trên cơ sở các cấu trúc nano một chiều nhằm ứng dụng trong quan trắc môi trường khí cũng như cảnh báo nguy cơ cháy, nổ. Ý nghĩa thực tiễn của đề tài là đã minh chứng được tiềm năng ứng dụng to lớn của các loại vật liệu có cấu trúc nano trong việc phát triển các loại cảm biến khí. Ngoài ra, các kết quả nghiên cứu này còn là cơ sở để thu hút thêm sự tham gia của các nhà khoa học cho việc nghiên cứu phát triển các loại cảm biến ứng dụng trong một số lĩnh vực khác như quan trắc môi trường nước, an toàn vệ sinh thực phẩm cũng như các loại cảm biến phục vụ trong an ninh, quốc phòng. 3. Những đóng góp mới của luận án (i) Đã ổn định được quy trình chế tạo dây nano SnO 2 bằng phương pháp bốc bay nhiệt ở nhiệt độ 700-800 o C sử dụng bột Sn và ở nhiệt độ 920-980 o C sử dụng bột SnO. Các quy trình chế tạo này có độ ổn định và khả năng lặp lại cao. (ii) Đã tìm ra được hai quy trình chế tạo cảm biến dây nano 3 SnO 2 bằng cách mọc trực tiếp lên điện cực kiểu bắc cầu và kiểu mạng lưới. Cảm biến chế tạo theo quy trình này đã cải thiện đáng kể các thông số đặc trưng của nó. (iii) Đã chế tạo được cảm biến khí CO 2 trên cơ sở dây nano SnO 2 biến tính bề mặt bằng hạt LaOCl. Cảm biến này có độ đáp ứng, độ chọn lọc, thời gian đáp ứng và hồi phục được cải thiện đáng kể so với các công trình đã công bố. (iv) Đã chế tạo được cảm biến khí CO sử dụng dây nano SnO 2 biến tính hạt Pd bằng phương pháp khử trực tiếp. Cảm biến này có khả năng phát hiện khí CO ở nồng độ thấp (1 ppm) 4. Bố cục của luận án Luận án gồm 125 trang được chia thành các phần như sau: Mở đầu 4 trang; Chương 1: Tổng quan 31 trang; Chương 2: Chế tạo và tính chất nhạy khí của dây nano SnO 2 gồm 36 trang; Chương 3: Cảm biến khí CO 2 trên cơ sở dây nano SnO 2 biến tính LaOCl gồm 26 trang và Chương 4: Cảm biến khí CO trên cơ sở dây nano SnO 2 biến tính Pd gồm 25 trang. Kết luận và kiến nghị 2 trang. Ngoài ra, luận án có 6 bảng; 92 hình vẽ và đồ thị; 173 tài liệu tham khảo. B. NỘI DUNG CHÍNH CỦA LUẬN ÁN CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN 1.1. Mở đầu Sự tiến bộ của công nghệ nano trong những năm qua đã cho phép chế tạo được vật liệu có cấu trúc nano một chiều với các tên gọi khác nhau tùy thuộc vào hình thái của chúng. Các vật liệu nano oxit kim loại bán dẫn điển hình như SnO 2 , ZnO, In 2 O 3 , TiO 2 , WO 3 , được quan tâm nghiên cứu ở cả phương diện nghiên cứu cơ bản và ứng dụng. Chúng đã được nghiên 4 cứu ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau như cảm biến khí, pin mặt trời, thiết bị quang điện tử, điện cực trong suốt, xúc tác, tế bào nhạy quang,…. Trong số các vật liệu oxit kim loại bán dẫn kể trên thì ZnO và SnO 2 thu hút được nhiều sự quan tâm nghiên cứu hơn cả bởi chúng có nhiều ưu điểm như giá thành rẻ, dễ chế tạo, thân thiện với môi trường, v.v. 1.3. Phương pháp chế tạo vật liệu cấu trúc nano một chiều Có 2 phương pháp để chế tạo vật liệu cấu trúc nano một chiều là: * Phương pháp từ trên xuống (top-down): xuất phát từ mẫu có kích thước lớn sau đó bằng các kỹ thuật khác nhau người ta sẽ giảm kích thước các chiều xuống thang nanomet. * Phương pháp từ dưới lên (bottom-up): bắt đầu bằng những nguyên tử hoặc phân tử riêng rẽ và từ đó tạo ra những cấu trúc mong muốn, trong một vài trường hợp có thể lợi dụng hiện tượng tự sắp xếp của các nguyên tử, phân tử. 1.4. Một số ứng dụng vật liệu cấu trúc nano một chiều Các vật liệu ôxit kim loại một chiều như SnO 2 , ZnO, In 2 O 3 , TiO 2 , WO 3 được quan tâm nghiên cứu ở cả phương diện nghiên cứu cơ bản và ứng dụng. Chúng được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau như cảm biến khí, pin mặt trời, thiết bị quang điện tử, điện cực trong suốt, xúc tác, thiết bị phát hiện ánh sáng UV,… 1.6. Một số phương pháp chế tạo dây nano SnO 2 1.6.1. Phương pháp bốc bay nhiệt theo cơ chế hơi-lỏng-rắn (Vapour-Liquid-Solid) Dây nano và một số cấu trúc nano một chiều khác như thanh nano, nano hình sao và cấu trúc răng lược có thể được 5 chế tạo bằng phương pháp bốc bay nhiệt từ nguồn vật liệu rắn. Phương pháp này được sử dụng để chế tạo dây nano của nhiều vật liệu khác nhau như: ZnO, SnO 2 , In 2 O 3 , WO 3 Quy trình chế tạo những vật liệu này là dùng bột kim loại hoặc oxit kim loại đóng vai trò là vật liệu nguồn, sau đó nung đến nhiệt độ bay hơi của chúng trong điều kiện chân không hoặc thổi khí trơ làm khí mang rồi thổi oxy với lưu lượng thích hợp để xảy ra phản ứng với hơi của vật liệu nguồn. Dây nano sẽ hình thành trong vùng nhiệt độ thấp, nơi vật liệu nguồn lắng đọng từ pha hơi lên đế. Đối với dây nano SnO 2 thường được chế tạo bằng phương pháp bốc bay nhiệt sử dụng vật liệu nguồn là bột Sn, SnO hoặc SnO 2 . 1.6.2. Phương pháp bốc bay chùm điện tử Để hạn chế những nhược điểm của phương pháp bốc bay nhiệt người ta sử dụng phương pháp bốc bay chùm điện tử. Phương pháp này có một số ưu điểm như: (1) Độ chân không cao có thể làm giảm sự nhiễm bẩn hoặc sự oxi hóa bề mặt vật liệu; (2) Nhiệt độ mọc dây nano thấp và tốc độ mọc cao nên ngăn chặn sự khuếch tán lẫn nhau của cấu trúc nano; (3) Có thể điều khiển quá trình mọc trực tiếp; (4) Tất cả các thông số mọc có thể được điều chỉnh chính xác và tách biệt nhau. 1.6.3. Phương pháp mọc trong dung dịch Phương pháp này cho phép chế tạo dây nano với thiết bị đơn giản, hiệu suất cao, giá thành rẻ, dễ dàng điều khiển hình dạng và thành phần hóa học của vật liệu đồng thời có độ lặp lại cao. Đặc biệt phương pháp này còn có thể kết hợp với những vật liệu khác để hình thành cấu trúc lai hóa với nhiều chức năng có thể ứng dụng trong công nghệ vi điện tử và hệ sinh học. Tuy nhiên, cấu trúc tinh thể được tạo thành thường có độ tinh thể thấp nhưng nếu tổng hợp ở điều kiện không thủy phân tại nhiệt độ cao thì cấu trúc tinh thể sẽ tốt hơn. 6 1.6.4. Phương pháp sử dụng khuôn Phương pháp chế tạo dây nano dùng khuôn rất đơn giản và sử dụng rộng rãi chế tạo cấu trúc nano. Dây nano được tạo ra bằng cách điền đầy vật liệu vào khuôn và kết tinh lại. Yêu cầu đối với khuôn là phải bền hóa học và bền cơ học. Các thông số như: đường kính, mật độ và độ đồng đều của lỗ xốp rất quan trọng sẽ ảnh hưởng đến hình thái của vật liệu tạo thành. CHƯƠNG 2: CHẾ TẠO VÀ TÍNH CHẤT NHẠY KHÍ CỦA DÂY NANO SnO 2 2.1. Mở đầu Dây nano SnO 2 được sử dụng rộng rãi trong chế tạo cảm biến khí. Trong chương này chúng tôi sẽ trình bày hai quy trình chế tạo dây nano SnO 2 bằng phương pháp bốc bay nhiệt, khảo sát các yếu tố ảnh hưởng và tính chất nhạy khí của cảm biến chế tạo bằng các phương pháp khác nhau. 2.2. Chế tạo dây nano SnO 2 bằng phương pháp bốc bay nhiệt 2.2.1. Thiết bị và hóa chất Để tổng hợp dây nano SnO 2 chúng tôi sử dụng thiết bị bốc bay nhiệt nằm ngang tại Viện ITIMS cấu tạo gồm:  Lò nhiệt nằm ngang có tốc độ tăng nhiệt khoảng 60 o C/phút và đường kính ống lò 3 cm;  Buồng phản ứng là ống thạch anh có đường kính 3 cm và chiều dài 150 cm;  Hệ điều khiểu lưu lượng khí điện tử có thể điều khiển được lưu lượng khí Ar và O 2 lần lượt trong các khoảng 0-500 sccm và 0-10 sccm với sai số 0,15 %; 7  Bơm chân không có thể đạt chân không ~ 5x10 -3 torr;  Đầu đo chân không có dải đo trong khoảng 0-10 -4 torr; Trong quy trình này, chúng tôi đã sử dụng các nguyên vật liệu chính sau: Bột Sn (Alfa Aesar) có độ tinh khiết 99,8 %; Đế Si đơn tinh thể; Ống thạch anh có đường kính 3 cm và 2,5 cm; Khí Ar (99,99 %); Khí O 2 (99,99 %); Dung dịch HNO 3 100 %; Dung dịch HNO 3 65 %; Dung dịch HF 1 %; Nước khử ion tinh khiết (~18 M); 2.2.2. Quy trình chế tạo dây nano SnO 2 Quy trình chế tạo vật liệu gồm 4 giai đoạn sau: Giai đoạn I: Làm sạch và hút chân không trong ống. Giai đoạn II: Nâng nhiệt từ nhiệt độ phòng lên nhiệt độ phản ứng mọc dây nano. Giai đoạn III: Phản ứng hình thành dây nano Giai đoạn IV: Kết thúc phản ứng Hai quy trình chế tạo vật liệu sử dụng vật liệu nguồn là bột Sn (ở nhiệt độ 700, 750 và 800 o C) và bột SnO (ở nhiệt độ 920, 950 và 980 o C) được sử dụng để nghiên cứu, khảo sát quá trình chế tạo vật liệu. 2.2.3. Kết quả nghiên cứu hình thái và cấu trúc vật liệu 2.2.3.1. Kết quả chế tạo dây nano SnO 2 sử dụng bột Sn Dây nano sau khi chế tạo xong đem đi khảo sát hình thái, cấu trúc bằng ảnh hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM), ảnh hiển vi truyền qua (TEM), nhiễu xạ điện tử tia X (XRD) và phổ tán xạ năng lượng (EDS). Kết quả chụp ảnh FESEM và TEM của dây nano SnO 2 mọc ở nhiệt độ 700-800 o C bằng phương pháp bốc bay nhiệt sử dụng bột Sn được chỉ ra trong hình 2.7. Ta có thể thấy dây nano SnO 2 mọc rất đồng đều, phân bố đồng nhất và được tổng hợp trên diện tích lớn. Trong cả ba mẫu, đường kính dây nano khoảng 50 đến 150 nm và chiều dài từ 50 đến 150 µm. Tuy nhiên, quan sát ta có thể nhận thấy rằng mẫu mọc ở 700 o C có độ đồng đều cao hơn, bề 8 mặt dây nano rất nhẵn và mọc đều dọc trục dây, đường kính dây cũng nhỏ hơn so với mẫu mọc ở 750 o C và 800 o C. Hình 2.7. Ảnh FE-SEM và TEM của dây nano SnO 2 tổng hợp ở nhiệt độ thấp: 700 o C (a), 750 o C (b) và 800 o C (c). 2.2.3.2. Kết quả chế tạo dây nano SnO 2 sử dụng bột SnO Ảnh FE-SEM của các mẫu dây nano SnO 2 chế tạo ở nhiệt độ 920 o C, 950 o C và 980 o C sử dụng vật liệu nguồn là SnO được thể hiện trên hình 2.11. Quan sát ảnh FE-SEM có thể nhận thấy dây nano mọc với chất lượng khá tốt, đồng đều nhau, dây nano có bề mặt nhẵn, đường kính ít thay đổi dọc theo trục dây nano và có giá trị khoảng 80-100 nm trong khi chiều dài dây tới vài chục μm. 9 Hình 2.11. Ảnh FE-SEM của dây nano mọc ở nhiệt độ cao từ bột SnO: 920 o C (a), 950 o C (b) và 980 o C (c). 2.2.4. Khảo sát một số yếu tố ảnh hưởng tới quá trình chế tạo dây nano 2.2.4.1. Ảnh hưởng của tốc độ tăng nhiệt độ Chúng tôi đã tiến hành mọc dây nano SnO 2 ở nhiệt độ 750 o C với thời gian là 12 phút, 24 phút và 48 phút tương ứng với tốc độ gia nhiệt của lò lần lượt là 60, 30 và 15 o C/phút. Kết quả cho thấy dây nano mọc với tốc độ tăng nhiệt là 30 o C/phút cho kết quả tốt nhất. 2.2.4.2. Ảnh hưởng của thời gian mọc Để khảo sát ảnh hưởng của thời gian mọc, chúng tôi tiến hành mọc dây nano SnO 2 ở 750 o C bằng phương pháp bốc bay nhiệt sử dụng vật liệu nguồn là bột Sn với thời gian mọc lần lượt là 15, 30 và 60 phút. Kết quả khảo sát cho thấy khi thời gian mọc tăng lên thì lượng vật liệu lắng đọng trên đế tăng và chiều dài dây nano cũng tăng lên. 2.2.4.3. Ảnh hưởng của chiều dày lớp xúc tác 10 Ảnh hưởng của chiều dày lớp xúc tác đến hình thái cũng như kích thước dây nano được khảo sát bằng cách chế tạo vật liệu ở 750 o C trong thời gian 30 phút lên trên đế Si được phún xạ lớp Au với chiều dày lần lượt là 5, 10 và 20 nm. Kết quả chụp ảnh FESEM cho thấy dây nano mọc với chiều dày lớp Au là 5 nm rất đồng đều, đường kính nhỏ, bề mặt dây mịn. 2.3. Công nghệ chế tạo và tính chất nhạy khí của cảm biến dây nano SnO 2 2.3.1. Cảm biến chế tạo bằng phương pháp cạo phủ Hình 2.19 cho thấy sự phụ thuộc của độ hồi đáp của cảm biến dây nano SnO 2 chế tạo bằng phương pháp cạo phủ với các nồng độ khí NO 2 là 5, 10, 25 và 50 ppm ở 150-250 o C. Hình 2.19. Đặc trưng nhạy khí NO 2 của cảm biến dây nano SnO 2 chế tạo bằng phương pháp cạo phủ ở nhiệt độ:150 o C (a), 200 o C (b), 250 o C (c) và độ đáp ứng của cảm biến phụ thuộc nồng độ khí (d). Kết quả khảo sát sự phụ thuộc độ hồi đáp của cảm biến theo nồng độ của khí NO 2 cho thấy độ hồi đáp tăng khi nồng độ của khí tăng. Độ hồi đáp của cảm biến thay đổi từ 1-3 khi thổi 5-50 ppm khí NO 2 đo ở 150 o C trong khi giá trị này lần lượt là 3-11 lần và 1-7 lần khi đo ở 200 o C và 250 o C. Như vậy, ở 200 o C độ hồi đáp của cảm biến là cao nhất. Giá trị này cũng tương 0 300 600 900 1200 300.00k 450.00k 600.00k 750.00k 900.00k 50 ppm 25 ppm 10 ppm R (ohm) t (s) SnO 2 - NO 2 @150 0 C 5 ppm (a) 0 100 200 300 400 500 600 500.0k 1.0M 1.5M 2.0M 2.5M 3.0M 50 ppm 25 ppm 10 ppm R (ohm) t (s) SnO 2 - NO 2 @200 0 C 5 ppm (b) 0 10 20 30 40 50 2 4 6 8 10 R (R g /R a ) NO 2 (ppm) 150 0 C 200 0 C 250 0 C (d) 0 100 200 300 400 500 300.0k 600.0k 900.0k 1.2M 50 ppm 25 ppm 5 ppm R(Ohm) t (s) SnO 2 - NO 2 @250 0 C (c) 10 ppm [...]... thiện quy trình chế tạo các cảm biến khí CO, CO2 trên cơ sở kết hợp công nghệ MEMS với vật liệu dây nano dây nano SnO2 biến tính Pd và LaOCl Tuy nhiên, các kết quả nghiên cứu này mới chỉ là khởi đầu, cần có những nghiên cứu sâu sắc và hệ thống hơn nhằm định hướng ứng dụng trong thực tế Hướng nghiên cứu tiếp theo: - Tiếp tục nghiên cứu để tìm ra những vật liệu phù hợp để biến tính bề mặt dây nano nhằm cải... là vật liệu tiềm năng trong chế tạo cảm biến khí CO2 3) Đã biến tính thành công dây nano SnO2 với Pd bằng phương pháp khử trực tiếp từ PdCl2 ứng dụng làm cảm biến khí CO Mật độ biến tính Pd trên dây nano SnO2 cũng đã được nghiên cứu Độ đáp ứng với 1 ppm CO ở nhiệt độ làm việc 400 o C vào khoảng 1,16 Loại cảm biến này hoàn toàn có khả năng ứng dụng làm cảm biến khí CO làm việc trong giải nồng độ khí. .. dụng vật liệu nguồn là bột Sn Kết quả chụp ảnh TEM và HRTEM của vật liệu được trình bày trên hình 4.11 21 Hình 4.11 Ảnh TEM của dây nano SnO2 (A, B), hạt nano Pd biến tính trên bề mặt dây SnO2 (C, D); và hạt nano Pd (E, F) Kết quả khảo sát tính chất nhạy khí của cảm biến biến tinh Pd trên điện cực thương phẩm và cảm biến chưa biến tính được chỉ ra trên hình 4.14 và 4.15 Cảm biến dây nano SnO2 biến. .. cho cảm biến khí trên cơ sở vật liệu ôxit kim loại bán dẫn bởi vì sự ổn định hóa học của khí CO2 tốt hơn so với khí khác như CO, NO2, C2H5OH, LPG, H2 và NH3 Để khảo sát độ chọn lọc của cảm biến, chúng tôi tiến hành đo tính chất nhạy khí của cảm biến chưa biến tính và biến tính với một số khí trong khoảng nhiệt độ 350-450 oC, kết quả thu được cho thấy cảm biến có độ chọn lọc tốt với khí CO2 CHƯƠNG 4: CẢM... nhạy khí NO2 của cảm biến dây nano SnO2 mọc trên đế Al2O3 ở các nhiệt độ: 150oC (a), 200 oC (b), 250 oC (c) và sự phụ thuộc độ hồi đáp của cảm biến và nồng độ khí (d) CHƯƠNG 3: CẢM BIẾN KHÍ CO2 TRÊN CƠ SỞ DÂY NANO SnO2 BIẾN TÍNH LaOCl 3.1 Mở đầu 3.1.1 Giới thiệu về khí CO2 Điôxít cacbon (CO 2) là một chất ở điều kiện bình thường có dạng khí, khối lượng riêng là 1,98 kg/m3 ở 25 oC và nặng hơn không khí. .. nghiên cứu đã công bố 2) Đã chế tạo thành công cảm biến khí CO2 trên cơ sở dây nano SnO2 biến tính bằng LaOCl Các kết quả nghiên cứu chỉ ra rằng cảm biến dây nano SnO2-LaOCl xử lý nhiệt ở 600 oC trong 5 giờ, nồng độ dung dịch biến tính là 96 mM cho độ đáp ứng khí cao nhất tại 400 oC Các thông số đặc trưng của cảm biến như độ đáp ứng, độ chọn lọc, thời gian đáp ứng và hồi phục cũng được nghiên cứu Kết... KIẾN NGHỊ Đề tài Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO và CO2 trên cơ sở vật liệu dây nano SnO2” đã được thực hiện tại Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu (ITIMS) Những kết quả nghiên cứu của luận án đã được công bố trên các tạp chí quốc tế và hội thảo khoa học chuyên ngành, đặc biệt có 04 công trình liên quan trực tiếp đến nội dung nghiên cứu của luận án được công bố trên các tạp chí quốc tế thuộc... cần thiết Cho nên cảm biến khí CO2 thu hút được sự quan tâm nghiên cứu của các nhà khoa học trên toàn thế giới 14 3.2 Kết quả nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO2 3.2.1 Thực nghiệm Quy trình chế tạo cảm biến được trình bày trong hình 3.1 Quy trình gồm các bước sau: (i) Dây nano SnO2 chế tạo ở nhiệt độ thấp sử dụng bột Sn; (ii) Phân tán dây nano trong dung dịch và nhỏ phủ lên điện cực răng lược; (iii)... nghệ chế tạo cảm biến dây nano SnO2: thứ nhất là chế tạo cảm biến dây nano dạng tiếp xúc dây/ dây Độ đáp ứng (Rg/Ra) tối ưu với 1 ppm NO2 vào khoảng 22,7 ở nhiệt độ làm việc 100 oC Thứ hai là mọc trực tiếp dây nano trên đế Al2O3 tạo thành màng mỏng dạng lưới 23 Cảm biến này có độ đáp ứng tối ưu với 1 ppm NO2 vào khoảng 184,2 ở nhiệt độ làm việc 150 oC Đây là cảm biến cho độ đáp ứng khá cao so với các nghiên. .. 60, 96 và 120 mM) được sử dụng để khảo sát nhằm tìm ra nồng độ tối ưu cho quá trình pha tạp; (iv) Cuối cùng, cảm biến được đem đi xử lý nhiệt ở 500, 600, 700 oC trong 5 giờ Hình 3.1 Quy trình chế tạo cảm biến dây nano SnO2 biến tính LaOCl 3.2.2 Kết quả chế tạo vật liệu và cảm biến Cảm biến sau khi chế tạo được đem đi chụp ảnh FE-SEM và TEM, kết quả cho thấy các hạt LaOCl bám trên bề mặt dây nano, ngoài . Chế tạo và tính chất nhạy khí của dây nano SnO 2 gồm 36 trang; Chương 3: Cảm biến khí CO 2 trên cơ sở dây nano SnO 2 biến tính LaOCl gồm 26 trang và Chương 4: Cảm biến khí CO trên cơ sở. tích hợp đưa lên nhiều loại đế khác nhau. (ii) Chế tạo được cảm biến khí CO và CO 2 trên cơ sở dây nano SnO 2 nhằm ứng dụng để kiểm soát chất lượng không khí. * Ý nghĩa khoa học và thực tiễn. cùng, cảm biến được đem đi xử lý nhiệt ở 500, 600, 700 o C trong 5 giờ. Hình 3.1. Quy trình chế tạo cảm biến dây nano SnO 2 biến tính LaOCl 3.2.2. Kết quả chế tạo vật liệu và cảm biến Cảm