THÔNG TIN TÓM TẮT VỀ NHỮNG KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN TIẾN SĨ (Thông tin đưa lên trang Web) Tên luận án: “Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí H2 H2S sở màng SnO2 biến tính đảo xúc tác micro-nano” Chuyên ngành: Vật liệu điện tử Mã số: 62440123 Nghiên cứu sinh: Nguyễn Văn Toán Người hướng dẫn khoa học: GS TS Nguyễn Văn Hiếu PGS TS Nguyễn Văn Quy Cơ sở đào tạo: Trường Đại học Bách khoa Hà Nội TÓM TẮT KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN Chế tạo mặt nạ đưa quy trình chuẩn phù hợp với công nghệ vi điện tử cho trình công nghệ chế tạo cảm biến sở phún xạ hoạt hóa kết hợp với công nghệ vi điện tử Trên sở chế tạo thành công cảm biến khí sở màng mỏng SnO2 có đảo xúc tác kích cỡ micro - nano Cảm biến hoạt động ổn định công suất tiêu thụ thấp Bằng phương pháp chế tạo số lượng lớn cảm biến có quy mô kích cỡ wafer (hơn 350 chíp cảm biến chế tạo đợt công nghệ) Khảo sát đặc trưng nhạy khí cảm biến sở màng mỏng SnO2 có chiều dày khác với nhiều loại khí nồng độ nhiệt độ đo khác Qua tìm chiều dày màng mỏng tối ưu để ứng dụng cho kết nghiên cứu sau Kết thu cho thấy cảm biến hoạt động tốt có độ ổn định cao Tuy nhiên độ đồng cảm biến chưa tốt điều kiện công nghệ chế tạo bị hạn chế Trên sở màng mỏng SnO2/Pd đã.chế tạo thành công cảm biến đo khí H2 Kết cảm biến đo khí H2 sở màng mỏng có đảo xúc tác Pd có độ đáp ứng lớn 28 lần nồng độ khí 250 ppm Nhiệt độ làm việc cảm biến giảm xuống đến 300 ºC Cảm biến có độ chọn lọc tốt với loại khí thử khác Điều nói lên tầm quan trọng vật liệu xúc tác mà đưa hoàn toàn xác Phát công bố tạp chí quốc tế ISI có uy tín với số ảnh hưởng cao [N.V.Toan,v.v…, J Hazardous Mater 301 (2016) 433-442.***IF2014: 4.52***] Trên sở cảm biến khảo sát thiết kế xây dựng thiết bị đo khí H2 để đo cảnh báo cháy nổ ro khí H2 gây nên Dựa vào chế tràn (spill-over) sở màng mỏng SnO2 có đảo xúc tác CuO đã.chế tạo thành công cảm biến đo khí H2S Các kết cảm biến đo khí H2S sở màng mỏng có đảo xúc tác CuO có độ đáp ứng lớn 128 lần nồng độ khí ppm Nhiệt độ làm việc cảm biến giảm xuống đến 250 ºC Cảm biến có độ chọn lọc tốt với loại khí thử khác Cảm biến đo xuống nồng độ thấp cỡ ppb Điều cho thấy cảm biến có tiềm ứng dụng cao vào việc quan trắc ô nhiễm môi trường Phát công bố báo tạp chí quốc tế ISI có uy tín [N.V Toan,v.v…, Appl Surface Sci 324 (2015)280-285.***IF2013: 2.71***] Trên sở cảm biến khảo sát thiết kế xây dựng thiết bị đo cảnh báo khí H2S phục vụ quan trắc môi trường tác động khí H2S gây nên TM Tập thể hướng dẫn GS TS Nguyễn Văn Hiếu Hà nội, ngày 26 tháng 02 năm 2016 Nghiên cứu sinh Nguyễn Văn Toán